一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒的制作方法

本实用新型涉及抛光垫包装盒技术领域，具体涉及一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒。

背景技术：

化学机械抛光垫是半导体工业以硅晶片为起始原材料加工制造集成电路芯片的过程中使用的一种重要的消耗品。作为集成电路芯片这一高尖端精密产品制造过程中的一道重要的工艺，化学机械抛光工艺使用化学机械抛光垫和抛光液磨削去除在硅晶片表面沉积的多余的各种氧化物或金属等材料，因此对于化学机械抛光垫的各项物性、结构、抛光性能指标以及化学机械抛光垫的包装、运输、存储条件都有很高和严格的要求。

由于半导体工业对化学机械抛光垫的质量管理的严格要求，在现有的抛光垫包装盒结构中，每一片圆形的化学机械抛光垫都是先独自包装在一个密封的方形的塑料袋中，再以一定的数量堆叠起来，包装在一个包装盒里。多层塑料袋薄膜的厚度也影响到抛光垫和缓冲块之间的间隙、抛光垫被缓冲块夹持的程度。

集成电路芯片的集成度一直在快速提升，芯片的线宽一直在不断缩小，芯片的计算性能一直在飞速提高。芯片的线宽越窄、尺寸越小，对芯片制造过程的要求也越严格，对化学机械抛光垫的物性结构微小的变化也越敏感，对抛光垫的包装技术质量要求也越高。

现有化学机械抛光垫包装盒一般采用在盒子内部沿着抛光垫圆周外围放置缓冲材料的方式实现在运输过程中夹持固定抛光垫位置、防止振动、保护抛光垫的目的。在一般的纸盒结构中，起夹持固定作用的缓冲材料块与化学机械抛光垫之间的间隙的大小影响着其保护作用的发挥：当间隙较大时外围缓冲块对抛光垫移动的限制较弱，抛光垫可以以较大的位移在包装盒内振动，以致于损伤抛光垫的边缘；当间隙较小时，即使抛光垫在包装盒内有很小的位移，外围缓冲块自身就在向内挤压抛光垫的边缘，容易引起抛光垫边缘翘曲损伤。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒，实现对化学机械抛光垫边缘的充分保护，以消除抛光垫在运输和存储过程中可能受到的形变和损伤。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案概述如下：

一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒，包括包装盒本体，还包括内置固定结构，所述内置固定结构包括包装盒本体内上下重叠设置的上固定底片和下固定底片，以及若干组相互盖合且分别固定于上固定底片、下固定底片上的缓冲块，所述缓冲块内侧设置成弧形凹面，所述弧形凹面与化学机械抛光垫的弧度大小相一致，上固定底片、下固定底片以及缓冲块之间形成的空腔用于放置化学机械抛光垫；化学机械抛光垫发生较大的水平位移时，缓冲块能起到阻止进一步水平位移兼具缓冲的作用，故而将化学机械抛光垫放置于上固定底片、下固定底片以及缓冲块之间形成的空腔，可有效实现对化学机械抛光垫边缘的充分保护。

作为优选的，所述内置固定结构的上方和下方分别贴有上缓冲垫片和下缓冲垫片，上缓冲垫片和下缓冲垫片在运输过程中，能减少内置固定结构的上下震荡弧度，从而减少化学机械抛光垫的上下位移量，达到对化学机械抛光垫的表面进行充分保护的目的。

作为优选的，所述包装盒本体为由盒盖、盒底以及四个侧面组成的方形盒体，所述上缓冲垫片和下缓冲垫片分别紧贴于盒盖和盒底，且上缓冲垫片和下缓冲垫片的形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同，便于固定、定位上缓冲垫片和下缓冲垫片。

作为优选的，所述上固定底片和下固定底片尺寸大小相同，且固定底片和下固定底片形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同，便于固定、定位上固定底片和下固定底片。

作为优选的，所述相互盖合的缓冲块设有四组，分别固定于上固定底片和下固定底片的四边上，能对化学机械抛光垫任意方向的水平位移起到保护作用，缓冲效果好。

作为优选的，所述缓冲块通过胶粘的方式分别固定于上固定底片和下固定底片上，结构简单，易于实现。

作为优选的，所述缓冲块的材质为发泡塑料或海绵材料，为软质材料，缓冲效果好。

作为优选的，所述缓冲块内侧的弧形凹面与化学机械抛光垫的边缘之间的间隙为0-5mm，留下一定的富余空隙，避免缓冲块本身使得化学机械抛光垫变形。

作为优选的，所述缓冲块内侧的弧形凹面与化学机械抛光垫的边缘之间的间隙为2-5mm，避免了依赖缓冲块与化学机械抛光垫边缘的直接且紧密的接触来限制抛光垫在包装盒内的移动、以及因此增加的抛光垫边缘受力变形的可能性，同时保证了在抛光垫包装盒受到的外力和冲击较小的时候，抛光垫在包装盒内具有一定的移动缓冲空间而不会或较少发生抛光垫边缘触碰到缓冲块，减少抛光垫边缘受力变形的可能性。

与现有技术相比，本实用新型所产生的有益效果：

1、本实用新型提供的化学机械抛光垫包装盒能对化学机械抛光垫的表面和边缘进行充分保护，消除了抛光垫在运输和存储过程中可能受到的形变和损伤；

2、本实用新型结构简单，包装方便，制造成本低廉，便于大批量制造推广。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的透视结构示意图；

图2是本实用新型内部结构的分解示意图；

图3是安装有化学机械抛光垫的内置固定结构状态示意图；

图中标记为：10、包装盒本体；20、上缓冲垫片；30、上固定底片；40、下固定底片；50、下缓冲垫片；60、缓冲块；70、胶带；80、化学机械抛光垫；90、方形塑料袋。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。

实施例1

如图1、图2所示，一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒，包括包装盒本体10，还包括内置固定结构，所述内置固定结构包括包装盒本体10内上下重叠设置的上固定底片30和下固定底片40，以及若干组相互盖合且分别固定于上固定底片30、下固定底片40上的缓冲块60，所述缓冲块60内侧设置成弧形凹面，所述弧形凹面与化学机械抛光垫的弧度大小相一致，上固定底片30、下固定底片40以及缓冲块60之间形成的空腔用于放置化学机械抛光垫。

所述内置固定结构的上方和下方分别贴有上缓冲垫片20和下缓冲垫片50。

所述包装盒本体10为由盒盖、盒底以及四个侧面组成的方形盒体，所述上缓冲垫片20和下缓冲垫片50分别紧贴于盒盖和盒底，且上缓冲垫片20和下缓冲垫片50的形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同。

所述上固定底片30和下固定底片40尺寸大小相同，且固定底片30和下固定底片40形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同。

所述相互盖合的缓冲块60设有四组，分别固定于上固定底片30和下固定底片40的四边上。

所述缓冲块60通过胶粘的方式分别固定于上固定底片30和下固定底片40上。

所述缓冲块60的材质为发泡塑料或海绵材料。

所述缓冲块60内侧的弧形凹面与化学机械抛光垫的边缘之间的间隙为2-5mm。

本实施例提供的化学机械抛光垫包装盒，化学机械抛光垫发生较大的水平位移时，缓冲块60能起到阻止进一步水平位移兼具缓冲的作用，故而将化学机械抛光垫放置于上固定底片30、下固定底片40以及缓冲块60之间形成的空腔，可有效实现对化学机械抛光垫边缘的充分保护；上缓冲垫片20和下缓冲垫片50在运输过程中，能减少内置固定结构的上下震荡弧度，从而减少化学机械抛光垫的上下位移量，达到对化学机械抛光垫的表面进行充分保护的目的，最终达到对化学机械抛光垫的表面和边缘进行充分保护，消除了抛光垫在运输和存储过程中可能受到的形变和损伤的效果。

实施例2

图3为实施例1所述的一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒中安装有化学机械抛光垫80的状态示意图，安装过程包括如下步骤：

(1)准备胶带70以及若干方形塑料袋90备用；

(2)将需要包装的每片化学机械抛光垫80单独密封在方形塑料袋90中；

(3)将5片封装好的化学机械抛光垫80按照抛光面朝上的方向堆叠放置在下固定底片40上；

(4)方形塑料袋90的四个袋角都上下对齐并位于相对应的所述下固定底片40的四个角的位置，并将方形塑料袋90的四个袋角向抛光垫圆心方向折叠过来；

(5)通过胶带70按十字形交叉贴合将化学机械抛光垫80固定在下固定底片40上。

本实施例中，方形塑料袋90袋角折叠包裹和胶带70沿十字交叉的两个直径方向两端黏贴固定于下固定底片40的方法达到了不直接接触化学机械抛光垫的边缘就可以限制抛光垫在包装塑料袋内移动的效果；这种软式的固定方法在包装盒受到的外力和冲击较小、所带来的抛光垫的移动幅度较小的时候可以吸收外界冲击的能量、减少抛光垫在包装塑料袋内的移动，同时极大地降低了抛光垫的边缘直接冲撞到缓冲块上的可能性，降低了这样的直接冲撞造成抛光垫边缘受力变形的可能性。

当包装盒受到的外力和冲击较大、所述的软式固定方法不能完全吸收外界冲击的能量的时候，弧形切边的缓冲块60可以提供较大的受力支撑面积、降低抛光垫边缘受到的压力，减少抛光垫边缘受力变形的可能性。

如上所述即为本实用新型的实施例。本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。