一种适用于大尺寸钼靶材的中频烧结炉吊装装置制造方法
【专利摘要】本实用新型属于大型靶材制备装置领域，尤其涉及一种适用于大尺寸钼靶材的中频烧结炉吊装装置。所述装置，包括行车吊钩和与行车吊钩配合的U型挂扣，U型挂扣的开口端固设有吊耳，U型挂扣的两个吊耳通过第一螺栓与第一U型吊臂的开口端活动连接，U型挂扣的两个吊耳还通过第二螺栓与第二U型吊臂的开口端活动连接，第一、第二U型吊臂在U型挂扣的吊耳上水平排列。本实用新型结构简单，设计合理，U型吊臂与U型卡扣活动连接，相互开合角度可调节，而且U型卡扣与行车吊钩配合方便，吊装大型溅射靶材烧结前、后的胚料方便、快捷和有效。
【专利说明】一种适用于大尺寸钼靶材的中频烧结炉吊装装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于大型靶材制备装置领域，尤其涉及一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置。
【背景技术】
[0002]溅射靶材作为一种先进的薄膜材料制备技术，具有“高速”及“低温”两大特点。大型溅射靶材需要使用中频炉进行烧结加工:将靶材粉质胚料装入中频炉的烧结钨坩埚内进行烧结加工，以保证烧结后靶材胚料的尺寸、胚型、内部晶粒组织结构及密度达到后期加工要求，加工完毕后，再将成形胚料吊出炉内，由于大型溅射靶材的重量在10Kg以上，所以大型溅射靶材在中频炉中的进装和出卸非常困难:1)烧结前的成型后的胚料仍然是粉状结构，结构很松散，在吊装时很容易因为磕碰或受力不均匀产生吊角损坏、严重时甚至整个粉质胚料断裂报废，而现有技术中的一般的吊装工具如钢丝绳、吊装带等无法满足作业需求；2)烧结成形的胚料在炉内保温环境中经过2000°左右的高温烧结，虽然已经经过15小时的冷却，但材料仍然有500°左右的温度，一般的吊装工具无法承受这样的高温，而过于庞大的抓卡工具又因中频炉盖内烧结钨坩埚的容积所限，无法深入炉内进行吊装出炉。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置。本实用新型结构简单，设计合理，吊装大型溅射靶材的烧结前、后胚料方便快捷。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下:
[0005]一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，包括行车吊钩，所述装置包括与行车吊钩配合的U型挂扣，U型挂扣的开口端固设有吊耳，U型挂扣的两个吊耳通过第一螺栓与第一 U型吊臂的开口端活动连接，U型挂扣的两个吊耳还通过第二螺栓与第二 U型吊臂的开口端活动连接，第一、第二U型吊臂在U型挂扣的吊耳上水平排列。
[0006]优选的，所述的U型挂扣的两个吊耳通过紧固螺栓连接。
[0007]优选的，所述的U型吊臂的两吊臂上均设有槽体，槽体内设有与锁紧螺母配合的第三螺栓，所述吊装装置还包括限位挡板，第三螺栓穿过限位挡板与锁紧螺母配合。
[0008]优选的，所述的限位挡板为L型钢板。
[0009]优选的，所述的限位挡板为U型钢板，第三螺栓穿过U型限位挡板的开口端与锁紧螺母配合。
[0010]优选的，所述U型挂扣、U型吊臂由钢材制成。
[0011]工作时，将大型溅射靶材的烧结前粉质胚料一端放置于第一 U型吊臂上，然后根据粉质胚料的体积，将第二 U型吊臂绕第二螺栓转动，调整第二 U型吊臂的位置，将粉质胚料的另一端放置于第二 U型臂上，调整第一 U型吊臂和第二 U型吊臂上的U型限位挡板，使得U型限位挡板带动第三螺栓和锁紧螺母沿相应的槽体移动，使得U型限位挡板接触粉质胚料竖直方向中部边线，保证粉质胚料在第一 U型吊臂和第二 U型吊臂上稳定放置，防止吊装时粉质胚料从第一 U型吊臂和第二 U型吊臂两侧倾斜掉落，然后将行车吊钩与U型挂扣配合，利用行车将U型挂扣、第一 U型吊臂和第二 U型吊臂吊起，间接吊动粉质胚料，然后将粉质胚料放入中频炉的烧结钨坩埚中，然后人工将粉质胚料与第一 U型吊臂和第二 U型吊臂分离即可；当烧结完毕后，将烧结后的胚料采用上述同样步骤放置于第一 U型吊臂和第二 U型吊臂上，调整U型限位挡板的位置，通过行车将烧结后胚料吊装出炉即可。
[0012]U型挂扣的两个吊耳通过紧固螺栓连接，保证U型挂扣的形状稳定性，不易产生形变。
[0013]本实用新型与现有技术相比，具有如下优点:结构简单，设计合理，U型吊臂与U型卡扣活动连接，相互开合角度可调节，而且U型卡扣与行车吊钩配合方便，吊装大型溅射靶材烧结前、后的胚料方便、快捷和有效。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为【具体实施方式】中适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置的结构示意图；
[0015]图2为图1的侧视图；
[0016]图3为【具体实施方式】中适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置的使用状态图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0018]一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，包括行车吊钩，所述装置包括与行车吊钩配合的U型挂扣1，U型挂扣I的开口端固设有吊耳2，两个吊耳2通过紧固螺栓7连接，U型挂扣I的两个吊耳2通过第一螺栓3与第一 U型吊臂4的开口端活动连接，U型挂扣I的两个吊耳2还通过第二螺栓5与第二 U型吊臂6的开口端活动连接，第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6在U型挂扣I的吊耳2上水平排列。第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6的两吊臂上均设有槽体8，槽体8内设有与锁紧螺母11配合的第三螺栓10，第三螺栓10穿过U型限位挡板9的开口端与锁紧螺母11配合。
[0019]所述U型挂扣1、第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂5由钢材制成。
[0020]工作时，将大型溅射靶材的烧结前粉质胚料12 —端放置于第一 U型吊臂4上，然后根据粉质胚料12的体积，将第二 U型吊臂6绕第二螺栓5转动，调整第二 U型吊臂6的位置，将粉质胚料的另一端放置于第二 U型臂6上，调整第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6上的U型限位挡板9，使得U型限位挡板9带动第三螺栓10和锁紧螺母11沿相应的槽体8移动，使得U型限位挡板9接触粉质胚料竖直方向中部边线，保证粉质胚料12在第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6上稳定放置，防止吊装时粉质胚料12从第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6两侧倾斜掉落，然后将行车吊钩与U型挂扣I配合，利用行车将U型挂扣1、第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6吊起，间接吊动粉质胚料12，然后将粉质胚料12放入中频炉的烧结钨坩埚中，然后人工将粉质胚料12与第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6分离即可；当烧结完毕后，将烧结后的胚料采用上述同样步骤放置于第一 U型吊臂4和第二 U型吊臂6上，调整U型限位挡板9的位置，通过行车将烧结后胚料吊装出炉即可。
[0021]U型挂扣I的两个吊耳2通过紧固螺栓7连接，保证U型挂扣I的形状稳定性，不易产生形变。
【权利要求】
1.一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，包括行车吊钩，其特征在于，所述装置包括与行车吊钩配合的U型挂扣，U型挂扣的开口端固设有吊耳，U型挂扣的两个吊耳通过第一螺栓与第一U型吊臂的开口端活动连接，U型挂扣的两个吊耳还通过第二螺栓与第二 U型吊臂的开口端活动连接，第一、第二 U型吊臂在U型挂扣的吊耳上水平排列。
2.如权利要求1所述的一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，其特征在于，所述的U型挂扣的两个吊耳通过紧固螺栓连接。
3.如权利要求1所述的一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，其特征在于，所述的U型吊臂的两吊臂上均设有槽体，槽体内设有与锁紧螺母配合的第三螺栓，所述吊装装置还包括限位挡板，第三螺栓穿过限位挡板与锁紧螺母配合。
4.如权利要求3所述的一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，其特征在于，所述的限位挡板为L型钢板。
5.如权利要求3所述的一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，其特征在于，所述的限位挡板为U型钢板，第三螺栓穿过U型限位挡板的开口端与锁紧螺母配合。
6.如权利要求1-3任一所述的一种适用于大尺寸钥靶材的中频烧结炉吊装装置，其特征在于，所述U型挂扣、U型吊臂由钢材制成。
【文档编号】B66C1/22GK203998605SQ201420380832
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月11日 优先权日:2014年7月11日
【发明者】赵文普, 王健, 高建杰 申请人:洛阳高新四丰电子材料有限公司