一种硅片清洗用石英药液槽的制作方法

本实用新型涉及一种石英制成的石英药液槽，主要用于硅片清洗用。

背景技术：

硅片清洗用石英药液槽多采用的单槽体的结构，单槽体的结构简单，成本低，体积小，便于布置，但是缺点也非常明显，那就是药液浓度无法长期保持的情况下，就需要时常加药液或者更换，这无疑会对生产过程造成中断，影响生产效率，另外在生产过程中，药液是有可能从槽体中溢出或者渗漏的，目前针对这一情况还没有比较好的解决方案，药液渗出不仅有污染、危害人体健康，同时也带来药液的浪费，使得生产成本提高。

技术实现要素：

本实用新型目的是要提供一种硅片清洗用石英药液槽，能够提高硅片清洗的安全性及清洗效率，还能够提高药液的回收循环利用率。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种硅片清洗用石英药液槽，包括内槽和外槽，内槽嵌设在外槽的槽体内，且内槽的底部穿过所述外槽的槽体，所述外槽的侧壁高度高于内槽的侧壁高度，在所述内槽的侧壁顶部间隔均匀地开设有若干个U形定位槽，所述U形定位槽用于定位承托承载硅片的花篮，花篮放置于内槽内进行硅片清洗，其中，内槽与外槽的侧壁间限定出容纳溢出药液的回转腔，在所述内槽的至少一个侧壁的顶部侧面开有溢流孔，所述溢流孔上焊接固定有出液口朝下的导流管，在所述外槽的至少一个侧壁的底部侧面开有出液孔，所述出液孔上焊接固定有引流管，所述引流管与外部的药液回转槽相连。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

进一步地，在所述外槽的侧壁顶部侧面开有多个溢流孔。

进一步地，在所述内槽的一个侧壁上设置有定位块，所述定位块垂直于所述内槽的侧壁设置，所述定位块上开有多个U形卡槽。

更进一步地，在内槽侧壁上设置有位于同一竖直方向上的上下两排定位块，一排定位块焊接固定于内槽侧壁的顶部，另一排定位块焊接固定于内槽侧壁的底部

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的硅片清洗用石英药液槽，通过双槽体的结构设计，能够提供区别于传统单槽体结构的工作稳定性和可靠性，同时能够通过外槽收集内槽中溢出的药液以及内槽挥发出的药液，如此，提高产线清洗效率的同时，能够保证工作安全性和稳定性，并回收药液节约生产成本。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的硅片清洗用石英药液槽的结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、内槽，11，U形定位槽，12、出液孔；

2、外槽，21、溢流孔；

3、导流管；

4、定位块，41、U形卡槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例描述了一种硅片清洗用石英药液槽，如图1所示，包括内槽1和外槽2，内槽1嵌设在外槽2的槽体内，且内槽1的底部穿过所述外槽2的槽体，所述外槽2的侧壁高度高于内槽1的侧壁高度，在所述内槽1的侧壁顶部间隔均匀地开设有若干个U形定位槽11，所述U形定位槽11用于定位承托承载硅片的花篮，花篮放置于内槽1内进行硅片清洗，其中，内槽1与外槽2的侧壁间限定出容纳溢出药液的回转腔，在所述内槽1的一个侧壁的顶部侧面开有溢流孔21，所述溢流孔21上焊接固定有出液口朝下的导流管3，在所述外槽2的一个侧壁的底部侧面开有出液孔12，所述出液孔12上焊接固定有引流管，所述引流管与外部的药液回转槽相连。

在所述外槽2的侧壁顶部侧面也开有多个溢流孔21，在这些溢流孔21再接外部管路进行药液回流及挥发气液的回收再利用。

进一步地，在所述内槽1的一个侧壁上设置有定位块4，在内槽1侧壁上设置有位于同一竖直方向上的上下两排定位块4，所述定位块4垂直于所述内槽1的侧壁设置，一排定位块4焊接固定于内槽1侧壁的顶部，另一排定位块4焊接固定于内槽1侧壁的底部，每一所述定位块4上开有多个U形卡槽41，这样在布置管路时就可通过U性卡槽卡住管路，提高整体结构的稳定性。

综上可知，本实用新型的硅片清洗用石英药液槽，通过双槽体的结构设计，能够提供区别于传统单槽体结构的工作稳定性和可靠性，同时能够通过外槽2收集内槽1中溢出的药液以及内槽1挥发出的药液，如此，提高产线清洗效率的同时，能够保证工作安全性和稳定性，并回收药液节约生产成本。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。