述第四螺栓固定 在所述第四条形孔的不同位置以调节所述第四板的高度；
[0039] 所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
[0040] 调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以使所述第一板、第二板、 第三板以及第四板可以竖直移动；
[0041] 移动所述第一板、第二板、第三板以及第四板至预定位置；
[0042] 调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以固定所述第一板、第二 板、第三板以及第四板。
[0043] 可选的，所述气流控制装置还包括第一电机、第一齿条、第二电机、第二齿条、第三 电机、第三齿条、第四电机以及第四齿条，所述第一电机固定设置在所述清洗腔的外部，所 述第一齿条与所述第一板固定连接，所述第一电机的旋转轴上设置有与所述第一齿条相互 匹配的齿轮以驱动所述第一齿条竖直移动；
[0044] 所述第二电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第二齿条与所述第二板固定连 接，所述第二电机的旋转轴上设置有与所述第二齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第二齿条 竖直移动；
[0045] 所述第三电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第三齿条与所述第三板固定连 接，所述第三电机的旋转轴上设置有与所述第三齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第三齿条 竖直移动；
[0046] 所述第四电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第四齿条与所述第四板固定连 接，所述第四电机的旋转轴上设置有与所述第四齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第四齿条 竖直移动；
[0047] 所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
[0048] 启动所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机；
[0049] 控制所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机的转动方向和转动量以使 所述第一板、第二板、第三板以及第四板移动至预定位置；
[0050] 关闭所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机。
[0051] 可选的，所述气流控制装置还包括排气结构，所述排气结构通过排气孔与所述气 流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上；
[0052] 所述调节方法还包括：
[0053] 当调节所述第一间隙和所述第二间隙至最小值，判断结果为所述基板在清洗和传 送过程中出现抖动时，开启所述排气结构；
[0054] 控制所述排气结构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强；
[0055] 判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动；
[0056] 若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复所述控制所述排气结 构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强的步骤。
[0057] 本发明具有下述有益效果：
[0058] 本发明提供的气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备中，第一板和第三板相 对设置在清洗腔的顶部，第二板和第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所 述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第 二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将 强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形 变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
【附图说明】
[0059] 图1为本发明实施例一提供的一种气流控制装置的结构示意图；
[0060] 图2为图1所示气流控制装置的一种第一板或者第三板的正视图；
[0061] 图3为图2所示第一板或者第三板的侧视图；
[0062] 图4为图1所示气流控制装置的另一种第一板或者第三板的正视图；
[0063] 图5为图4所示第一板或者第三板的侧视图；
[0064] 图6为图5所示Q部分结构放大图；
[0065] 图7为本发明实施例二提供的一种基板清洗设备的结构示意图；
[0066] 图8为本发明实施例三提供的一种气流控制装置的调节方法的流程图；
[0067] 图9为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的一种结构图；
[0068] 图10为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的另一种结构图。
【具体实施方式】
[0069] 为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提 供的气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备进行详细描述。
[0070] 实施例一
[0071] 图1为本发明实施例一提供的一种气流控制装置的结构示意图。如图1所示，所述 气流控制装置包括四块气流控制板，即第一板101、第二板102、第三板103以及第四板104。 所述第一板101和所述第三板103相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板102和所述第四 板104相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板101、第二板102、第三板103以及第四板 104形成容纳清洗液出口 105的气流控制空间。所述气流控制空间可以有效地将强气流控 制在容纳清洗液出口 105正下方的区域内，即四块气流控制板所围成的空间。所述气流控 制空间内的箭头方向为气流流动方向。所述第一板101与所述第二板102之间形成第一间 隙，所述第三板103与所述第四板104之间形成第二间隙，基板202通过所述第一间隙和第 二间隙传输，所述清洗液出口 105向所述基板202喷射清洗液。此时，经过腔体底部反射回 来的强气流，只能通过第一间隙和第二间隙沿着两端平行扩散，这样有效地改变了强气流 方向，解决了强气流从下往上冲击基板的问题，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变， 提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
[0072] 参见图1，基板202沿箭头方向进入清洗液出口 105正下方进行超高压清洗时，传 送轮106用于向所述基板202提供传送动力，第一压轮（Double Roller)用于夹持所述基 板202,第二压轮（Double Roller)用于夹持所述基板202。所述第一压轮包括相对设置的 第一上压轮107和第一下压轮108,所述第二压轮包括相对设置的第二上压轮109和第二 下压轮201。所述传送轮106设置在所述气流控制空间内，所述第一压轮设置在所述气流 控制空间的一侧，所述第二压轮设置在所述气流控制空间的另一侧。所述基板202的下方 设置有传感器203,所述传感器203用于检测所述基板202的抖动幅度，便于操作员能够时 刻掌握基板的抖动情况。当基板202在传送轮106上出现严重抖动、形变，甚至漂浮于传送 轮106之上时，所述传感器203会出现闪烁现象。所述第一压轮和第二压轮可以降低基板 的抖动幅度，有效地避免了基板传送过程受到强气流干扰，以及对基板自身的伤害，碎片风 险大大降低。
[0073] 需要强调的是，所述第一间隙和第二间隙的大小直接决定了从气流控制空间扩散 出来的气流大小以及流动方向。对于不同的超高压强，所述第一间隙和第二间隙需要做相 应的调整，才能保证从间隙（Cover Gap)中扩散出去的气流不影响到基板的传送。将所述 第一间隙的间隙值记为Gap A，所述第二间隙的间隙值记为Gap B。在实际调整和应用中， Gap A和Gap B的数值不一定相同，应根据实际情况而定。
[0074] 表 1
[0075]
【主权项】
1. 一种气流控制装置，其特征在于，包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第 一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清 洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间 形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空 间； 所述第一间隙和所述第二间隙用于传送基板； 所述清洗液出口用于向所述基板喷射清洗液。
2. 根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，还包括排气结构，所述排气结构 通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上； 所述排气结构用于降低所述气流控制空间内的压强。
3. 根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，所述清洗腔上设置有第一支架， 所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一板上设置有第一条形孔，所述第一条形孔内设 置有第一螺栓，所述第一螺栓与所述第一通孔固定连接以将所述第一板固定在所述第一支 架上，所述第一条形孔用于将所述第一螺栓固定在所述第一条形孔的不同位置以调节所述 第一板的高度； 所述清洗腔上设置有第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔，所述第二板上设置 有第二条形孔，所述第二条形孔内设置有第二螺栓，所述第二螺栓与所述第二通孔固定连 接以将所述第二板固定在所述第二支架上，所述第二条形孔用于将所述第二螺