一种扩散炉暂存区冷却装置的制作方法

本实用新型涉及扩散炉技术领域，尤其涉及一种扩散炉暂存区冷却装置。

背景技术：

在光伏电池行业中，暂存区指的是扩散炉或PECVD设备内设置在机械手立柱上、用于待工艺舟和已工艺舟存放的一套机械结构。暂存区的作用有多种，例如：1、提高机械手传输舟的效率，减少已工艺石英舟与待工艺石英舟输送替换的时间；2、用于已工艺舟的自然冷却，由于已工艺舟从石英管出来后温度非常高，当设备为侧向出舟方式时，已工艺的舟需先放置在暂存区上冷却至一定温度后，方可通过人工取放或侧向出舟机构传送至自动插片机内。现有技术中的扩散炉暂存区一般未设置有效的散热冷却结构，导致工艺舟冷却时间非常长，严重影响加工效率。

因此，如何设计一种结构简洁、冷却效率高的扩散炉暂存区冷却装置是业界亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种扩散炉暂存区冷却装置，该冷却装置通过吹风的方式进行散热，快速有效的降低载片舟及硅片的温度。

本实用新型采用的技术方案是，设计一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟的暂存区、设置暂存区外的风机、设置在各暂存区下方的吹风支管、将所有吹风支管连接至风机的出风口的通风主管道，吹风支管上排列设有开口朝上的通风孔。

优选的，风机的进风口和/或出风口连接有过滤器。

优选的，风机为高压风机，高压风机的进风口或出风口连接有释压阀。

本实用新型在各个暂存区下方均设置有吹风支管，在吹风支管上设置有位于暂存区上载片舟摆放位置下方的通风孔，由风机提供风量经通风孔吹向载片舟及硅片，从而带走热量，既能快速有效的降低载片舟和硅片的温度，又能降低扩散炉内部的温度，本实用新型能很好的适用于扩散炉。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：

图1是冷却装置安装在扩散炉内的示意图；

图2是冷却装置对暂存区吹风散热的示意图。

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型提出的扩散炉暂存区冷却装置，包括：暂存区1、风机2、吹风支管3和通风主管道4，暂存区1用于放置载片舟5，硅片6间隔排列在载片舟5上，扩散炉上一般由上至下排列有多个暂存区1，各暂存区1下方均设置有吹风支管3，风机2设置在暂存区1的外部，所有吹风支管3连通连接在通风主管道4上，再由通风主管道4连接至风机2的出风口，吹风支管3上排列设有开口朝上的通风孔，通风孔的位置位于暂存区1上载片舟5摆放位置的下方。

较优的，风机2的进风口或出风口连接有过滤器7，净化进入风机2内的空气，防止空气中的杂质经吹风支管3吹出后污染硅片6，保证硅片6的生产质量，本实施例中风机2的进风口连接有过滤器7，当然也可以在风机2的进风口和出风口均设置过滤器。为了提高散热效率，风机2采用高压风机，高压风机连接有释压阀8，释压阀8主要是对高压风机的压力进行调节，将释压阀8安装在高压风机出口或入口管道上面，释压阀8将超过的压力通过风流释放出，从而起到保护高压风机的作用。使用时通过高压风机提供风量，由通风主管道4流向吹风支管3，吹风支管3经通风孔吹向载片舟5和硅片6，从而迅速带走热量，达到有效降温的目的。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。