技术总结
本发明涉及一种光罩清洗装置，尤指一种供清洗护膜两侧下表面的光罩清洗装置，其由一湿式清洁模块及一干式清洁模块所组成，该湿、干式清洁模块具有可卷动的无尘布条，供利用无尘布条可直接擦拭光罩表面的方式，以能迅速、且有效的去除表面附着的微尘或雾化，能提高后续制程的效率与合格率，再者本发明可进行两阶段清洁，其能在清洁后擦干水分，而不致残留清洁水痕或污渍，有助于提升清洁品质。
技术研发人员：陈明生
受保护的技术使用者：特铨股份有限公司
文档号码：201510872212
技术研发日：2015.12.02
技术公布日：2017.06.09