1.一种热处理装置,对被处理物进行加热处理,
具备:
加热室,在内部容纳所述被处理物;
下加热器,对所述加热室内容纳所述被处理物的区域即容纳区域的下部进行加热;
上加热器,对所述容纳区域的上部进行加热。
2.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,具备热传导分隔壁,配置在所述下加热器以及所述上加热器与所述容纳区域之间。
3.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,
具备:
多个所述上加热器以及多个所述下加热器,为电加热器;
上加热器用电源单元,对所有的所述多个上加热器供电;
下加热器用电源单元,对所有的所述多个下加热器供电。
4.如权利要求2所述的热处理装置,其特征在于,
具备:
多个所述上加热器以及多个所述下加热器,为电加热器;
上加热器用电源单元,对所有的所述多个上加热器供电;
下加热器用电源单元,对所有的所述多个下加热器供电。
5.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,
所述下加热器具有:
一对下加热器主体,在垂直方向上延伸;
下加热器连结部,将该一对下加热器主体的端部相互地连结;
所述上加热器具有:
一对上加热器主体,在垂直方向上延伸;
上加热器连结部,将该一对上加热器主体的端部连结。
6.如权利要求5所述的热处理装置,其特征在于,
所述下加热器以及所述上加热器为电加热器;
所述下加热器连结部以及所述上加热器连结部具有导电性,构成为能够从一对加热器主体中的一方向另一方通电;
在所述一对下加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子,在所述一对下加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子;
在所述一对上加热器主体中的一方设置有电力输入侧端子,在所述一对上加热器主体中的另一方设置有电力输出侧端子。