本实用新型涉及一种常压CVD设备的冷却水循环系统。
背景技术：
目前在使用的传统常压CVD（化学气相淀积）喷头冷却系统，使用三相200V电源，如图1所示，包括热交换器1、循环水箱2、循环泵3、流量计4、喷头5，其中所述热交换器1分别与冷却水进水管6、冷却水出水管7相连；所述的热交换器1通过管路与循环水箱2相连；所述的循环水箱2通过管路与喷头5相连，且所述的循环水箱2与喷头5之间的管路上安装有循环泵3和流量计4；所述的喷头5通过管路与热交换器1相连。在出现车间电力闪断后，会出现系统复位停止运行现象,该系统停止运行后喷头的循环冷却水供水中断，不能对仍处于高温区域的喷头进行冷却，喷头经历烘烤变形损坏，而且一台设备有三组喷头，单组喷头购买价格在42万左右，损失非常大。
电力异常发生在可及时处理时间区间时可能不会一次性体现出损坏程度，若电力异常发现较晚或者需要较长时间才能赶到现场进行处理，则可能就会出现一次性损坏结果。
技术实现要素：
本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种常压CVD设备的冷却水循环系统，采用本实用新型后，在冷却水系出现断电复位后能自行切换到应急水路，继续对喷头组件提供动态冷却水，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：
一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器、循环水箱、循环泵、流量计、喷头，其中所述热交换器分别与冷却水进水管、冷却水出水管相连；所述的热交换器通过管路与循环水箱相连；所述的循环水箱通过管路与喷头相连，且所述的循环水箱与喷头之间的管路上安装有循环泵和流量计；所述的喷头通过管路与热交换器相连；所述的循环泵与流量计之间的管路上安装有第一单向阀；所述的喷头与热交换器之间的管路上安装有常闭阀,所述的常闭阀的两端安装有回路支管；所述的第一单向阀、流量计之间的管路与冷却水进水管之间安装有应急进水管路；所述的常闭阀、喷头之间的管路与冷却水出水管之间安装有应急出水管路；所述的应急进水管路、应急出水管路上分别安装有常开阀；所述的常开阀之后的应急进水管路上还安装有第二单向阀。
本实用新型的有益效果为：采用本实用新型后，在冷却水系出现断电复位后能自行切换到应急水路，继续对喷头组件提供动态冷却水，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。
附图说明
图1是传统常压CVD喷头冷却系统的结构示意图；
图2是本实用新型常压CVD设备的冷却水循环系统的结构示意图。
具体实施方式
本实施例的一种常压CVD设备的冷却水循环系统，如图2所示，包括热交换器1、循环水箱2、循环泵3、流量计4、喷头5，其中所述热交换器1分别与冷却水进水管6、冷却水出水管7相连；所述的热交换器1通过管路与循环水箱2相连；所述的循环水箱2通过管路与喷头5相连，且所述的循环水箱2与喷头5之间的管路上安装有循环泵3和流量计4；所述的喷头5通过管路与热交换器1相连；所述的循环泵3与流量计4之间的管路上安装有第一单向阀8；所述的喷头5与热交换器1之间的管路上安装有常闭阀9,所述的常闭阀9的两端安装有回路支管10；所述的第一单向阀8、流量计4之间的管路与冷却水进水管6之间安装有应急进水管路14；所述的常闭阀9、喷头5之间的管路与冷却水出水管7之间安装有应急出水管路11；所述的应急进水管路14、应急出水管路11上分别安装有常开阀12；所述的常开阀12之后的应急进水管路14上还安装有第二单向阀13 。
采用本实施例后，在冷却水系出现断电复位后能自行切换到应急水路，继续对喷头组件提供动态冷却水，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。