技术总结
本实用新型公开了一种尾气处理装置，包括一用于燃烧尾气的燃烧室；一气路管道，所述气路管道的一端与所述燃烧室相连；一送风机，所述送风机与所述气路管道的另一端相连，所述送风机向所述气路管道送风；以及一侦测和控制系统，所述侦测和控制系统侦测所述燃烧室的温度，同时根据侦测到的温度，控制所述送风机的送风速度。本实用新型的尾气处理装置所述送风机向所述气路管道送入气体，气体进入所述燃烧室的内部，所述侦测和控制系统通过实时探测所述燃烧室的温度来控制所述送风机的送风速度，使所述燃烧室的燃烧温度趋于稳定，提高尾气处理装置的处理效率，延长尾气处理装置的维护周期，减少不必要的损失，节约成本。
技术研发人员：杨维军;马彪;杨凯贺;卢彪;吴丹丹
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201620564738
技术研发日：2016.06.08
技术公布日：2017.01.04