用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制备领域。更具体地，本实用新型涉及一种用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制备的湿制程作业期间，薄板(本文所述的薄板通常指板厚在0.15毫米以下的薄板，尤指板厚在0.06毫米以下的超薄板)随着传动轴的不停转动而向前移动。如图1所示，位于传动轴10、20之间的喷头30a以及位于传动轴10、20相对侧的喷头30b、30c分别将处理液体从薄板40的下方和上方垂直地喷向薄板40以对其进行清洗或蚀刻作业。但是，由于薄板(或超薄板)相对较薄，处理液体的喷射会使得薄板的与液体接触的位置承受较大压力，喷射后残留在薄板上的部分处理液体也会使薄板出现受力不均的情况，这都会导致薄板产生不期望的翘曲(例如，薄板表面凹凸不平或薄板边部下垂(参见图1的40a)等)，发生翘曲的薄板又容易卡在喷头处无法继续行进(“卡板”)而导致整个作业流水线的瘫痪。另外，若传动轴之间的间距较大，特别是在两槽体之间连接处的传动轴之间间距较大，将会加剧卡板现象的发生。
[0003]为了避免上述情况，现有技术通常采用的解决方式是在薄板传送方向的前进端设置一相对较厚的带板，该带板通过胶带与薄板连接。由于带板较厚，不易受处理液体的影响而产生形变，从而可以带动薄板顺利地在传动轴之间行进，这解决了卡板问题。但是，胶带内残存的药液容易渗出而腐蚀薄板的铜线路，这严重影响薄板的品质。另外，附接和剥离带板的操作也可能使薄板发生破裂，影响生产效率。
[0004]因此，本领域需要一种既能够防止薄板发生卡板又不会由于附接带板而对薄板品质产生额外风险的装置。
【实用新型内容】
[0005]为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于传送薄板的桥接构件，其包括:支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与所述第一端相对的第二端；第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。
[0006]本实用新型进一步提供一种薄板传送装置，其包括:多个传动轴，所述传动轴包括花滚轮结构，以及如上所述的桥接构件，所述桥接构件设置在相邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。
[0007]藉此，本实用新型的桥接构件以及包括其的传送装置能够防止薄板发生卡板又不会对薄板的品质产生不良影响。桥接构件的制造简单、成本低廉、效果显著，适合大规模应用于薄板的湿制程作业。
【附图说明】
[0008]图1示出了传送薄板的机构的示意图。
[0009]图2示出了根据本实用新型一个实施例的用于传送薄板的桥接构件的示意图。
[0010]图3示出了根据本实用新型另一实施例的用于传送薄板的桥接构件的另一示意图。
[0011]图4示出了根据本实用新型又一实施例的用于传送薄板的桥接构件的安装示意图。
【具体实施方式】
[0012]如下，将更详细地描述本实用新型的用于薄板传动的桥接构件。本实用新型的桥接构件设置为桥接相邻的至少两个传动轴以使其上的薄板能够顺利通过这些传动轴。
[0013]如图2所示，桥接构件100包括支撑部件101。其中，支撑部件101包括用于支撑薄板从其上通过的上表面1011和与所述上表面1011相对的下表面1012。支撑部件101还包括位于所述上表面1011 —侧的第一端1013和与所述第一端1013相对的第二端1014。
[0014]桥接构件100进一步包括第一固定部件102。第一固定部件102连接至支撑部件101的第一端1013并被构造为将所述桥接构件100固定至第一传动轴。本领域技术人员可以理解，可以采用任何方式来实现第一固定部件102和支撑部件101之间的连接，只要保证薄板能够顺利地在桥接构件上行进即可。例如，第一固定部件102的上部与支撑部件101的第一端1013 —体成型从而实现平滑的无缝连接。第一固定部件102的下部被构造为具有开口 1021以与第一传动轴的外轮廓相匹配从而使第一固定部件102卡和至第一传动轴。在一个优选的实施例中，为了保证薄板在桥接部件上平稳传送，所述开口 1021被构造为其内径稍大于所匹配的第一传动轴的外径的弧形开口或半圆形开口。进一步地，该弧形开口或半圆形开口的两侧的最前端还各自包括向下或略向内延伸的延长段1022以保证桥接构件100不会由于传动轴的转动而轻易脱落。
[0015]在一个实施例中，支撑部件101的上表面1011和下表面1012在第二端1014处相互平行。在优选的实施例中，该上表面1011在所述第二端1014的部分被构造为朝向下表面1012倾斜一角度，例如，但不限于10-30度(如图2所示)，这有利于薄板平稳地传送离开传动轴。
[0016]如图3所示，在另一个实施例中，桥接构件100包括第二固定部件103。第二固定部件103连接至支撑部件101的第二端1014并被构造为将所述桥接构件100固定至第二传动轴。优选地，第二固定部件103被构造为与所述第一固定部件102相同。例如，第二固定部件103的下部被构造为具有开口以与第二传动轴的外轮廓相匹配从而使第二固定部件103卡和至该传动轴。在一个优选的实施例中，为了保证薄板在桥接部件上平稳传送，所述开口被构造为其内径稍大于所匹配的第二传动轴的外径的弧形开口或半圆形开口。进一步地，该弧形开口或半圆形开口的两侧的最前端还各自包括向下或略向内延伸的延长段以保证桥接构件不会由于该传动轴的转动而轻易脱落。
[0017]桥接构件100可以由任意合适的材料制成，例如，但不限于PP、PVC等高分子塑料材料、铁氟龙或其他合适材料，其中，优选地为使用具有抗酸抗碱腐蚀的铁氟龙。
[0018]本实用新型进一步提供一种薄板传送装置，其包括多个传动轴以及上文提到的桥接构件100，其中，所述传动轴包括花滚轮结构。所述桥接构件100设置在两个相邻的所述传动轴之间(如图4所示)，通常在间距大于I厘米的两个相邻传动轴之间设置桥接构件100。且所述桥接构件100的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。更具体地，所述设置有桥接构件100的两个相邻的传动轴200包括花滚轮结构，其分别具有中心柱201和围绕并突出于中心柱201而间隔设置的多个肩部202。桥接构件100的第一固定部件设置在相邻的两个肩部202之间的中心柱。优选地，桥接构件100被构造和安置为:使其第一固定部件和/或第二固定部件卡住中心柱的同时其支撑部件的上表面与肩部的最顶端平齐，从而防止薄板在传动轴间行进时发生板脚撕裂或卡板现象。桥接构件可选择一个或多个并排设置在传动轴上，桥接构件之间优选间距为薄板在传动轴方向的1/4宽度，以便起到更好的支撑作用。在一个实施例中，本实用新型薄板传送装置进一步包括槽体、电机和用于进行湿制程作业的喷头。其中，槽体内部两侧内壁水平平行地设置有多个传动轴。每个传动轴的两端均安装有链轮，相邻链轮之间安装有链条，电机与传动轴相连接以带动其旋转。所述喷头设置于传动轴的上方及/或下方，已对经由传动轴水平传送的薄板上表面进行清洗或蚀刻作业。
[0019]尽管已经阐明和描述了本揭示的不同实施例，本揭示并不限于这些实施例。仅在某些权利要求或实施例中出现的技术特征并不意味着不能与其他权利要求或实施例中的其他特征相结合以实现有益的新的技术方案。在不背离如权利要求书所描述的本揭示的精神和范围的情况下，许多修改、改变、变形、替代以及等同对于本领域技术人员而言是明显的。
【主权项】
1.一种用于传送薄板的桥接构件，其特征在于包括: 支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与所述第一端相对的第二端； 第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。2.根据权利要求1所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述第一固定部件被构造为具有开口以与所述第一传动轴的外轮廓相匹配。3.根据权利要求2所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述开口为弧形开口或半圆形开口。4.根据权利要求3所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述弧形开口或所述半圆形开口的两侧的前端各自设置有向下或略向内延伸的延长段。5.根据权利要求1所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述上表面在所述第二端的部分被构造为朝向所述下表面在所述第二端的部分倾斜一角度。6.根据权利要求5所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述角度为10-30度。7.根据权利要求1所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述第一传动轴包括花滚轮结构，所述花滚轮结构具有中心柱和围绕并突出于所述中心柱而间隔设置的多个肩部；其中所述第一固定部件固定至两个所述肩部之间的所述中心柱。8.根据权利要求1至4中任一项所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，进一步包括: 第二固定部件，其位于所述第二端并被构造为将所述桥接构件固定至第二传动轴。9.根据权利要求8所述的用于传送薄板的桥接构件，其特征在于，所述第二固定部件被构造为与所述第一固定部件相同，所述第二传动轴包括花滚轮结构，所述花滚轮结构具有中心柱和围绕并突出于所述中心柱而间隔设置的多个肩部；其中所述第二固定部件固定至两个所述肩部之间的所述中心柱。10.一种薄板传送装置，其特征在于，包括: 多个传动轴，所述传动轴包括花滚轮结构，以及 如权利要求1-9中任一项所述的用于传送薄板的桥接构件，所述桥接构件设置在相邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置。所述桥接构件包括：支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与所述第一端相对的第二端；第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。薄板传送装置包括：多个传动轴，所述传动轴包括花滚轮结构，以及上述桥接构件，所述桥接构件设置在相邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。
【IPC分类】B65H5/36
【公开号】CN204847473
【申请号】CN201520564241
【发明人】张大鹏, 张林伟, 孙世滨, 夏相
【申请人】日月光半导体(上海)有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月30日