一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法与流程

文档序号：11565999阅读：348来源：国知局

本发明涉及一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法，属于硅片清洗技术领域。

背景技术：

多晶小锭部分截断时将头部回收料部分不截断，经过碾磨后上切片机完成切片，此部分原本作为头部回收料部分经过切片机分线网切割成1.5mm-3.5mm厚度不等的硅片，经过脱胶后，我们称此部分硅片为“多晶厚片料”。因这种厚片料质量、尺寸达不到正常硅片要求，故作为多晶厚片料重新回炉使用，在回炉之前，如按照我们正常清洗片料的工艺，将厚片料破碎放置在花篮中清洗，重叠部分因酸无法腐蚀到位，会形成表面脏污，故尔如何将此料清洗到表面无斑，无浆料残留，无异物成为我们需要解决的难点。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提出一种提高清洗质量的用于清洗多晶厚片料工装。

本发明为解决上述技术问题提出的技术方案是：一种用于清洗多晶厚片料工装，包括长方形的底板、长方形的中央挡板和侧挡板，底板上均匀间隔开设有第一通孔，中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接，中央挡板的长度与底板的长度相等，底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行，侧挡板至少有一个，侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。

上述技术方案的改进是：底板长度为404mm，宽度为316mm，厚度为5mm。

上述技术方案的改进是：中央挡板的长度为404mm，高度为160mm，厚度为2mm。

上述技术方案的改进是：侧挡板的长度为157mm，高度为160mm，厚度为1mm。

上述技术方案的改进是：侧挡板的上下两端开设有梯形开口。

上述技术方案的改进是：第一通孔的直径为5mm，第一通孔之间的间隔为5mm。

上述技术方案的改进是：第二通孔和第三通孔的直径均为3mm，第二通孔之间的间隔为5mm，第三通孔之间的间隔为5mm。

上述技术方案的改进是：侧挡板固定槽之间间隔2mm，侧挡板固定槽宽度为1mm，深度为3mm。

本发明的用于清洗多晶厚片料工装的加工方法，包括以下步骤：

（1）取5mm厚的四氟板，截取长度为404mm，宽度为316mm的长方形板材作为底板，喷涂耐腐蚀涂层；

（2）在底板上打孔，孔径5mm，间隔为5mm，每排交错开孔；

（3）在地板上沿宽度方向均匀间隔开设有侧挡板固定槽，间隔为2mm，侧挡板固定槽宽的度为1mm，深度为3mm；

（4）取2mm厚的四氟板，截取长度为404mm，高度为160mm的长方形板材作为中央挡板，喷涂耐腐蚀涂层；

（5）在中央挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；

（6）取1mm厚的四氟板，截取长度为157mm，高度为160mm的长方形板材作为侧挡板，喷涂耐腐蚀涂层；

（7）在侧挡板上开孔，孔径3mm，间隔为5mm，每排交错开孔；

（8）将中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直焊接，具体步骤为：

a、处理焊口，将中央挡板和的底板的焊口处理成坡度焊口；

b、将中央挡板和的底板的焊口放在搭焊机的磨具焊接部位，采用玻纤带缠绕固定；

c、将上方的加热炉下放，盖住焊接部位，加热烧结焊接；

d、提起加热炉，拆下玻纤带，焊接完成；

（9）将至少一块侧挡板通过侧挡板固定槽与所述底板垂直卡接，制得用于清洗多晶厚片料工装。

本发明采用上述技术方案的有益效果是：

（1）本发明的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作，可以做到全自动清洗机清洗片料，降低工人劳动强度，提高生产效率和经济效益；

（2）本发明的用于清洗多晶厚片料工装采用插片式原理，根据厚片的不同厚度调节侧挡板的数量，从而调节侧挡板之间的间隙，避免因厚片重叠造成的酸斑、水斑、杂质等，可将厚片料半自动人工清洗更改为全自动插片清洗，减少工人直接跟酸接触的风险，提升厚片料的清洗质量；

（3）本发明的用于清洗多晶厚片料工装的侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，采用的是底部插板式设计，侧挡板可根据需要放置或取出，可以适应各种厚度的厚片料；

（4）本发明的用于清洗多晶厚片料工装加工时，底板、中央挡板和侧挡板都喷涂有耐腐蚀涂层，防止工装在清洗作业的过程中被腐蚀，延长了使用寿命；

（5）本发明的用于清洗多晶厚片料工装加工时，焊接时采用坡度焊口焊接，焊接口平整不明显，焊接强度大，延长了使用寿命。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1是本发明实施例用于清洗多晶厚片料工装的结构示意图；

图2是本发明实施例用于清洗多晶厚片料工装的中央挡板的结构示意图；

图3是本发明实施例用于清洗多晶厚片料工装的侧挡板的结构示意图；

其中：1-底板；2-中央挡板；3-侧挡板；4-第一通孔；5-第二通孔；6-第三通孔。

具体实施方式

实施例

本实施例的用于清洗多晶厚片料工装，如图1、2和3所示，包括长方形的底板1、长方形的中央挡板2和侧挡板3，底板1上均匀间隔开设有第一通孔4，中央挡板2上均匀间隔开设有第二通孔5，侧挡板3上均匀间隔开设有第三通孔6，中央挡板2沿底板1中间的长度方向与底板1垂直固接，中央挡板2的长度与底板1的长度相等，底板1上均匀间隔开设有侧挡板固定槽（图中未示出），侧挡板固定槽的长度方向与底板1的宽度方向平行，侧挡板3有六个，侧挡板3通过侧挡板固定槽与底板1垂直卡接，侧挡板3远离中央挡板2的一端与底板1的边缘平齐。底板1长度为404mm，宽度为316mm，厚度为5mm。中央挡板2的长度为404mm，高度为160mm，厚度为2mm。侧挡板3的长度为157mm，高度为160mm，厚度为1mm。侧挡板的上下两端开设有梯形开口，开口底部角度为120°。第一通孔4的直径为5mm，第一通孔4之间的间隔为5mm。第二通孔5和第三通孔6的直径均为3mm，第二通孔5之间的间隔为5mm，第三通孔6之间的间隔为5mm。侧挡板固定槽之间间隔2mm，侧挡板固定槽宽度为1mm，深度为3mm。

本实施例的用于清洗多晶厚片料工装在使用时，根据厚片的不同厚度调节侧挡板的数量，从而调节侧挡板之间的间隙，避免因厚片重叠造成的酸斑、水斑、杂质等，可将厚片料半自动人工清洗更改为全自动插片清洗，减少工人直接跟酸接触的风险，提升厚片料的清洗质量。