技术总结
本实用新型涉及一种基板移送装置以及包含其的基板处理系统与基板处理装置，所述基板移送装置对药液涂敷工艺得到处理的基板进行移送，其包括：基板移送部，其包括独立地被分割的多个悬浮部，并且将基板以悬浮的状态进行移送；控制部，其个别地对通过多个悬浮板而产生的悬浮力进行控制，据此，可得到的效果在于，在没有基板的偏转的状态下，使得基板平坦地悬浮，并提高药液的涂敷均匀性。
技术研发人员：李气雨;赵珳技
受保护的技术使用者：K.C.科技股份有限公司
文档号码：201621364504
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.10.03