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保管装置以及输送系统的制作方法
文档序号:14956115
发布日期:2018-07-17 23:35
阅读:
来源:国知局
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保管装置以及输送系统的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明的一个方式涉及一种保管装置,具备:一对收纳部,在前后方向上对置地配置,并具有载放前后宽度小于左右宽度的FOUP的多个货架;以及移载装置,收纳于收纳部之间,在收纳部的货架彼此之间移载FOUP。在收纳部的各个中,配置于相同高度位置的多个货架在左右方向上排列。移载装置以FOUP的前面朝向左右方向的状态在多个货架的各个上载放FOUP。
技术研发人员:
伊藤靖久
受保护的技术使用者:
村田机械株式会社
技术研发日:
2016.12.28
技术公布日:
2018.07.17
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