一种靶材原料烧结用的烧结机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材原料烧结用的烧结机。
【背景技术】
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的烧结工艺中用到的烧结机需要将氢氧化铌沉淀做成方砖，然后烧结、干燥，提前制作方砖的工序复杂，费事费力，并且由于氢氧化铌导热性差，方砖结构中心不易干透，容易造成开裂、干湿不均匀，影响下一步工序质量。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种靶材原料烧结用的烧结机，能够方便物料装填，提高生产效率及生产质量。
[0004]本实用新型采用的具体技术方案是:
[0005]—种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉，烧结炉为箱体结构，烧结炉还设置有密封门，密封门与烧结炉侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉还设置有铂铑测温计，所述的烧结炉内还设置有物料托盘，所述的物料托盘内设置有一组多个的辅热粧，辅热粧在物料托盘内侧的底面呈矩阵排布。
[0006]所述的辅热粧为圆柱结构，辅热粧中心设置有贯通孔，贯通孔与物料托盘下端面连通。
[0007]还设置有固定滑轨，固定滑轨分别设置在烧结炉内相对的左、右侧面上，固定滑轨呈C型槽体结构，固定滑轨与物料托盘形成滑动配合。
[0008]所述的物料托盘设置有多个，多个物料托盘在烧结炉内竖向排列。
[0009]本实用新型的有益效果是:
[0010]本实用新型，采用辅热粧将物料托盘内的物料贯穿，当加热时，借助于辅热粧能够使得物料受热更加均匀，增加受热面积，设置的固定滑轨能够方便物料托盘的取用，便于物料装填及取出。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]附图中，1、烧结炉，2、密封门，3、铂铑测温计，4、物料托盘，5、辅热粧，6、贯通孔，7、
固定滑轨。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0014]具体实施例如图1所示，本实用新型为一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉I，烧结炉I为箱体结构，烧结炉I还设置有密封门2，密封门2与烧结炉I侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉I为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉I还设置有铂铑测温计3，所述的烧结炉I内还设置有物料托盘4，所述的物料托盘4内设置有一组多个的辅热粧5，辅热粧5在物料托盘4内侧的底面呈矩阵排布。
[0015]所述的辅热粧5为圆柱结构，辅热粧5中心设置有贯通孔6，贯通孔6与物料托盘4下端面连通。
[0016]还设置有固定滑轨7，固定滑轨7分别设置在烧结炉I内相对的左、右侧面上，固定滑轨7呈C型槽体结构，固定滑轨7与物料托盘4形成滑动配合。
[0017]作为本实用新型的进一步改进，所述的物料托盘4设置有多个，多个物料托盘4在烧结炉I内竖向排列，设置在物料托盘4上的辅热粧5在物料托盘4安装到位后，辅热粧5相互贯通，即使物料托盘4密集摆放，也能保证物料中心受热均匀。
[0018]本实用新型，采用辅热粧将物料托盘内的物料贯穿，当加热时，借助于辅热粧能够使得物料受热更加均匀，增加受热面积，设置的固定滑轨能够方便物料托盘的取用，便于物料装填及取出。
【主权项】
1.一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉(I)，烧结炉(I)为箱体结构，烧结炉(I)还设置有密封门(2)，密封门(2)与烧结炉(I)侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉(I)为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉(I)还设置有铂铑测温计(3)，所述的烧结炉(I)内还设置有物料托盘(4)，其特征在于:所述的物料托盘(4)内设置有一组多个的辅热粧(5)，辅热粧(5)在物料托盘(4)内侧的底面呈矩阵排布。2.根据权利要求1所述的一种靶材原料烧结用的烧结机，其特征在于:所述的辅热粧(5)为圆柱结构，辅热粧(5)中心设置有贯通孔(6)，贯通孔(6)与物料托盘(4)下端面连通。3.根据权利要求1所述的一种靶材原料烧结用的烧结机，其特征在于:还设置有固定滑轨(7)，固定滑轨(7)分别设置在烧结炉(I)内相对的左、右侧面上，固定滑轨(7)呈C型槽体结构，固定滑轨(7)与物料托盘(4)形成滑动配合。4.根据权利要求1所述的一种靶材原料烧结用的烧结机，其特征在于:所述的物料托盘(4)设置有多个，多个物料托盘(4)在烧结炉(I)内竖向排列。
【专利摘要】本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉，烧结炉为箱体结构，烧结炉还设置有密封门，密封门与烧结炉侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉还设置有铂铑测温计，所述的烧结炉内还设置有物料托盘，所述的物料托盘内设置有一组多个的辅热桩，辅热桩在物料托盘内侧的底面呈矩阵排布。本实用新型，采用辅热桩将物料托盘内的物料贯穿，当加热时，借助于辅热桩能够使得物料受热更加均匀，增加受热面积，设置的固定滑轨能够方便物料托盘的取用，便于物料装填及取出。
【IPC分类】F27B17/00
【公开号】CN205262187
【申请号】CN201521061850
【发明人】崔娜, 朱辉, 闫丽娜, 张卫, 康林杰, 郄奕
【申请人】河北东同光电科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月18日