压印用模具的制造方法
【专利说明】
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种压印用模具的制造方法。
【【背景技术】】
[0002]所谓压印技术，是将具有所需的微细的凹凸图案的反转图案的模具向基板上的液状树脂等转印材料按压、并借此将模具的反转图案向转印材料转印的微细加工技术。作为微细的凹凸图案的反转图案，存在有从1nm水平的纳米尺度的图案到10ym左右的图案，被用于半导体材料、光学材料、存储介质、微型机器、生物、环境等各种领域中。
[0003]作为反转图案向转印材料上的转印方法，有如下的方法，S卩，将薄膜模具卷绕在转印辊上而制成辊筒状的压印用模具，利用卷对卷工艺向转印材料连续转印反转图案。
[0004]在从薄膜模具制成辊筒状的压印用模具时，需要将薄膜模具的两端接合。作为薄膜模具的接合方法，在专利文献I中，公开过如下的技术，S卩，将对接了的树脂薄膜的端部用一对加热器夹入，用该加热器进行加压熔接；或将所要接合的树脂薄膜的端部以叠加的状态配置，从该状态起对适合的部分进行加压熔接。
【现有技术文献】
【专利文献】
[0005]【专利文献1】冊2011/049097号
【
【发明内容】
】
【发明所要解决的问题】
[0006]但是，在将树脂薄膜的端部彼此对接后加压熔接的情况下，无法将接合部充分地接合，其后会有发生背离的问题、或在接合部堆积转印树脂的问题。
[0007]另一方面，在将应当接合的树脂薄膜的端部间设为部分叠加的状态后对适合的部分进行加压熔接的情况下，虽然两者的接合性提高，然而在接合部产生高低差，从而会有在该高低差处堆积转印树脂的问题。
[0008]本发明是鉴于此种实际情况而完成的，提供一种可以防止转印树脂向转印辊上的堆积的压印用模具的制造方法。
【用于解决问题的手段】
[0009]根据本发明，提供一种压印用模具的制造方法，其具备:
树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物；
转移工序，通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并使所述树脂组合物固化，而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。
[0010]该方法中，由于将涂布在模具上的树脂组合物遍及转印辊的全周地转移并使之固化，因此遍及转印辊的全周都没有裂缝，从而可以得到能够防止转印树脂的堆积的压印用模具。
[0011]以下，例示出本发明的各种实施方式。以下所示的实施方式可以互相组合。
优选所述树脂组合物为光固化性树脂，在所述转移工序中，通过在所述树脂组合物与所述转印辊接触的状态下对所述树脂组合物照射光而将所述树脂组合物固化。
优选在所述树脂涂布工序中，将所述树脂组合物涂布在载放于以卷对卷形式搬送的搬送薄膜上的所述图案转移用模具上，在所述转移工序中，通过朝向旋转着的所述转印辊搬送涂布有所述树脂组合物的所述图案转移用模具，而遍及所述转印辊的全周地形成所述反转图案。
优选在所述转移工序之前还具备对所述转印辊进行易粘接处理的易粘接处理工序。 优选所述易粘接处理为向所述转印辊上卷绕易粘接膜的处理。
优选将所述易粘接膜以在两端的对接部设置间隙的方式卷绕，在所述间隙中填充所述树脂组合物。
优选所述图案转移用模具为树脂薄膜模具，其表面被进行了剥离处理。
优选所述树脂组合物由剥离性树脂构成。
优选在所述转移工序之后，对所述树脂组合物的表面进行剥离处理。
优选在所述转移工序中，在所述树脂组合物的头端附近或所述图案转移用模具的末端部设置遮蔽材料。
【【附图说明】】
[0012]图1是本发明的一个实施方式，是表示向转印辊上卷绕易粘接膜的工序的剖面图。
图2是图1的续图，表示将易粘接膜卷绕在转印辊上后的状态的剖面图。
图3是图2中的区域A的放大图。
图4是表示本发明的一个实施方式中使用的图案转移用模具的构成的剖面图。
图5是表示将图4的图案转移用模具贴附在搬送薄膜上的状态的剖面图。
图6是图5的续图，表示向图案转移用模具上涂布树脂组合物的工序的剖面图。
图7是图6中的区域B的放大图。
图8是图6的续图，表示将具有反转图案的树脂组合物向转印辊转移的状态的剖面图。 图9是图8中的区域C的放大图。
图10是图8中的区域D的放大图。
图11是图8的续图，表示遍及转印辊的全周地转移具有反转图案的树脂组合物后的状态的剖面图。
图12是图11中的区域A的放大图。
【【具体实施方式】】
[0013]以下，在参照附图的同时，对本发明的优选的实施方式进行具体说明。
[0014]使用图1?图12，对本发明的一个实施方式的压印用模具的制造方法进行说明。本实施方式的压印用模具的制造方法具备:树脂涂布工序，向具有微细的凹凸图案3的图案转移用模具2上涂布光或热固化性的树脂组合物25 ;转移工序，通过将树脂组合物25遍及圆柱状的转印辊12的全周地转移并使树脂组合物25固化，而遍及转印辊12的全周地形成凹凸图案3的反转图案3a。
[0015]用于实施该方法的装置没有特别限定，然而例如可以使用如图1所示的用于向转印材料压印凹凸图案的压印装置来实施。具备:转印辊12、配置于转印辊12的上游侧并且在其与转印辊12之间夹入搬送薄膜F的上游侧辊14、配置于转印辊的下游侧的下游侧辊16。在上游侧辊14的更上游处配置有送出搬送薄膜F的送出辊(未图示)，在下游侧辊16的更下游处配置有卷绕搬送薄膜F的卷绕辊(未图示)。所以，搬送薄膜F被卷对卷地搬送。另外，在送出辊与上游侧辊14之间设有用于向搬送薄膜F上涂布光固化树脂等转印材料的涂布机(例如模涂机)18，在转印辊12的下方设有用于使转印材料固化的光照射器(例如UV 灯)20。
以下对各工序进行详细说明。
[0016]1.易粘接处理工序
最先，优选具备对转印辊12进行易粘接处理的易粘接处理工序。所谓易粘接处理，是指为了在后述的转移工序中容易将树脂组合物25向转印辊12转移而用于提高转印辊12与树脂组合物25之间的亲和性的处理。该工序的实施方法没有特别限定，然而优选通过向转印辊12上卷绕易粘接膜4来实施。易粘接膜4只要是与树脂组合物25的亲和性高的材料即可，例如为在由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃及聚萘二甲酸乙二醇酯中的I种构成的薄膜的至少一面形成易粘接层的材料。易粘接层由丙烯酸树脂、聚氨酯树脂、聚酯树脂、以及这些树脂的混合物形成。另夕卜，在易粘接层中，可以含有交联剂、硅烷偶联剂。作为交联剂，可以举出异氰酸酯化合物、环氧化合物、噁唑啉化合物、密胺化合物。
易粘接膜4的长度也可以是与卷绕易粘接膜4的转印辊12的外周长度相同的程度，然而优选使之略短。该情况下，在将易粘接膜4卷绕到转印辊12上的状态下，在易粘接膜4的两端的对接部之间就会自然地形成间隙G，通过向该间隙G中填充树脂组合物25，就可以将易粘接膜4的两端的对接部牢固地接合。
[0017]这里，使用图1?图3对易粘接膜4的卷绕方法的一例进行说明。
[0018]首先，在易粘接膜4的一面贴附带有隔膜10的双面粘贴胶带8的一面。双面粘贴胶带8只要是可以将易粘接膜4贴附在转印辊12上的材料，其构成就没有特别限定，然而优选贴附在易粘接膜4上的一面(以下称作“膜粘贴面”)的粘合力大于贴附在转印辊12上的一面(以下称作“辊粘贴面”)的粘合力，辊粘贴面优选为再剥离性。夹隔着双面粘贴胶带8将易粘接膜4贴附在转印辊12上，形成后述的反转图案后作为压印用模具使用后，双面粘贴胶带8和易粘接膜4被一起剥离而废弃。所以，对于双面粘贴胶带8的膜粘贴面，为了防止双面粘贴胶带8与易粘接膜4的错移，粘合力越强越好，而另一方面，对于双面粘贴胶带8的辊粘贴面，为了使得使用后的从转印辊12中的剥离容易，优选在具有使用上没有问题的程度的粘合力的同时具有再剥离性。
[0019]另外，双面粘贴胶带8与