一种用于蚀刻液生产的清洗系统的制作方法

文档序号:17115787发布日期:2019-03-15 20:37阅读:215来源:国知局
一种用于蚀刻液生产的清洗系统的制作方法

本实用新型涉及一种用于蚀刻液生产的清洗系统,属于蚀刻液生产设备技术领域。



背景技术:

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。蚀刻液是一种铜版、锌版等印刷凹凸版雕刻用原料,通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。由于蚀刻液属于化学原料,因此在对每一种类蚀刻液进行储存时应避免进入杂质以及其他化学成分。蚀刻液通常存储于储液罐内,在向储液罐内灌入蚀刻液时应保持内部的清洁,避免储液罐内壁上附着有其他化学成分的材料残渣,因此需要对储液罐进行清洗。而现有的清洗都是通过工人手持清洗喷管插入到储液罐内进行喷淋清洗,清洗后的水则存留在储液罐内无法及时排出,只能等基本清洗完毕后将倾倒清洗罐,然后还必须进行二次清洗,非常麻烦;此外,由于喷管的喷头只能向前方进行直喷,无法进行侧喷,因此便于对储液罐的罐底清洗,但对于内侧壁的清洗却不是特别方便。



技术实现要素:

因此,本实用新型的目的在于提供一种在向蚀刻液储液罐内部进行喷淋清洗过程中就能够使水及时流出的,并且能够同时进行直喷和侧喷以便于同时清洗储液罐的罐底和内侧壁的用于蚀刻液生产的清洗系统。

为了实现上述目的,本实用新型的一种用于蚀刻液生产的清洗系统,包括储液罐限位单元以及喷淋单元;所述储液罐限位单元包括横梁,在所述横梁上设置有竖直向下延伸的竖梁,在所述竖梁上设置有上横板、下横杆;在所述上横板上设置有悬挂装置,在所述下横杆上设置有支撑装置;所述悬挂装置包括吸盘碗,所述吸盘碗的碗口朝向下方设置,一竖直设置的螺杆固定在所述吸盘碗的上端,一压碗扣在所述吸盘碗上,并且所述压碗的边缘压住所述吸盘碗的碗口翻边,所述螺杆穿过所述压碗上的通孔,一螺母螺接于所述螺杆上,所述螺母包括竖直筒部以及位于竖直筒部上部的挡环部;在所述上横板上设置有用于所述竖直筒部穿过的穿孔;所述喷淋单元包括并列竖直设置的第一喷管、第二喷管,所述第一喷管、第二喷管连接于一阀门;所述阀门连接于入水管;所述第一喷管的上端部设置有第一喷头,所述第二喷管的侧壁上设置有若干第二喷头。

所述阀门包括一竖直设置的筒状阀体,所述阀体的上端封闭,下端设置有外螺纹用于螺接于所述入水管的管口内螺纹上,所述阀体的侧壁上相对设置有两个出水口,每个出水口位置连接有一个水平的侧管,两个所述侧管分别连通于所述第一喷管和第二喷管;两个密封钉分别包括筒状部以及连接于所述筒状部一端的帽部,所述筒状部从阀体内穿过所述出水口并进入所述侧管内,在所述阀体的内侧壁上设置有密封环,所述帽部能够压在所述密封环上,所述筒状部内设置有一压缩弹簧,在所述筒状部的外侧壁上开设有若干过水槽,所述帽部设置有球面型的端面;在所述阀体内部还设置有一圆柱体状阀芯,所述阀芯的下端固定有一连杆,所述连杆与所述入水管相固定;所述阀芯包括自上而下设置的上圆柱部、中间圆柱部、让位槽部以及下圆柱部,所述上圆柱部和下圆柱部的外径与阀体的内径相同,所述中间圆柱部的外径小于所述上圆柱部的外径,所述中间圆柱部能够顶住所述帽部从而使所述帽部压紧所述密封环,所述让位槽部上设置有用于容纳所述帽部的弧形让位槽;在所述阀芯上设置有过水通道,所述过水通道的一个通道口位于所述让位槽部上,另一个通道口位于所述阀芯下端面。

采用上述技术方案,本实用新型的用于蚀刻液生产的清洗系统,使用时将先将储液罐倒置,将吸盘碗压在储液罐的罐底,再将压碗扣在吸盘碗上并使螺杆穿过压碗上的通孔,将螺母的竖直筒部自上而下穿过横板上的穿孔,然后将螺母螺接于所述螺杆上使螺母压紧所述压碗,再将储液罐的颈口部插入到支撑圆环内。本实用新型的蚀刻液储液罐限位装置,将储液罐保持倒置状态予以悬挂支撑,因此在清洗时喷淋水能够在冲洗储液罐内壁后即时向下流出,不会在储液罐内积存,无需对储液罐二次清洗。

在将储液罐安装好后即可进行喷淋清洗作业。通过旋拧所述阀体可以调节阀体在入水管的管口上的位置,由于阀芯通过连杆与入水管相互固定,因此也就调节了所述阀芯在阀体内部的相对位置;当阀门关闭时,阀芯的中间圆柱部顶住所述密封钉的帽部,使帽部压紧密封环,出水口封闭;当需要开启阀门时,旋拧阀体使其向下移动,从而使帽部在压缩弹簧的作用下能够向远离所述密封环的方向移动从而顶在让位槽部上,出水口连通。

本实用新型结构简单,方便使用,能够有效提高对蚀刻液储液罐的清洗效率;通过第一喷管、第二喷管分开设置,从而使第一喷头能够进行直喷,第二喷头能够侧喷,使用时较为方便地向储液装置的罐底以及内侧壁进行喷淋清洗;通过旋拧的方式开启或者关闭阀门,非常方便,并且阀门不易损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为支撑圆环支撑储液罐时的仰视图。

图3为图1中的A部局部放大图。

图4为阀门的结构示意图。

图5为阀芯的结构示意图。

具体实施方式

以下通过附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

如图所示,本实施例提供一种用于蚀刻液生产的清洗系统,包括储液罐限位单元以及喷淋单元;所述储液罐限位单元用于对储液罐100进行倒置限位,包括横梁11,在所述横梁11上设置有竖直向下延伸的竖梁12,在所述竖梁12上设置有上横板13、下横杆14;在所述上横板13上设置有悬挂装置15,在所述下横杆14上设置有支撑装置;所述悬挂装置15包括吸盘碗151,所述吸盘碗151的碗口朝向下方设置,一竖直设置的螺杆 152固定在所述吸盘碗151的上端,一压碗153扣在所述吸盘碗151上,并且所述压碗153的边缘压住所述吸盘碗151的碗口翻边151a,所述螺杆 152穿过所述压碗153上的通孔,一螺母154螺接于所述螺杆152上,所述螺母154包括竖直筒部154a以及位于竖直筒部154a上部的挡环部154b;在所述上横板13上设置有用于所述竖直筒154a部穿过的穿孔13a。

所述支撑装置为一支撑圆环16。

所述支撑圆环16与所述穿孔13a在竖直的同一轴线上。

在所述横梁11上设置有若干所述竖梁12,因此能够同时悬挂多个蚀刻液储液罐。

所述喷淋单元包括并列竖直设置的第一喷管21、第二喷管22,所述第一喷管21、第二喷管22连接于一阀门23,所述阀门23连接于入水管 24;所述第一喷管21的上端部设置有第一喷头211,所述第二喷管22的侧壁上设置有若干第二喷头221;所述阀门23包括一竖直设置的筒状阀体 231,所述阀体231的上端封闭,下端设置有外螺纹用于螺接于所述入水管24的管口内螺纹上,所述阀体231的侧壁上相对设置有两个出水口 231a,每个出水口231a位置连接有一个水平的侧管232,两个所述侧管232 分别连通于所述第一喷管21和第二喷管22;两个密封钉233分别包括筒状部233a以及连接于所述筒状部233a一端的帽部233b,所述筒状部233a 从阀体231内穿过所述出水口231a并进入所述侧管232内,在所述阀体 231的内侧壁上设置有密封环237,所述帽部233b能够压在所述密封环237 上,所述筒状部233a内设置有一压缩弹簧238,在所述筒状部233a的外侧壁上开设有若干过水槽233c,所述帽部233b设置有球面型的端面;在所述阀体231内部还设置有一圆柱体状阀芯234,所述阀芯234的下端固定有一连杆235,所述连杆235与所述入水管24相固定;所述阀芯234包括自上而下设置的上圆柱部234a、中间圆柱部234b、让位槽部234c以及下圆柱部234d,所述上圆柱部234a和下圆柱部234d的外径与阀体231的内径相同,所述中间圆柱部234b的外径小于所述上圆柱部234a的外径,所述中间圆柱部234b能够顶住所述帽部233b从而使所述帽部233b压紧所述密封环237,所述让位槽部234c上设置有用于容纳所述帽部233b的弧形让位槽;在所述阀芯234上设置有过水通道236,所述过水通道236 的一个通道口236a位于所述让位槽部234c上,另一个通道口236a位于所述阀芯234下端面。

所述连杆235的下端固定有一固定板241,所述固定板241固定于所述入水管24的内侧壁,所述固定板241上开设有过水口241a。

显然,上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

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