工件输送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及适合于在真空环境中输送玻璃基板或晶片等薄板状工件的工件输送
目.ο
【背景技术】
[0002]如图11所示，在传送室的周围呈辐射状地配置有处理室的处理系统中，为了处理室间的工件的移送而在传送室内配置的工件输送装置，在俯视时能够使工件在辐射方向上前进移动即可，因此能够使用例如如专利文献1所示那样的、组合平行连杆机构(parallellinkage)而成的关节臂式的输送装置。这样的输送装置通过平行连杆机构具有的功能能够利用较少的动力源维持保持工件的手的姿态，并且能够在俯视时使该工件前进移动。
[0003]但是，为了缩小处理系统的占有面积而实现紧凑化，如图12所示，提案有新处理系统，即，将传送室TC形成为矩形，并且沿其相对的长边配置有多个(图示例子中为两个)矩形处理室PC。这样的新处理系统中，需要同等地维持长边上相对的手的姿态，并且需要进行在沿着该长边的两个处理室PC间的工件移送，因此不能采用只不过能够向辐射方向前进移动的专利文献1所示那样的工件输送装置。
[0004]在图12所示的处理系统中，例如考虑使用专利文献2(特别是该专利文献的图11?图13)所示的输送装置。该专利文献2所示的输送装置构成为包括:相对于支承基座能够旋转的第一臂；相对于第一臂能够旋转的第二臂；和相对于第二臂能够旋转的手。并且，因为相对于支承基座的第一臂的旋转、相对于第一臂的第二臂的旋转和相对于第二臂的手的旋转分别独立地进行，所以手的姿态和手的移动路径的设定的自由度高，因此专利文献2所示的输送装置，在图12所示的处理系统中存在能够进行处理室间的工件的移送的可能性。
[0005]但是，专利文献2所示的输送装置中，将用于使第二臂相对于第一臂旋转的动力减速的减速器和将用于使手相对于第二臂旋转的动力减速的减速器，例如在第一臂内沿着第二臂相对于该第一臂(旋转)的旋转轴上下层叠地配置。因此，这样的多个减速器层叠配置的臂的上下尺寸增大，扩大了输送装置整体的上下高度。其结果是，工件的输送路程的上下位置变高，不得不使传送室的上下高度变大等，导致了处理装置的大型化和成本升高。
[0006]另外，由于被旋转的臂的前端部分的重量增加，为了应对作用于该臂的根部分的力矩负载和对于使该臂旋转的电动机的惯性负载增大，要求电动机容量的增加和旋转部分的机械强度的增大，这些也导致了输送装置的大型化、高成本化。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]【专利文献1】日本特开2011-101912号公报
[0010]【专利文献2】日本特开2014-34106号公报
【发明内容】
[0011]发明要解决的课题
[0012]本发明是鉴于上述问题而完成的，其课题在于提供一种工件输送装置，能够缩短旋转的臂的上下尺寸而降低上下高度，并且能够降低对于旋转的臂的根部的力矩负载。
[0013]用于解决课题的技术手段
[0014]为了解决上述课题，在本发明中采用以下的技术手段。
[0015]本发明提供一种工件输送装置，其包括:支承基座；相对于该支承基座以能够绕主旋转轴旋转的方式连结的支承臂；相对于该支承臂以能够绕肘关节轴转动的方式连结的手保持臂；和相对于该手保持臂以能够绕腕关节轴转动的方式连结的手，上述工件输送装置的特征在于:用于使上述支承臂相对于上述支承基座旋转的支承臂用电动机配置在上述支承基座内，用于使上述手保持臂相对于上述支承臂转动的手保持臂用电动机和用于使上述手相对于上述手保持臂转动的手用电动机配置在上述支承臂内，在上述肘关节轴同轴地配置有:用于使上述手保持臂相对于上述支承臂能够转动的关节轴；和传递用于使上述手转动的动力的传动轴，在上述支承基座内设置有将上述支承臂用电动机的输出减速的第一减速机构，在上述支承臂内设置有将上述手保持臂用电动机的输出减速的第二减速机构，上述手保持臂用电动机在上述支承臂内设置在从上述肘关节轴离开的位置，并且上述第二减速机构设置在上述手保持臂用电动机与上述肘关节轴之间的位置。
[0016]在优选的实施方式中，上述第二减速机构为输入旋转轴和输出旋转轴位于同轴上的减速器，上述手保持臂用电动机的输出轴与上述第二减速器的输入旋转轴之间通过带轮传动机构相耦合，上述第二减速器的输出旋转轴与上述关节轴之间通过带轮传动机构相耦入口 ο
[0017]在优选的实施方式中，上述手保持臂用电动机隔着上述主旋转轴配置在与上述肘关节轴相反一侧。
[0018]在优选的实施方式中，在上述支承臂内还设置有将上述手用电动机的输出减速的第二减速机构。
[0019]在优选的实施方式中，上述手用电动机在上述支承臂内设置在从上述肘关节轴离开的位置，并且上述第三减速机构设置在上述手用电动机与上述肘关节轴之间的位置。
[0020]在优选的实施方式中，上述第三减速机构为输入旋转轴和输出旋转轴位于同轴上的减速器，上述手用电动机的输出轴与上述第三减速器的输入旋转轴之间通过带轮传动机构相耦合，上述第三减速器与上述关节轴之间通过带轮传动机构相耦合。
[0021]在优选的实施方式中，上述手用电动机隔着上述主旋转轴配置在与上述肘关节轴相反一侧。
[0022]进一步在优选的实施方式中，工件输送装置包括:支承基座；相对于该支承基座以能够绕主旋转轴旋转的方式连结的支承臂；相对于该支承臂以能够绕肘关节轴转动的方式连结的手保持臂；和相对于该手保持臂以能够绕腕关节轴转动的方式连结的手，其中，用于使上述支承臂相对于上述支承基座旋转的支承臂用电动机配置在上述支承基座内，用于使上述手保持臂相对于上述支承臂转动的手保持臂用电动机和用于使上述手相对于上述手保持臂转动的手用电动机配置在上述支承臂内，在上述肘关节轴同轴地配置有:用于使上述手保持臂相对于上述支承臂能够转动的关节轴；和传递用于使上述手转动的动力的传动轴，在上述支承基座内设置有:将上述支承臂用电动机的输出减速的第一减速机构；在上述支承臂内设置有将上述手保持臂用电动机的输出减速的第二减速机构；和用于将上述手用电动机的输出减速的第三减速机构，上述手保持臂用电动机在上述支承臂内设置在从上述肘关节轴离开的位置，并且上述第二减速机构设置在上述手保持臂用电动机与上述肘关节轴之间的位置，上述手用电动机在上述支承臂内设置在从上述肘关节轴离开的位置，并且上述第三减速机构设置在上述手用电动机与上述肘关节轴之间的位置。
[0023]在优选的实施方式中，上述第二减速机构为输入旋转轴和输出旋转轴位于同轴上的减速器，上述手保持臂用电动机的输出轴与上述第二减速器的输入旋转轴之间通过带轮传动机构相耦合，上述第二减速器的输出旋转轴与上述关节轴之间通过带轮传动机构相耦合，上述第三减速机构为输入旋转轴和输出旋转轴位于同轴上的减速器，上述手用电动机的输出轴与上述第三减速器的输入旋转轴之间通过带轮传动机构相耦合，上述第三减速器的输出旋转轴与上述关节轴之间通过带轮传动机构相耦合。
[0024]在优选的实施方式中，上述手保持臂用电动机隔着上述主旋转轴配置在与上述肘关节轴相反一侧，上述手用电动机隔着上述主旋转轴配置在与上述肘关节轴相反一侧。
[0025