技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于清洗多晶厚片料工装，属于硅片清洗技术领域。该用于清洗多晶厚片料工装，包括底板、中央挡板和侧挡板，底板上均匀间隔开设有第一通孔，中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接，中央挡板的长度与底板的长度相等，底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行，侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。本发明的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作，可以做到全自动清洗机清洗片料，降低工人劳动强度，提高生产效率和经济效益。
技术研发人员：姚翠云;陈董良
受保护的技术使用者：镇江环太硅科技有限公司
技术研发日：2017.05.31
技术公布日：2017.08.11