热处理装置的制作方法

本发明涉及热处理装置。

本申请基于2014年7月7日在日本申请的特愿2014－139629号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术：

作为加热处理被处理物即金属材料的热处理装置，公知有多室型热处理装置(例如参照专利文献1)。在这样的多室型热处理装置中，具备容纳被处理物的加热室，利用加热室内部设置的加热器加热被处理物，由此进行热处理。

此外，在下述专利文献2～4中也公开了具备加热室或加热器、进行被处理物的加热处理或烧制的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2012－13341号公报

专利文献2：国际公开第2006/013932号公报

专利文献3：日本国特开2002－228364号公报

专利文献4：日本国特表2009－543996号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

为了防止加热器的热量向外部漏出，在这样的加热室的内壁上一般设置有隔热材料。然而，因为在加热室的底部设置有用于载置被处理物的热容量较大的载置台、或贯通隔热材料而设置的配管等，所以热量容易向外部逃逸。因此，在加热室的内部中，存在产生下方变得比上方温度低之类的温度不均匀的情况。若产生这样的温度不均匀，则在热处理状态下产生偏差，存在成为使处理品质降低的原因的可能性。

本发明鉴于上述问题点而提出，目的在于在进行被处理物的加热处理的热处理装置中，抑制加热室内部的温度不均匀的产生，从而均匀地加热被处理物。

用于解决上述技术问题的手段

作为用于解决上述技术问题的手段，本发明包含以下的构成。

本发明的第1方案为对被处理物进行加热处理的热处理装置，具备：加热室，在内部容纳上述被处理物；下加热器，对上述加热室内容纳上述被处理物的的区域即容纳区域的下部进行加热；上加热器，对上述容纳区域的上部进行加热。

本发明的第2方案，上述第1方案的热处理装置具备热传导分隔壁，配置在上述下加热器以及上述上加热器与上述容纳区域之间。

本发明的第3方案，上述第1或第2方案的热处理装置具备：多个上述上加热器以及多个上述下加热器，为电加热器；上加热器用电源单元，对所有的上述多个上加热器供电；下加热器用电源单元，对所有的上述多个下加热器供电。

本发明的第4方案，在上述第1方案的热处理装置中，上述下加热器具有：一对下加热器主体，在垂直方向上延伸；下加热器连结部，将这些一对下加热器主体的端部相互地连结。此外，上述上加热器具有：一对上加热器主体，在垂直方向上延伸；上加热器连结部，将这些一对上加热器主体的端部连结。

本发明的第5方案，在上述第4方案的热处理装置中，上述下加热器以及上述上加热器为电加热器。上述下加热器连结部以及上述上加热器连结部具有导电性，构成为能够从一对加热器主体中的一方向另一方通电。在上述一对下加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子，在上述一对下加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子。此外，在上述一对上加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子，在上述一对上加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子。

发明效果

本发明的热处理装置具备了加热容纳被处理物的加热室内部的容纳区域的下部的下加热器与加热上部的上加热器。因此，根据本发明，能够对上述容纳区域的下部与上部区别地温度控制。因此，在容纳区域的下部相对上部温度较低的情况下，通过仅增加下加热器的输出功率，能够使容纳区域的内部温度均匀化。因此，根据本发明，在进行被处理物的加热处理的热处理装置中，能够抑制加热室内部(容纳区域)的温度不均匀的产生，从而均匀地加热被处理物。

附图说明

图1是示出本发明的第1实施方式中的热处理装置的概略构成的纵剖视图。

图2是图1的A-A线向视图，是示出下加热器用电源单元的接线输入侧单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元的接线输入侧单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的图。

图3是图1的A-A线向视图，是示出下加热器用电源单元的接线输出侧单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元的接线输出侧单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的图。

图4A是示出下加热器用电源单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态的布线图。

图4B是示出上加热器用电源单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的布线图。

图5是示出本发明的第2实施方式中的热处理装置的概略构成的纵剖视图。

图6是热处理装置的加热室内配置的加热器的侧面展开图。

图7是图5的B-B线向视图，是示出下加热器用电源单元的接线输入侧单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元的接线输入侧单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的图。

图8是图5的B-B线向视图，是示出下加热器用电源单元的接线输出侧单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元的接线输出侧单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的图。

图9是示出下加热器用电源单元与下加热器由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元与上加热器由耐热电线连接的接线状态的布线图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的热处理装置进行说明。另外，在以下的附图中，为了使各部件成为能够识别的大小，对各部件的比例尺进行了适当变更。

(第1实施方式)

图1是示出作为本发明的第1实施方式的热处理装置1的概略构成的纵剖视图。另外，图1的纸面上侧示出装置中的垂直方向上侧。如图1所示，本实施方式的热处理装置1是进行被处理物W的加热处理的装置，具备：加热室2、隔热材料3、载置台4、加热器5、电源单元6、隔焰板7(热传导分隔壁)、气体供给部8、第1排气管9、第2排气管10、搅拌机11。

加热室2是形成为大致圆筒状、并且沿垂直方向配置其中心轴的立式容器。在加热室2的内部容纳有被处理物W。即，在加热器2的内部形成有容纳被处理物W的区域即容纳区域R。在该加热室2中，相对于大致圆筒状的侧壁部2a设置有底部2b以及盖部2c，由此将加热室2的内部做成为封闭空间。在该封闭空间即加热室2的内部容纳有隔热材料3、载置台4、加热器5以及隔焰板7等。

底部2b具有圆环状的底部框体2b1和可拆装地安装在该底部框体2b1的中央开口上并将其气密地封闭的底部主体2b2。底部主体2b2通过螺纹止动件等可拆装地安装在底部框体2b1上。该底部主体2b2以与底部框体2b1抵接的方式形成配置。这样的底部主体2b2作为用于使被处理物W在加热室2的内部进出的开闭部件(开闭门)起作用。

隔热材料3具有下部隔热材料3a、侧部隔热材料3b以及上部隔热材料3c。

下部隔热材料3a形成为设置在底部框体2b1上的圆环状。侧部隔热材料3b贴合在加热室2的侧壁部2a的内壁上。即，侧部隔热材料3b也形成为圆筒状。上部隔热材料3c配置在加热室2的盖部2c的内侧(即下侧)，具有可拆装地设置在其中央部的盖部3c1、和包围该盖部3c1而配置并且被加热器5插通的贯通孔3c2。另外，如后述的那样，在本实施方式中，因为设置有12根加热器5，所以贯通孔3c2包围盖部3c1且呈环状地排列有12个。这样的隔热材料3也可以由例如陶瓷纤维板等构成的隔热材料和陶瓷板层叠形成。

载置台4配置在底部主体2b2上，并且载置有被处理物W。该载置台4在从底部框体2b1取下底部主体2b2时，与底部主体2b2一起移动，并被取出至加热室2的外部。

加热器5是通过供电而发热的电加热器。在本实施方式中，作为该加热器5，包括：具有在垂直方向上延伸的长条的主体部的下加热器5a和具有在垂直方向上延伸的短条的主体部的上加热器5b。下加热器5a的主体部的下端部侧(包含下端的部位)做成为发热区域，对被处理物W的容纳区域R的下部进行加热。上加热器5b的主体部的下端部侧(包含下端的部位)做成为发热区域，对被处理物W的容纳区域R的上部进行加热。

在这些加热器5的上部设置有凸缘5c。相对于侧壁部2a固定有在上部隔热材料3c(更详细地说，形成有贯通孔3c2的部位)的上方配置的环状的支承部12，通过该支承部12支承凸缘5c，加热器5被悬吊支承。支承部12也能够以可拆装的方式固定在侧壁部2a上。这些加热器5通过贯通孔3c2，从隔热材料3的上方插入由隔热材料3包围的空间内。即，本实施方式的下加热器5a以及上加热器5b都以从支承部12向下方延伸的方式设置。因为下加热器5a比上加热器5b长，所以下加热器5a的下端位于比上加热器5b的下端更靠下方。另外，在本实施方式的下加热器5a的上端设置有作为电力输入端子的正端子和作为电力输出端子的负端子。在本实施方式的上加热器5b的上端设置有作为电力输入端子的正端子和作为电力输出端子的负端子。

图2是图1的A-A线向视图。如图2所示，本实施方式的加热器5以被处理物W的容纳区域R为中心，以环状(俯视环状)等间隔的方式配置有12个。即，12个加热器5在加热室2(侧壁部2a)的圆周方向上排列。另外，在本实施方式中，下加热器5a与上加热器5b在上述圆周方向上交替地排列，并且各自设置有6根下加热器5a与上加热器5b。

电源单元6是对加热器5进行供电的装置，经由耐热电线与各加热器5连接。在本实施方式中，电源单元6具备下加热器用电源单元6a和上加热器用电源单元6b。电源单元6也可以还具备能够输出所希望的电力的未图示的供电控制装置。下加热器用电源单元6a构成为对所有的下加热器5a供电，并由接线输入侧单元6a1和接线输出侧单元6a2构成。此外，上加热器用电源单元6b构成为对所有的上加热器5b供电，并由接线输入侧单元6b1和接线输出侧单元6b2构成。

图2以及图3都是图1的A-A线向视图。但是，图2示出了下加热器用电源单元6a的接线输入侧单元6a1与下加热器5a由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元6b的接线输入侧单元6b1与上加热器5b由耐热电线连接的接线状态；图3示出了下加热器用电源单元6a的接线输出侧单元6a2与下加热器5a由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元6b的接线输出侧单元6b2与上加热器5b由耐热电线连接的接线状态。此外，图4A是示出下加热器用电源单元6a与下加热器5a由耐热电线连接的接线状态的布线图，图4B是示出上加热器用电源单元6b与上加热器5b由耐热电线连接的接线状态的布线图。

如图2以及图4A所示，接线输入侧单元6a1具备3个电极棒6a3和连接这些电极棒6a3的母线6a4。母线6a4分别连接在3个电极棒6a3上。这些3个电极棒6a3各自经由耐热电线而与2个下加热器5a的正端子连接。如图3以及图4A所示，接线输出侧单元6a2具备3个电极棒6a5和连接这些电极棒6a5的母线6a6。母线6a6分别连接在3个电极棒6a5上。这些3个电极棒6a5各自经由耐热电线而与2个下加热器5a的负端子连接。母线6a4以及6a6上也可以连接能够输出所希望的电力的未图示的供电控制装置(第1供电控制装置)，因此，下加热器用电源单元6a构成为对下加热器5a供给电力而使下加热器5a发热。

如图2以及图4B所示，接线输入侧单元6b1具备3个电极棒6b3和连接这些电极棒6b3的母线6b4。母线6b4分别连接在3个电极棒6b3上。这些3个电极棒6b3各自经由耐热电线而与2个上加热器5b的正端子连接。如图3以及图4B所示，接线输出侧单元6b2具备3个电极棒6b5和连接这些电极棒6b5的母线6b6。母线6b6分别连接在3个电极棒6b5上。这些3个电极棒6b5各自经由耐热电线而与2个上加热器5b的负端子连接。母线6b4以及6b6上也可以连接能够输出所希望的电力的未图示的供电控制装置(第2供电控制装置)，因此，上加热器用电源单元6b构成为对上加热器5b供给电力而使上加热器5b发热。

返回图1，隔焰板7是以其中心轴与侧壁部2a的中心轴几乎一致的方式相对于侧壁部2a隔开一定的间隙而成的圆筒状部件，由导热性良好的耐火物形成。该隔焰板7设置为比加热器5更靠近加热室2的中心，并且在该隔焰板7与侧壁部2a之间形成加热器5的容纳空间。此外，在该隔焰板7的上端配置有上部隔热材料3c。本实施方式的隔焰板7的上端与上部隔热材料3c的下表面相接，隔焰板7的下端与下部隔热材料3a的上表面相接。另外，由该隔焰板7包围的空间是在加热处理时容纳被处理物W的上述容纳区域R。即，隔焰板7配置在下加热器5a以及上加热器5b与容纳区域R之间。

气体供给部8是贯通盖部2c地设置、在盖部2c的外侧经由配管(未图示)连接在气氛形成气体(例如烃类气体)的供给源(未图示)上的装置。气体供给部8的前端侧(下端侧)贯通上部隔热材料3c的盖部3c1，其前端部配置在容纳区域R中。

第1排气管9相对于盖部2c朝向斜上方配设，配置为连通盖部2c与上部隔热材料3c之间的空间，并且前端侧(盖部2c的相反侧)连接在未图示的真空泵上。此外，第2排气管10的前端侧(上部隔热材料3c的相反侧)内插至该第1排气管9的中间。第2排气管10设置为以连通容纳区域R的方式贯通盖部2c以及上部隔热材料3c的盖部3c1。第2排气管10的处于第1排气管9一侧的外径相对于第1排气管9的内径充分小地形成，由此构成为不能堵塞第1排气管9。这些第1排气管9以及第2排气管10构成为连接在真空泵上，利用真空泵对加热室2的内部强制排气。

搅拌机11相对于盖部2c固定，构成为具有如下的部分：由电机等构成的驱动部11a、在该驱动部11a的下方经由驱动轴11b安装的搅拌叶片11c。驱动轴11b配置为贯通上述上部隔热材料3c的盖部3c1，搅拌叶片11c通过安装在驱动轴11b的下端部而配置在容纳区域R内的上部。这样的搅拌机11通过搅拌叶片11c的旋转驱动来搅拌容纳区域R内的气体，使容纳区域R内的温度或气体浓度均匀。

此外，在热处理装置1中设置有将容纳区域R分为上下、并且测量各自的温度的热电偶(温度测量装置，未图示)，由此能够测量容纳区域R的上部与下部的温度。这些热电偶也可以构成为电气地连接在电源单元6(或者第1、第2供电控制装置)上、并且将温度测量结果输出至电源单元6等。

在通过这样的热处理装置1进行热处理时，首先，在载置台4上设置被处理物W，并将其配置在加热室2内。其次，从电源单元6向加热器5通电，将容纳区域R内加热至所希望的温度。此外，通过使未图示的真空泵工作，经由第1排气管9以及第2排气管10对加热室2减压。另外，加热室2的减压也可以比加热器5的通电先进行。

然后，若加热室2变为所希望的温度的减压气氛，则驱动搅拌机11使搅拌叶片11c旋转，根据需要从气体供给部8供给气氛形成气体，对被处理物W进行加热处理。此时，例如在由上述热电偶的温度测量结果判断出容纳区域R的下部的温度与上部相比较低的情况下，使从下加热器用电源单元6a供给的电力增大，由此使下加热器5a的发热量比上加热器5b高。由此，通过向容纳区域R的下部投入更多的热量，能够使容纳区域R的温度均匀。另外，这样的电力值的调整也可以利用上述的供电控制装置(第1、第2供电控制装置)进行。

另外，虽然进行这样的加热处理后会在容纳区域R中产生煤等，但因为容纳区域R被隔焰板7包围，所以煤等几乎不会附着在加热器5上。即，能够使加热器5长时间保持良好的状态，从而能够扩大加热器5的维护间隔。

进行了预先设定的时间的这样的热处理后，停止由加热器5进行的加热。

然后，也停止由真空泵进行的减压，从加热室2内取出被处理物W。之后，将新的被处理物W设置在加热室2内，通过重复上述的操作，也能够对新的被处理物W进行热处理。

以上那样的本实施方式的热处理装置1具备了对加热室2的内部的容纳区域R的下部进行加热的下加热器5a与对上部进行加热的上加热器5b。因此，根据本实施方式的热处理装置1，能够单独地控制容纳区域R的下部与上部的温度。因此，在容纳区域R的下部相对上部温度较低的情况下，通过仅使下加热器5a的输出增加，能够使容纳区域R的内部温度均匀化。因此，根据本实施方式的热处理装置1，能够抑制加热室2的内部(容纳区域R)的温度不均匀的产生，从而均匀地加热被处理物W。

此外，本实施方式的热处理装置1具备了配置在下加热器5a以及上加热器5b与容纳区域R之间的隔焰板7。因此，从下加热器5a以及上加热器5b辐射的热量传递给隔焰板7后向上下(进而在圆周方向上)分散。因此，能够更均匀地加热被处理物W。此外，通过被隔焰板7遮挡，能够抑制在容纳区域R产生的煤等附着在加热器5上。

此外，在本实施方式的热处理装置1中，加热器5为电加热器，并且具备对所有的下加热器5a供电的下加热器用电源单元6a和对所有的上加热器5b供电的上加热器用电源单元6b。因此，利用下加热器用电源单元6a能够进行所有的下加热器5a的温度调整。此外，利用上加热器用电源单元6b能够进行所有的上加热器5b的温度调整。

因此，在本实施方式的热处理装置1中，能够容易且正确地进行加热器5的温度控制。

(第2实施方式)

以下，参照图5～9，对本发明的第2实施方式的热处理装置进行说明。在本实施方式中，有时对于具有与上述的第1实施方式同样的构成以及功能的构成元件中，赋予与上述第1实施方式相同的附图标记并且省略了重复的说明。

图5是示出本发明的第2实施方式中的热处理装置1A的概略构成的纵剖视图。图5的纸面上侧表示装置中的垂直方向上侧。热处理装置1A虽然与上述第1实施方式同样具备多个加热器5，但本实施方式的加热器5具备多个下加热器5d以及多个上加热器5e来代替上述第1实施方式的下加热器5a以及上加热器5b。

图6是热处理装置1A的加热室2内配置的多个加热器5(下加热器5d以及上加热器5e)的侧面展开图。下加热器5d以及上加热器5e分别形成为大致U字状，其上部固定于支承部12。下加热器5d以及上加热器5e设置为从支承部12向下方延伸。下加热器5d在垂直方向上的长度设定为比上加热器5e在垂直方向上的长度大。

下加热器5d具有：一对下加热器主体5d1，在垂直方向上延伸；下加热器连结部5d2，将这些一对下加热器主体5d1的下端部(端部)相互连结；并且下加热器5d整体形成为大致U字状。下加热器主体5d1形成为在垂直方向上延伸的棒状；下加热器连结部5d2形成为在水平方向上延伸的棒状。下加热器5d为电加热器。即，下加热器主体5d1为电加热器，构成为能够通过通电而发热。包含下加热器主体5d1的下端的部位(图5、6中附加了交叉影线的部位)做成发热区域，加热容纳区域R的下部。一对下加热器主体5d1的一方的上端部上设置有作为电力输入侧端子的正端子5d3，一对下加热器主体5d1的另一方的上端部上设置有作为电力输出侧端子的负端子5d4。即，与上述第1实施方式不同，在本实施方式的下加热器主体5d1上仅设置有正端子5d3以及负端子5d4的一方。下加热器连结部5d2具有导电性，构成为能够从一对下加热器主体5d1的一方向另一方通电。因此，若向下加热器5d的正端子5d3供给电力，则能够使一对下加热器主体5d1都发热。下加热器连结部5d2既可以仅由导电材料构成，也可以做成由绝缘材料包覆导电材料(电线)的构成。

上加热器5e具有：一对上加热器主体5e1，在垂直方向上延伸；上加热器连结部5e2，将这些一对上加热器主体5e1的下端部(端部)相互连结；并且上加热器5e整体形成为大致U字状。上加热器主体5e1形成为在垂直方向上延伸的棒状；上加热器连结部5e2形成为在水平方向上延伸的棒状。上加热器5e也与下加热器5d同样为电加热器。即，上加热器主体5e1为电加热器，构成为能够通过通电而发热。包含上加热器主体5e1的下端的部位(图5、6中附加了交叉影线的部位)做成发热区域，加热容纳区域R的上部。一对上加热器主体5e1的一方的上端部上设置有作为电力输入侧端子的正端子5e3，一对上加热器主体5e1的另一方的上端部上设置有作为电力输出侧端子的负端子5e4。即，与上述第1实施方式不同，在本实施方式的上加热器主体5e1上仅设置有正端子5e3以及负端子5e4的一方。上加热器连结部5e2具有导电性，构成为能够从一对上加热器主体5e1的一方向另一方通电。因此，若向上加热器主体5e的正端子5e3供给电力，则能够使一对上加热器主体5e1都发热。上加热器连结部5e2既可以仅由导电材料构成，也可以做成由绝缘材料包覆导电材料(电线)的构成。

下加热器主体5d1以及上加热器主体5e1的各上端部固定于支承部12，因此，下加热器主体5d1以及上加热器主体5e1设置为从支承部12向下方延伸。因为下加热器主体5d1的垂直方向上的长度设定为比上加热器主体5e1的垂直方向上的长度大，所以下加热器主体5d1的下端部位于上加热器主体5e1的下端的下方。即，下加热器连结部5d2位于上加热器连结部5e2下方。

图7以及图8都是图5的B-B线向视图，图7示出了下加热器用电源单元6a的接线输入侧单元6a1与下加热器5d由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元6b的接线输入侧单元6b1与上加热器5e由耐热电线连接的接线状态。图8示出了下加热器用电源单元6a的接线输出侧单元6a2与下加热器5d由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元6b的接线输出侧单元6b2与上加热器5e由耐热电线连接的接线状态。此外，图9是示出下加热器用电源单元6a与下加热器5d由耐热电线连接的接线状态、以及上加热器用电源单元6b与上加热器5e由耐热电线连接的接线状态的布线图。

本实施方式的热处理装置1A具备3个下加热器5d和3个上加热器5e。多个加热器5(下加热器5d以及上加热器5e)排列在加热室2(侧壁部2a)的圆周方向上。此外，一对下加热器主体5d1也在上述圆周方向上排列配置，一对上加热器主体5e1也在上述圆周方向上排列配置。

如图7以及图9所示，本实施方式的接线输入侧单元6a1具备1个电极棒6a3和电气地连接在该电极棒6a3上的1根母线6a4。母线6a4分别经由耐热电线连接在3个下加热器5d(3对下加热器主体5d1)上的3个正端子5d3上。即，母线6a4具有用于连接3根耐热电线的3个端子，并且电气地连接电极棒6a3与这些耐热电线。如图8以及图9所示，本实施方式的接线输出侧单元6a2具备1个电极棒6a5和电气地连接在该电极棒6a5上的1根母线6a6。母线6a6分别经由耐热电线连接在3个下加热器5d(3对下加热器主体5d1)上的3个负端子5d4上。即，母线6a6具有用于连接3根耐热电线的3个端子，并且电气地连接电极棒6a5与这些耐热电线。

如图7以及图9所示，本实施方式的接线输入侧单元6b1具备1个电极棒6b3和电气地连接在该电极棒6b3上的1根母线6b4。母线6b4分别经由耐热电线连接在3个上加热器5e(3对上加热器主体5e1)上的3个正端子5e3上。即，母线6b4具有用于连接3根耐热电线的3个端子，并且电气地连接电极棒6b3与这些耐热电线。如图8以及图9所示，本实施方式的接线输出侧单元6b2具备1个电极棒6b5和电气地连接在该电极棒6b5上的1根母线6b6。母线6b6分别经由耐热电线连接在3个上加热器5e(3对上加热器主体5e1)上的3个负端子5e4上。即，母线6b6具有用于连接3根耐热电线的3个端子，并且电气地连接电极棒6b5与这些耐热电线。

电极棒6a3以及6a5上也可以连接能够输出所希望的电力的未图示的供电控制装置(第1供电控制装置)，因此，下加热器用电源单元6a也可以构成为对下加热器5d供给电力而使下加热器5d发热。电极棒6a3以及6a5上也可以连接能够输出所希望的电力的未图示的供电控制装置(第2供电控制装置)，因此，上加热器用电源单元6b也可以构成为对上加热器5e供给电力而使上加热器5e发热。

根据该第2实施方式，能够同样获得上述第1实施方式中示出的所有的效果。此外，在第2实施方式中，因为利用加热器连结部将一对加热器主体相互地连结，所以在1个下加热器主体5d1上仅设置正端子5d3以及负端子5d4中的一方，在1个下加热器主体5e1上仅设置正端子5e3以及负端子5e4中的一方。因此，与在1个加热器主体上都设置了正端子和负端子的上述第1实施方式相比，能够使连接下加热器以及上加热器与电极棒的耐热电线的根数为1/2。因为在布线空间设置的电线的数量变少，所以能够充分地设置用于确保绝缘的部件，从而能够容易地确保耐热电线间的绝缘。此外，因为布线的电线数量减少，所以能够都削减材料费用以及布线作业费用。进而，因为利用加热器连结部将一对加热器主体相互地连结，所以能够提高由一对加热器主体构成的单个加热器的刚性，从而能够防止在维护等中的加热器的破损。

此外，在第2实施方式中，电极棒与母线的位置关系与上述第1实施方式相反，母线是用于将在加热器上连接的多根耐热电线与1个电极棒相连接。因此，与上述第1实施方式相比，能够削减电极棒的根数。

以上，虽然参照附图对优选的实施方式进行了说明，但本发明的内容并不限定于上述实施方式。在上述的实施方式中示出的各构成部件的各种形状或组合等为一例，在不脱离本发明的主旨的范围内，基于设计要求等能够进行构成的负载、省略、置换以及其他的变更。

例如，在上述第1实施方式中，对下加热器5a与上加热器5b各自为6根的构成进行了说明。然而，本发明并不限定于此，也可以变更下加热器5a与上加热器5b的设置根数。在对下加热器与上加热器要求的发热量不同的情况下，既可以使下加热器与上加热器的发热性能不同，也可以使下加热器与上加热器的设置根数不同。在使设置根数不同的情况下，例如，可以考虑使2根下加热器与1根上加热器交替地在圆周方向上排列。此外，也可以不使下加热器5a与上加热器5b交替地以等间隔排列。在上述第2实施方式中，也可以变更下加热器5d与上加热器5e的设置根数或发热性能。

在上述实施方式中，虽然下加热器以及上加热器被固定于设置在加热室2的上部的支承部12，但从抑制加热室2的上部与下部的温度偏差的目的来看，支承部也可以配置在加热室的下部，下加热器以及上加热器也可以设置为从这样的支承部向上方延伸。在该情况下，下加热器的长度设定为比上加热器的长度小。

在第1实施方式与第2实施方式中，虽然电极棒与母线的位置关系相互相反，但也可以将第1实施方式中的电极棒以及母线的构成应用于第2实施方式，此外，也可以将第2实施方式中的电极棒以及母线的构成应用于第1实施方式。

在上述实施方式中，虽然使用了作为电加热器的下加热器以及上加热器，但本发明并不限定于此，也可以将例如使用燃烧气体的燃烧热的加热器(燃烧器)作为本发明的下加热器以及上加热器使用。

在上述实施方式中，虽然加热器2或隔热材料3形成为圆筒状，但本发明并不限定于该构成，也可以形成为圆筒状以外的形状、例如方筒状。

此外，在上述实施方式中，对将本申请的权利要求书中记载的特征应用于热处理装置1的例子进行了说明。然而，本发明并不限定于上述实施方式，也能够将上述特征应用于真空渗碳炉等。

工业实用性

本发明能够在具备加热器的加热室内加热处理被处理物的热处理装置中使用。

附图标记说明

1、1A 热处理装置

2 加热室

2a 侧壁部

2b 底部

2b1 底部框体

2b2 底部主体

2c 盖部

3 隔热材料

3a 下部隔热材料

3b 侧部隔热材料

3c 上部隔热材料

3c1 盖部

3c2 贯通孔

4 载置台

5 加热器

5a 下加热器

5b 上加热器

5c 凸缘

5d 下加热器

5d1 下加热器主体

5d2 下加热器连结部

5d3 正端子(输入侧端子)

5d4 负端子(输出侧端子)

5e 上加热器

5e1 上加热器主体

5e2 上加热器连结部

5e3 正端子(输入侧端子)

5e4 负端子(输出侧端子)

6 电源单元

6a 下加热器用电源单元

6a1 接线输入侧单元

6a2 接线输出侧单元

6a3 电极棒

6a4 母线

6a5 电极棒

6a6 母线

6b 上加热器用电源单元

6b1 接线输入侧单元

6b2 接线输出侧单元

6b3 电极棒

6b4 母线

6b5 电极棒

6b6 母线

7 隔焰板(热传导分隔壁)

8 气体供给部

9 第1排气管

10 第2排气管

11 搅拌机

11a 驱动部

11b 驱动轴

11c 搅拌叶片

12 支承部

R 容纳区域

W 被处理物

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种热处理装置，对被处理物进行加热处理，

具备：

加热室，在内部容纳所述被处理物；

多个下加热器，为电加热器，对所述加热室内容纳所述被处理物的区域即容纳区域的下部进行加热；

多个上加热器，为电加热器，对所述容纳区域的上部进行加热；

热传导分隔壁，配置在所述多个下加热器以及所述多个上加热器与所述容纳区域之间；

上加热器用电源单元，对所有的所述多个上加热器供电；

下加热器用电源单元，对所有的所述多个下加热器供电。

2.一种热处理装置，对被处理物进行加热处理，

具备：

加热室，在内部容纳所述被处理物；

下加热器，对所述加热室内容纳所述被处理物的区域即容纳区域的下部进行加热；

上加热器，对所述容纳区域的上部进行加热；

热传导分隔壁，配置在所述下加热器以及所述上加热器与所述容纳区域之间；

所述下加热器具有：

一对下加热器主体，在垂直方向上延伸；

下加热器连结部，将该一对下加热器主体的端部相互地连结；

所述上加热器具有：

一对上加热器主体，在垂直方向上延伸；

上加热器连结部，将该一对上加热器主体的端部连结。

3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，

所述下加热器以及所述上加热器为电加热器；

所述下加热器连结部以及所述上加热器连结部具有导电性，构成为能够从一对加热器主体中的一方向另一方通电；

在所述一对下加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子，在所述一对下加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子；

在所述一对上加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子，在所述一对上加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子。