电子部件测试用分选机的制作方法

本发明涉及用于测试被生产的电子部件的电特性的分选机(handler)。尤其，涉及在分选机进行的电子部件的移动技术。

背景技术：

半导体元件或模块存储器等多个电子部件在生产后，经过电特性测试后发货。此时，需要使用将待测试电子部件与测试器电连接的分选机。

一般而言，分选机包括测试托盘、第一堆垛机、加载装置、连接装置、卸载装置及第二堆垛机。

测试托盘沿着经过加载位置、测试位置以及卸载位置后再连接至加载位置的循环路径而循环。

第一堆垛机用于收纳装载多个有待测试的电子部件的多个供给用托盘。通过依次将收纳于这种第一堆垛机的供给用托盘供给至供给位置，使借助加载装置的加载工作顺利进行。

加载装置用于将多个待测试的电子部件从供给用托盘加载至位于加载位置的测试托盘。

连接装置在当借助加载装置使对多个电子部件完成加载的测试托盘到达测试位置时，使装载于测试托盘的多个电子部件与测试器电连接。

卸载装置用于在测试位置完成对被装载的多个电子部件的测试后，从到达卸载位置的测试托盘卸载多个电子部件，根据测试结果进行分类并向回收用托盘移动。

第二堆垛机用于收纳对完成测试的多个电子部件进行回收的的多个回收用托盘。这种多个回收用托盘通过依次供给至回收位置，使借助卸载装置的卸载工作顺利进行。

但是，如韩国公开专利第10—2009—0063542号，完成一次测试后分类为再测试的多个电子部件，重新供给至分选机需要经过二次再测试(retest)过程。此时，装载于回收用托盘的分类为再测试的多个电子部件由作业者手动供给至分选机。

因此，一次测试与二次再测试之间的分选机的运转被终止，这使分选机的运行率下降。

另一方面，如韩国公开专利第10—2009—0008062号等，为帮助借助加载装置的适当的加载工作，在分选机中设置缓冲台。

一般而言，缓冲台借助位于测试器的测试插座的关闭等，可临时装载在加载时有必要临时去除的电子部件。由此，加载工作变得顺利，加载速度得到提高。其中，关闭为熄灭(out)测试插座，对于特定测试插座是否为关闭的对象，可根据设计者的意图改变。例如，在特定测试插座出现设定次数以上的非正常判断的情况下，可设定为关闭该测试插座。而且，在具有关闭的测试插座的情况下，面对测试托盘的相应测试插座的位置上不装载电子部件，而是将待装载于该位置的电子部件集合起来，在集合到一定量时搬至测试托盘。本发明涉及这种缓冲台的灵活应用。

技术实现要素：

要解决的技术问题

本发明的第一目的在于，提供通过灵活应用缓冲台来使加载工作、卸载工作及再测试作业顺利进行。

本发明的第二目的在于，提供通过个别识别电子部件来正确把握灵活应用缓冲台的电子部件的流程的技术。

解决问题的技术方案

根据本发明的第一实施方式的电子部件测试用分选机包括：测试托盘，沿着经过加载位置、测试位置以及卸载位置后再连接至加载位置的循环路径而循环；加载装置，用于将待测试的多个电子部件从供给用托盘加载至位于上述加载位置的上述测试托盘；连接装置，当借助上述加载装置使对多个电子部件完成加载的测试托盘到达上述测试位置时，使装载于上述测试托盘的多个电子部件与测试器电连接；卸载装置，在上述测试位置完成对被装载的多个电子部件的测试后，从到达上述卸载位置的上述测试托盘卸载多个电子部件，根据测试结果进行分类并向回收用托盘移动；以及缓冲装置，具有能够在上述加载装置的工作区域与上述卸载装置的工作区域之间移动的缓冲台，根据需要，上述缓冲装置使上述缓冲台在上述加载装置的工作区域与上述卸载装置的作区域之间移动，从而使上述缓冲台灵活应用于借助上述加载装置进行的加载工作和借助上述卸载装置进行的卸载工作。

上述卸载装置将按测试结果再测试来分类为的特定电子部件装载于位于上述卸载装置的工作区域的上述缓冲台，上述加载装置使从上述卸载装置的工作区域向上述加载装置的工作区域移动的上述缓冲台上的特定电子部件向位于上述加载位置的测试托盘移动。

上述电子部件测试用分选机还包括：第一堆垛机，用于收纳装载有多个待测试电子部件的多个供给用托盘；以及第二堆垛机，用于收纳对完成测试的多个电子部件进行回收的多个回收用托盘，上述第二堆垛机，包括：升降框架，能够以相互留有规定间隔的方式沿着上下方向装载多个回收用托盘；升降器，用于使上述升降框架升降；以及多个进退器，使装载于上述升降框架的多个回收用托盘选择性地进退，从而使多个回收用托盘位于回收位置或退回至收纳位置。

根据本发明的第二实施方式的电子部件测试用分选机包括：测试托盘，沿着经过加载位置、测试位置以及卸载位置后再连接至循环路径循环；加载装置，用于将待测试的多个电子部件从供给用托盘加载至位于上述加载位置的上述测试托盘；连接装置，当借助上述加载装置使对多个电子部件完成加载的测试托盘到达上述测试位置时，使装载于上述测试托盘的多个电子部件与测试器电连接；卸载装置，在上述测试位置完成对被装载的多个电子部件的测试后，从到达上述卸载位置的上述测试托盘卸载多个电子部件，根据测试结果进行分类并向回收用托盘移动；以及识别装置，用于识别借助上述加载装置加载至位于上述加载位置的上述测试托盘的多个电子部件，上述加载装置将使所把持的多个电子部件经过上述识别装置向位于上述加载位置的上述测试托盘移动，使得能够借助上述识别装置识别所把持的多个电子部件，上述识别装置，包括：摄像头，用于拍摄印刷于电子部件的条形码；以及读取器，用于读取借助上述摄像头拍摄的图片上的条形码。

上述识别装置还包括反射镜，与上述摄像头相对应，将印刷于电子部件的条形码反射至上述摄像头。

上述加载装置在把持电子部件的状态下，识别条形码。

上述识别装置还包括异物去除机构，用于去除电子部件的异物。

上述加载装置能够把持多个电子部件，上述识别装置用于识别与处于被上述加载装置把持的状态下的多个电子部件的条形码。

上述读取器还通过借助上述摄像头拍摄的图片一并读取上述电子部件的装载方向。

借助上述识别装置一同进行条形码的识别与电子部件装载方向的读取。

发明的有益效果

根据如上所述的本发明，具有以下效果。

第一、由于将缓冲台均灵活应用于加载工作、卸载工作及再测试作业，使得以最少追加的结构来最优化电子部件的移动流程，从而具有最终可大大提高分选机的运行率的效果。

第二、通过使用识别装置来个别识别电子部件，从而可支援利用缓冲台的电子部件的移动流程。

第三、识别装置通过追加识别电子部件的识别功能，来获得电子部件的装载方向的读取功能及电子部件的异物去除功能，从而可实现识别装置的有效利用及设计。

附图说明

图1为根据本发明的一实施例的电子部件测试用分选机的概念性俯视图。

图2及图3为用于说明适用于图1的分选机的识别装置的附图。

图4为与待测试电子部件相关的例视。

图5为与适用于图1的分选机的缓冲装置相关的简要俯视图。

图6为用于说明适用于图1的分选机的加载用缓冲板/卸载用缓冲板与缓冲台之间的高度差的附图。

图7及图8为用于说明在适用于分选机的第二堆垛机使回收用托盘位于回收位置的技术的附图。

图9至图11为示出用于拍摄电子部件的条形码的例。

附图标记的说明

100：电子部件测试用分选机

tt：测试托盘

120：加载装置

130：加载用缓冲板

140：识别装置

150：连接装置

160：卸载装置

170：卸载用缓冲板

190：缓冲装置

191：缓冲台

192：移动器

具体实施方式

如上所述，根据本发明的多个优选实施例通过参照附图来说明，但为说明的简洁性，尽量省略或压缩重复的说明。

图1为根据本发明的一实施例的电子部件测试用分选机100(以下简称为“分选机”)的概念性俯视图。

图1的分选机包括测试托盘tt、第一堆垛机110、加载装置120、加载用缓冲板130、识别装置140、连接装置150、卸载装置160、卸载用缓冲板170、第二堆垛机181、182、183及缓冲装置190。

测试托盘tt，沿着经过加载位置lp、测试位置tp及卸载位置up后再连接至lp加载位置的循环路径c而循环。这种测试托盘tt用于连接加载位置lp、测试位置tp及卸载位置up的电子部件的移动。即，多个电子部件在加载位置lp以装载于测试托盘tt的状态，经过测试位置tp后，移动至卸载位置up。

在第一堆垛机110中，收纳有装载多个待测试电子部件的多个供给用托盘st。收纳于这种第一堆垛机110的多个供给用托盘st通过依次供给至供给位置sp，可使借助加载装置120的加载工作顺利进行。这种第一堆垛机110可由作业者直接将供给用托盘st装载的结构构成，也可由多个供给用托盘st收容装载的台车的结构构成。

作为参照，在供给位置sp的上侧或供给用托盘st在进入供给位置sp之前等候的等候位置wp的上侧可设置有摄像头cm。在此情况下，由于可通过摄像头cm预先确认装载于供给用托盘st的多个电子部件d的装载与否(装载位置或数量)，可适当控制加载装置120。当然，由于供给位置sp属于加载装置120的工作区域，优选地，如本实施例，在等候位置wp的上方设置摄像头cm。

加载装置120使多个待测试电子部件从位于供给位置sp的供给用托盘st加载至位于加载位置lp测试托盘tt。

根据需求加载用缓冲板130用于临时装载多个待测试电子部件。这种加载用缓冲板130为固定设置。因此，上述加载装置120根据控制情况执行以下作业，即，将把持的多个电子部件装载于加载用缓冲板130，或将装载于加载用缓冲板130的多个电子部件移动至位于加载位置lp的测试托盘tt。

识别装置140用于识别在借助加载装置120处于把持状态下，从供给位置st移动至加载位置lp的过程的多个电子部件。这种识别装置140只要是能够个别识别多个电子部件即可。因此，可由条形码阅读器或摄像头组成，在这种情况下，需要在电子部件印刷有可由条形码或摄像头识别的识别码。而且，在平面俯视时，加载装置120以将把持的多个电子部件经过设置有识别装置140的识别位置rp后移动至位于加载位置lp的测试托盘tt的方式控制，使得借助识别装置140识别电子部件。并且，为此有必要时，可将加载装置120把持的多个电子部件暂时停止在识别位置rp，进而，在识别位置rp或多或少进退多个电子部件，从而借助识别装置140正确识别的电子部件。

在图2中示出与识别装置140有关的一例。识别装置140由四个条形码阅读器br构成，四个条形码阅读器br以规定间隔隔开。这种条形码阅读器br可为摄像头，并具有通过反射镜m来拍摄条形码b的结构。当然，加载装置120可以相互隔开的状态同时把持四个电子部件d，电子部件d的侧面需要印刷条形码。在图2的例中，加载装置120可将把持的四个电子部件d暂时下降，如图3所示，将多个电子部件d放置于多个反射镜m后，为正确识别条形码，将多个电子部件d或多或少的向前后方向进退，使多个条形码阅读器br识别多个电子部件d的条形码。当然，当完成借助多个条形码阅读器br的识别条形码时，读取器da读取借助条形码阅读器br拍摄的图片上的条形码。在如本实施例的条形码阅读器br为摄像头的情况下，读取器da可通过条形码是否反映到图片来确认电子部件d的装载方向，也可通过灵活应用整体图片来读取条形码以外的区域的形态(图4的方向槽形态等)，从而确认电子部件d的装载方向。

并且，在识别装置140形成有用于向电子部件d吹入风的流路l。因此，由于可通过流路l向电子部件d吹入风，可拂出电子部件d的异物。即，流路l具有作为用于去除电子部件d的异物的异物去除机构的功能。当然，也可以利用吸引或拂具(刷子)拂出异物的结构构成。而且，在吸引的情况下，需要另外设置捕集异物的空间。

在本实施例中，识别装置140可同时识别四个电子部件d，加载装置120也可由同时移动四个电子部件d的结构构成，但可根据实施尽管增加或减少识别数量或移动数量。

作为参照，在本实施例中，利用由摄像头构成的条形码阅读器br与反射镜m来读取电子部件的条形码和确认电子部件的装载方向，但可根据具体实施可通过将两个功能分为相互不同的结构来执行。例如，在如图4所示的电子部件d中形成有多个方向槽ds。这种多个方向槽ds可使用于读取电子部件d的装载方向。即，通过利用发光元件和受光元件，借助发光元件朝向方向槽ds照射的光是否借助受光元件识别，来读取电子部件d的装载方向。而且，电子部件d的条形码可由摄像头或阅读器识别。

当借助加载装置120完成加载多个电子部件的测试托盘tt到达测试位置tp时，连接装置150将装载于测试托盘tt的多个电子部件与测试器电连接。

卸载装置160将在装载测试位置tp装载的多个电子部件完成测试后，从到达卸载位置up的测试托盘tt卸载多个电子部件，按照测试结果对其分类，并移动至位于回收位置dp1至dp3的回收用托盘dt1至dt3。

根据需求卸载用缓冲板170用于临时装载完成测试的多个电子部件。这种卸载用缓冲板170为固定设置。因此，上述卸载装置160根据控制情况执行以下作业，即，将在卸载位置up或回收位置dp1至dp3把持的多个电子部件装载于卸载用缓冲板170，或将装载于卸载用缓冲板170的多个电子部件移动至位于回收位置dp1至dp3的回收用托盘dt1至dt3。

第二堆垛机181、182、183收纳用于回收完成测试的多个电子部件的多个回收用托盘dt1至dt3。这种多个回收用托盘dt1至dt3通过依次供给至回收位置dp1至dp3，使得借助卸载装置160的卸载工作顺利进行。其中，如图7所示，在附图标记为181的第二堆垛机中收纳装载有判断为不良的电子部件的回收用托盘dtb，或收纳装载有判断为再测试的电子部件的回收用托盘dta。而且，在附图标记为182及183的第二堆垛机中，收纳装载有判断为良好的电子部件的回收用托盘dt2及dt3。

缓冲装置190用于帮助借助加载装置120及卸载装置160的电子部件的适当移动，如图5所示，包括缓冲台191、移动器192及导轨193。

缓冲台191可在加载装置120的工作区域a与卸载装置160的工作区域b之间移动。根据需求可在这种缓冲台191临时装载待测试电子部件，或临时装载完成测试的多个电子部件中被分类为在测试的电子部件。即，缓冲台191由于可选择性位于加载装置120的工作区域a与卸载装置160的工作区域b，可防止加载装置120和卸载装置160的干涉，并根据需求灵活应用于借助加载装置120的加载工作和借助卸载装置160的卸载工作。当然，在灵活应用于加载过程的情况下，缓冲台191移动至加载装置120一侧，在灵活应用于卸载过程的情况下，缓冲台191移动至卸载装置160一侧。另外，可充分考虑设计加载装置120与卸载装置160相互共享的共享空间，代替将缓冲台191固定在相应共享空间或停止在相应共享空间，通过精密控制加载装置120和卸载装置160的工作，使得在共享空间不发生相互冲突干涉。

移动器192使缓冲台191选择性位于加载装置120的工作区域a与卸载装置160的工作区域b。即，移动器192为避开加载装置120与卸载装置160相互间的工作干涉，可使加载装置120的工作区域a与卸载装置160的工作区域b分离。当然，虽然基本设计方针为根据工作错误来防止加载装置120与卸载装置160之间的干涉，但如上所述，根据情况使加载装置120与卸载装置160相互共享工作区域，可设置固定于相应共享区域的缓冲台191，在此情况下，通过控制可防止加载装置120与卸载装置160的冲突干涉。

另一方面，缓冲台191如在侧面观察的图6所示，位于相比加载用缓冲板130和卸载用缓冲板170上方的位置。因此，当俯视时，缓冲台191可与加载用缓冲板130或卸载用缓冲板170重叠。因为，可通过最小化加载装置120和卸载装置160的工作距离，来具有驱动的效率性和稳定性。即，由于缓冲台191可位于相比加载用缓冲板130和卸载用缓冲板170上方的位置，因此可容易设计出防止加载装置120和卸载装置160的工作区域的重叠，也可最小化借助加载装置120和卸载装置160的电子部件的移动距离。

导轨193用于引导缓冲台191的左右移动。

继续参照图1，可知第一堆垛机110位于左侧前方，第二堆垛机181、182、183配置于第一堆垛机110的右侧且前方。而且，在第一堆垛机110及第二堆垛机181、182、183与加载位置lp及卸载位置up之间配置有缓冲区域bz。这种缓冲区域bz包括加载用缓冲板130、卸载用缓冲板170及缓冲台191。而且，在加载用缓冲板130的左侧设置有识别装置140。

以下，对于如上所述的分选机100进行说明。

基本工作

将位于第一堆垛机110的多个供给用托盘st依次供给至供给位置sp。

加载装置120在同时把持四个电子部件后，将把持的多个电子部件经过识别位置rp移动至位于加载位置lp的测试托盘tt。在此过程中，当电子部件位于识别位置rp时，通过流路l向电子部件的两侧面吹入风来拂出异物后，借助条形码阅读器br对于加载装置120所把持的多个电子部件进行个别识别。当然，在识别的同时也判断多个电子部件的装载方向。其中，拂出异物的作业、识别作业及与装载方向有关的判断作业顺序进行的作业可根据需求随意变换，也可同时进行识别作业和判断作业。另一方面，在此过程中，加载装置120在把持四个电子部件的状态下，识别条形码和判断电子部件的装载方向。若以将多个电子部件放在另外的托盘或梭子后识别条形码的结构构成，则虽可读取条形码，但由于可确认装载方向的部分插入于托盘或梭子，而难以确认装载方向。并且，即使在装载于托盘或梭子的状态下一定程度上能够确认装载方向，其前提必须为电子部件正确地插入于托盘或梭子上。即，电子部件相对于托盘或梭子倾斜的方式安装或，偏向一侧的方式安装，或在未完全插入的情况下，条形码识别位置或装载方向判断位置每次都有改变，因此，降低其正确性。而且，可发生需要确认非正常装载状态，处理相应错误等的问题。因此，在本实施例中，加载装置120在把持电子部件的状态下，进行识别条形码和判断电子部件的装载方向的作业。

进而，在本实施例中，并非逐个识别加载装置120所把持的电子部件的条形码，而是同时识别四个(至少两个以上)电子部件。即，在可把持两个以上剩余电子部件的状态下，通过识别装置140同时进行识别条形码和判断电子部件的装载方向。

另一方面，分析被识别的条形码的数据用于确认按电子部件的标识符和与相应电子部件有关的信息。因此，可根据已输入的信息，确认相应电子部件在何种生产条件下生产。

作为参照，按电子部件的标识符和与电子部件有关的信息传送至测试器一侧，在测试器一侧通过将特定电子部件的测试结果与特定电子部件的标识符相连接来储存。而且，测试器将与特定半导体元件的测试结果有关的信息传送至分选机100。由此，分选机通过将测试器传来的与测试结果有关的信息与特定电子部件的标识符相连接来记录及储存。由此，分选机可个别管理多个电子部件。当然，记录及储存的信息时候可灵活应用于电子部件的再测试，在进行再测试的情况下，可将再测试结果也作为履历来管理。

作为参照，通过个别识别多个电子部件，可对于相应电子部件，通过在预先提供的履历中捆绑相应电子部件的测试结果来记录。因此，可实现每个电子部件的个别履历管理。

当完成在位于加载位置lp的测试托盘tt上装载多个电子部件时，利用位于加载位置lp一侧的激光和摄像头确认多个电子部件的装载状态。而且，借助未图示的移送装置测试托盘tt从加载位置lp移送至测试位置tp。

在测试位置tp中，装载于测试托盘tt的多个电子部件借助连接装置150与测试器电连接，之后进行借助测试器进行的多个电子部件的电特性测试。

当被装载的多个电子部件测试结束后，测试托盘tt借助未图示的移送装置从测试位置tp移送至卸载位置up。

卸载装置160将装载于位于卸载位置up的测试托盘tt的多个电子部件进行卸载，并根据测试结果分类移动至位于回收位置dp1至dp3的回收用托盘dt。当然，位于第二堆垛机181、182、183的回收用托盘dt也依次供给至回收位置dp1至dp3。

当结束上述第一基本时，进行作为灵活应用后述的缓冲台191的再测试工作的第二工作。

接下来将说明在加载过程、卸载过程及再测试过程中贡献的加载用缓冲板130、卸载用缓冲板170及缓冲台191的功能。

加载过程

加载用缓冲板130和缓冲台191可在加载过程中使用。

例如，在供给用托盘st装载有50个电子部件，在加载装置120可同时把持四个电子部件的情况下，当位于供给用托盘st的48个电子部件移动至测试托盘tt时，仅有两个电子部件留在供给用托盘st。在此情况下，加载装置120通过把持剩余两个电子部件来经过识别过程后移动至测试托盘tt，但在本实施例中，为增大作业效率，将剩余两个电子部件装载于加载用缓冲板130后，首先执行将在供给位置sp新供给的供给用托盘st的多个电子部件移动至位于加载位置lp的测试托盘tt的作业。以此，进行将在规定周期剩下的两个电子部件装载于加载用缓冲板130的作业，在装载于加载用缓冲板130的多个电子部件为四个以上时，将四个作为一组来执行一同识别条形码、移动至测试托盘tt的作业。而且，在发生位于测试器的测试插座被关闭(socket-off)等状况的情况下，也可作为用于装载加载被保留的电子部件的用途来灵活应用加载用缓冲板130。当然，加载装置120可此后必要的事后，通过把持四个装载于加载用缓冲板130的多个电子部件来移动至位于加载位置lp的测试托盘tt。在此过程中，多个电子部件的顺序会有所改变，但由于借助识别装置140个别管理多个电子部件，因此不需要考虑多个电子部件的顺序的改变。

另一方面，在加载工作中，加载用缓冲板130保留可收容的数量以上的电子部件的情况下，灵活应用缓冲台191。因此，当加载用缓冲板130中填充满电子部件时，通过缓冲台191移动至加载装置120的工作区域a来帮助借助加载装置120的加载工作。

作为参考，当位于加载位置lp的测试托盘tt完成加载电子部件时，可进行利用激光和摄像头来确认电子部件是否适当装载于测试托盘tt的过程。

卸载过程

卸载用缓冲板170和缓冲台191可在卸载过程中使用。

例如，在卸载装置160把持从位于卸载位置up的测试托盘tt判断为良好的多个电子部件的情况下，将多个电子部件移动至位于第二回收位置dp2或第三回收位置dp3的回收用托盘dt。但是，例如，在把持的多个电子部件中一个为不良判断、一个为再测试判断、两个为良好判断的情况下，将判断为不良的一个电子部件装载于卸载用缓冲板170，判断为再测试的一个电子部件装载于缓冲台191后，将判断为良好的两个电子部件移动至位于第二回收位置dp2或第三回收位置dp3的回收用托盘dt。

以下为说明在卸载过程中进行的再测试数量的处理方法。

判断为再测试的数量少的情况

当因判断为再测试的数量少而在缓冲台191可装载全部的再测试的数量时，在结束所有与多个电子部件有关的一次测试后，将位于载装置160的工作区域a的现有缓冲台191移动至加载装置120的工作区域b。而且，通过加载装置120的工作，将再测试数量从缓冲台191移动至位于加载位置lp的测试托盘tt。当然，位于加载位置lp的再移动至测试托盘tt的多个电子部件与测试托盘tt一同移动，并经过再测试过程。因此，缓冲区域bz可命名为将判断为再测试的电子部件借助缓冲台191再移动至加载位置lp的返回区域(returnzone)。

判断为再测试的数量多的情况

当在一次测试过程中，因判断为再测试的数量相比缓冲台191的装载容量多而使缓冲台191被填充满，或考虑到缓冲台191与加载装置120间的相互依赖关系，填充缓冲台191的装载量的固定百分比(％)时，卸载装置160将判断为再测试的多个电子部件从缓冲台191移动至现在供给到第一回收位置dp1的回收用托盘dt。而且，此后装载于回收用托盘dt的再测试数量借助卸载装置160移至卸载用缓冲板170后，再移动至缓冲台191，借助加载装置120依次经过加载用缓冲板130及缓冲台191后再移动至位于加载位置lp的测试托盘tt。当然，在这种再测试数量的移动流程中，根据再测试数量的程度可选择性省略加载用缓冲板130或卸载用缓冲板170的使用。

另一方面，为再测试数量的适当移动流程，优选地，在第一回收位置dp1选择性设置用于装载再测试数量的回收用托盘dt和用于装载不良数量的回收用托盘dt。例如，如图7及图8的侧面图所示，第二堆垛机181包括升降器181a、升降框架181b、多个进退器181c。

升降器181a用于升降升降框架181b。

在升降框架181b可以相互隔开固定间距的方式向上下方向装载多个回收用托盘dta、dtb。

多个进退器181c使多个回收用托盘dt向前后方向选择性进退，从而使多个回收用托盘dta、dtb位于回收位置dp1或退回至收纳位置。

因此，由于第二堆垛机181的多个回收用托盘dta、dtb升降并选择性移动至第一回收位置dp1，用于装载再测试数量的回收用托盘dta和用于装载不良数量的回收用托盘dtb可选择性位于回收位置dp1。

如上所述，虽然在加载过程、卸载过程及再测试过程中观察了加载用缓冲板130、卸载用缓冲板170及缓冲台191的作用，但这不过为单纯的部分例示。即，根据如何控制加载装置120、卸载装置160、缓冲装置190来使电子部件的移动流程变得多样，加载用缓冲板130、卸载用缓冲板170及缓冲台191对于电子部件的移动流程的贡献也会有所改变。

识别条形码结构的多种例

在上述例中，将在电子部件的一侧面(前部面或后部面)印刷有条形码的情况举为例，但如图9所示，条形码b可印刷于电子部件d的前部面和后部面。在此情况下，有必要读取位于电子部件d的两面的全部条形码b。由此，两个电子部件d之间设置两个条形码阅读器br(可为摄像头)。

另一方面，图10为在两个电子部件d之间设置两个反射镜m，从而以一个摄像头cm同时拍摄分别印刷于电子部件d两侧的条形码b的例。在这种图10的结构中，将条形码b反射至摄像头cm一侧的相邻的两个反射镜m与一个摄像头cm对应，因此，相应摄像头cm同时拍摄两个反射镜m反射的印刷于相邻的电子部件d的两个条形码b。

如上所述，多种条形码识别结构用于本发明在借助加载装置120把持的状态下，同时执行与多个电子部件相关的条形码的识别。例如，当电子部件被横放、条形码向平面方向暴露时，可以一个摄像头可同时识别多个条形码，但在如本发明的加载装置120以站立状态把持多个的电子部件的情况下，无法以一个摄像头同时识别多个条形码。若逐个识别条形码，则使处理变得复杂，处理时间也会变长，因此，需要如上所述的多种条形码识别结构。

当然，如图11所示，也可充分考虑通过使多个电子部件d的条形码b以固定角度倾斜的方式配置多个摄像头cm，从而同时识别与借助加载装置120把持的多个电子部件有关的多个条形码的结构。

如上所述，本发明虽然通过参照附图的实施例来进行了说明，但上述实施例仅为用于说明本发明的优选例，因此，本发明不局限于上述实施例，本发明的发明要求保护范围应理解为本发明的发明要求保护范围及其等同概念。