一种掩膜板存储盒的制作方法

文档序号:12174942阅读:255来源:国知局
一种掩膜板存储盒的制作方法与工艺

本实用新型涉及液晶显示器制造技术领域,尤其涉及一种掩膜板存储盒。



背景技术:

在半导体制造或液晶面板生产领域中,阵列工序中的光刻工艺的曝光过程需要采用掩膜板(也就是常说的“MASK”)对基板进行曝光,掩膜板一般存放在存储盒中,使用时,需要将掩膜板从存储盒中取出放置在掩膜板工作台,才能进行后续的曝光过程。

而现有技术中的存储盒,如图1所示,其包括盒体1,所述盒体1的顶面开设有用于容置掩膜板100的容置仓2,所述容置仓2的两侧对称开设有夹持槽3,在放置掩膜板100时,如图2所示,当将掩膜板100向存储盒1中放入时,参考向下箭头所指方向,掩膜板100竖向设置,两个人分别在掩膜板100的两侧用手抓住掩膜板100的两个顶角,然后将掩膜板100的两侧边缘分别卡入夹持槽3中,沿着夹持槽3向下滑入其中即可;而当将掩膜板100从存储盒1中取出时,参考向上箭头所指方向,两个人分别从掩膜板100的两侧用手抓住掩膜板100的两个顶角,然后将掩膜板100向上提拉,掩膜板100的边缘将从夹持槽3中滑出。因而在放入和取出两个过程中,掩膜板100需要从夹持槽3中滑入和滑出,这会造成对掩膜板100的边缘的刮伤;另外,需要人工在掩膜板的两侧抓握用力,加之,掩膜板100的边缘可触碰区域较少,一般仅有1cm的宽度区域,竖向放入或提拉时,人手握住边缘,不易用力,操作很不方便。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提出一种掩膜板存储盒,便于掩膜板的取出,避免损坏其边缘,方便,可靠。

为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种掩膜板存储盒,包括盒本体,所述盒本体的顶部沿竖向开设有用于容置掩膜板的容置槽,所述容置槽的内部沿其宽度方向的两侧对称设置有两个竖向滑轨,所述竖向滑轨能够在所述容置槽中沿竖向滑动;两个所述竖向滑轨的相对的内侧分别连接有能够自动夹紧或松开的夹具条,一个所述夹具条对应掩膜板的一侧部边缘;所述夹具条的中部通过旋转机构与所述竖向滑轨的中部可转动连接。

其中,所述容置槽中设置有滑槽,所述竖向滑轨与所述滑槽滑动连接。

其中,所述滑槽中设置有滚珠,所述滚珠滚动设置于所述竖向滑轨的底面与所述滑槽之间。

其中,所述竖向滑轨设置有竖向自锁结构,当所述竖向滑轨向上滑出一定高度后,所述竖向自锁结构在竖向上锁紧所述竖向滑轨。

其中,所述竖向自锁结构包括垂直设置于所述竖向滑轨的底面的可自动伸缩的弹簧柱,初始时,所述弹簧柱压缩于所述所述竖向滑轨的底面与所述滑槽之间,当所述竖向滑轨向上滑动至所述弹簧柱移出所述容置槽的顶端时,所述弹簧柱自动弹出并卡设于所述容置槽的顶面。

其中,所述旋转机构包括设置于所述竖向滑轨的侧部的第一连接轴和设置于所述夹具条的侧部的第二连接轴,所述第一连接轴开设有轴孔,所述第二连接轴插入所述轴孔中可转动连接。

其中,所述旋转机构还包括角度限位结构,当所述夹具条相对所述竖向滑轨旋转一定角度后,所述角度限位结构锁紧所述夹具条。

其中,所述夹具条相对所述竖向滑轨的旋转角度为90度。

其中,所述角度限位结构包括在所述轴孔的侧部开设的弧形缺口、设置于所述第二连接轴的侧部的弧形挡块,所述弧形挡块可在所述弧形缺口中滑动。

其中,所述夹具条包括相互扣合的第一夹持部和第二夹持部,所述第一夹持部的一端和所述第二夹持部的一端铰接后并与所述竖向滑轨连接,所述第一夹持部的另一端和所述第二夹持部的另一端可开合设置,且所述第一夹持部的另一端和所述第二夹持部的另一端的内侧均设置有缓冲垫。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型的掩膜板存储盒,其在容置槽中设置竖向滑轨,利用竖向滑轨在容置槽中竖向滑动,并带动夹具条一起竖向运动,而夹具条用来夹持掩膜板,当需要将掩膜板放入容置槽存放时,拉动竖向滑轨向上滑动并带动夹具条一起滑出容置槽,再将夹具条相对竖向滑轨转动至与放置有掩膜板的掩膜板工作台平行,这时可以打开夹具条将掩膜板夹持在夹具条中,无需人力预先抬起掩膜板,之后将夹具条回转至与竖向滑轨平行,然后竖向滑轨向下滑动并带动夹具条和掩膜板一起滑入容置槽中即可;反之,当需要将掩膜板从容置槽中取出时,只需要拉动竖向滑轨,就可以带动夹具条和掩膜板一起向上滑动并滑出容置槽,这时,将夹具条相对竖向滑轨旋转至掩膜板的大部分面积支撑于掩膜板工作台上后,打开夹具条,使得夹具条松开对掩膜板的边缘的夹持,这时旋转夹具条使其移开掩膜板即可,掩膜板也就放置在掩膜板工作台上,无需人力搬动,因此,在放入和取出的过程中,都不需要掩膜板的边缘有额外的相对滑动摩擦,避免损坏其边缘,方便,可靠。

附图说明

图1是现有技术中的存储盒的剖面结构示意图。

图2是图1中的存储盒在装卸掩膜板时的状态结构示意图。

图3是本实用新型的掩膜板存储盒的剖面结构示意图。

图4是本实用新型的掩膜板存储盒在装卸掩膜板时的状态结构示意图。

图5是本实用新型的掩膜板存储盒的夹具条与掩膜板配合的结构示意图。

图6是本实用新型的掩膜板存储盒的夹具条的结构示意图。

图7是本实用新型的掩膜板存储盒的旋转机构的断面结构示意图。

图中:100-掩膜板;1-盒体;2-容置仓;3-夹持槽;10-盒本体;101-容置槽;11-竖向滑轨;12-夹具条;13-旋转机构;121-第一夹持部;122-第二夹持部;131-第一连接轴;132-第二连接轴;133-轴孔;134-弧形缺口;135-弧形挡块。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图3和图4所示,一种掩膜板存储盒,包括盒本体10,所述盒本体10的顶部沿竖向开设有用于容置掩膜板100的容置槽101,所述容置槽101的内部沿其宽度方向的两侧对称设置有两个竖向滑轨11,所述竖向滑轨11能够在所述容置槽101中沿竖向滑动;两个所述竖向滑轨11的相对的内侧分别连接有能够自动夹紧或松开的夹具条12,一个所述夹具条12对应掩膜板100的一侧部边缘;所述夹具条12的中部通过旋转机构13与所述竖向滑轨11的中部可转动连接。

本实用新型的掩膜板存储盒,其在容置槽101中设置竖向滑轨11,利用竖向滑轨11在容置槽101中竖向滑动,并带动夹具条12一起竖向运动,而夹具条12用来夹持掩膜板100,如图4所示,当需要将掩膜板100放入容置槽101存放时,拉动竖向滑轨11向上滑动并带动夹具条12一起滑出容置槽101,再将夹具条12相对竖向滑轨11转动至与放置有掩膜板100的掩膜板工作台平行,这时可以打开夹具条12将掩膜板100夹持在夹具条12中,无需人力预先抬起掩膜板100,之后将夹具条12回转至与竖向滑轨11平行,然后竖向滑轨11向下滑动并带动夹具条12和掩膜板100一起滑入容置槽101中即可;反之,当需要将掩膜板100从容置槽101中取出时,只需要拉动竖向滑轨11,就可以带动夹具条12和掩膜板100一起向上滑动并滑出容置槽101,这时,将夹具条12相对竖向滑轨11旋转至掩膜板100的大部分面积支撑于掩膜板工作台上后,打开夹具条12,使得夹具条12松开对掩膜板100的边缘的夹持,这时旋转夹具条12使其移开掩膜板100即可,掩膜板100也就放置在掩膜板工作台上,无需人力搬动,因此,在放入和取出的过程中,都不需要掩膜板100的边缘有额外的相对滑动摩擦,避免损坏其边缘,方便,可靠。

具体地,所述容置槽101中设置有滑槽,所述竖向滑轨11与所述滑槽滑动连接。进一步地,为了使得竖向滑轨11滑动更加省力,更加方便,所述滑槽中设置有滚珠,所述滚珠滚动设置于所述竖向滑轨11的底面与所述滑槽之间。因而在竖向滑轨11沿着滑槽滑动时,竖向滑轨11可以通过滚珠的滚动作用移动,不仅省力,而且减少磨损。

特别地,所述竖向滑轨11设置有竖向自锁结构,当所述竖向滑轨11向上滑出一定高度后,所述竖向自锁结构在竖向上锁紧所述竖向滑轨11。优选的,所述竖向自锁结构包括垂直设置于所述竖向滑轨11的底面的可自动伸缩的弹簧柱,初始时,所述弹簧柱压缩于所述所述竖向滑轨11的底面与所述滑槽之间,当所述竖向滑轨11向上滑动至所述弹簧柱移出所述容置槽101的顶端时,所述弹簧柱自动弹出并卡设于所述容置槽101的顶面。在本实施例中,竖向滑轨11向上滑出的一定高度的具体数值,是根据掩膜板100放入容置槽101中的高度来确定的,因而同样的,为了在掩膜板100被移出容置槽101之后,在竖向上将竖向滑轨11固定,以免其因重力作用自由下落,弹簧柱的设置位置应该与竖向滑轨11向上滑出的一定高度的具体数值对应,因此,通过弹簧柱的自动伸缩特性,其能够收缩于竖向滑轨11与滑槽之间,其也能够弹出并卡设在容置槽101的顶面,也就是盒本体的顶面,从而在竖向上及时限位,而当再次需要将竖向滑轨11滑入容置槽101时,挤压弹簧柱使其收缩即可。

如图5、6所示,所述夹具条12包括相互扣合的第一夹持部121和第二夹持部122,所述第一夹持部121的一端和所述第二夹持部122的一端铰接后并与所述竖向滑轨11连接,所述第一夹持部121的另一端和所述第二夹持部122的另一端可开合设置,且所述第一夹持部121的另一端和所述第二夹持部122的另一端的内侧均设置有缓冲垫。这种夹具条12利用其可开合的一端部用于夹持掩膜板,因而在装入或取出掩膜板的过程中,只需要第一夹持部121和第二夹持部122打开或闭合即可,无需掩膜板从一端滑入另一端。

如图7所示,所述旋转机构13包括设置于所述竖向滑轨11的侧部的第一连接轴131和设置于所述夹具条12的侧部的第二连接轴132,所述第一连接轴131开设有轴孔133,所述第二连接轴132插入所述轴孔133中可转动连接。在本实施例中,竖向滑轨11和夹具条12通过轴孔133与第二连接轴132的可转动配合实现了两者的可转动连接。然而,在实际使用过程中,为了使得夹具条12的旋转方向以及旋转角度与预设的要求相匹配,从而满足装卸掩膜板100,所述旋转机构13还包括角度限位结构,当所述夹具条12相对所述竖向滑轨11旋转一定角度后,所述角度限位结构锁紧所述夹具条12。其中,所述角度限位结构包括在所述轴孔133的侧部开设的弧形缺口134、设置于所述第二连接轴132的侧部的弧形挡块135,所述弧形挡块135可在所述弧形缺口134中滑动。因此,第二连接轴132的转动角度与户型缺口134和弧形挡块135有关,也就说,弧形挡块135在弧形缺口134中的旋转角度即为第二连接轴132的旋转角度,也即为夹具条12的旋转角度,通过对该角度的控制,可以较好地管控掩膜板100的取放位置,优选的,在本实施例中,由于容置槽101为竖向的,因而掩膜板在其中放置也是竖向的,而掩膜板在使用时为水平的,因此夹具条需要在竖向和水平两个位置工作,因而,所述夹具条12相对所述竖向滑轨11的旋转角度为90度。

总之,本实用新型的掩膜板存储盒,其结构简单,并通过竖向滑轨和夹具条的配合,实现了掩膜板的装卸,整个过程中无需人力抬起掩膜板,掩膜板的边缘也不会因为需要滑动而磨损,因而能够很好地保护掩膜板,也能够节省人力。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理,而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释,本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式,这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。

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