专利名称：静电驱动装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及静电驱动装置，其中控制一个或多个电极的电压来产生静电力，后者引起两个或多个所述电极固定其上的物体之间的相对运动。
在微机电系统(MEMS)中，经常需要实现物体之间一定运动范围的非常小而精细的运动。为此，有时采用大量的电极，电极相隔很近，如几微米或更小。在一些情况下，可以通过进一步降低相邻电极之间的间距或间隔来改善分辨率(即更精细的运动步长)。然而，当间距已经处于或接近给定制造技术可能的极限时，这样做就不可行。在另外一些情况下，既使技术上有可能，但增加电极密度可能也不利。例如，增加电极密度可能耗费额外空间、增加热输出、或者需要复杂而讨厌的支持电子线路。
如果不考虑相对运动的大小或质量，通常希望运动容易控制。许多现有系统达不到这一点。一些系统难以控制是因为它们不是设计成易于与闭环控制系统合为一体。另一些系统需要采用复杂的协议或者指令语言来产生需要的运动。还有一些系统要求系统操作者具备所述系统机械细节的详细知识以产生必要的电压和静电力来产生需要的相对运动。
发明内容
本发明提供一种静电装置，它具有动子和定子，许多动子电极以工作方式固定在动子上，而许多定子电极以工作方式固定在定子上。动子和定子借助于在动子电极和定子电极之间产生的静电力而彼此相对可动。静电驱动装置包括驱动器，所述驱动器配置成驱动定子电极进入许多顺序的电压状态中的任意一种状态，其中每个电压状态由定子电极上的高电压电平(HI)和低电压电平(LO)的组合定义。从一种电压状态向顺序地相邻的电压状态的转变产生动子和定子之间相对运动的步长。对于每一个顺序的电压状态，驱动器还配置成把加到定子电极之一的电压选择性地改变到LO和HI电压电平之间的值，以便产生较小的成比例的步长并因此提高静电驱动装置的分辨率。
图4是对根据本发明的静电驱动装置的图示说明。
图5是示例性波形图，它说明可能存在于图4所示的不同定子电极上的信号状态。
图6图示说明可以用来把信号加到图4所示定子电极上的驱动器系统。
图1和图2分别说明存储装置100的侧视和顶视横截面图，其中可以采用根据本发明的静电驱动装置。存储装置100包括几个场致发射极(field emitter)，如102和104；具有几个如108的存储区的存储介质106；以及微致动器110，后者使存储介质106相对于场致发射极扫描(移动)或者相反。存储装置100可以配置成每个存储区负责存储1位或者多位信息。
场致发射极可以配置成具有非常尖锐的尖端的发射极。例如，每个场致发射极可以具有约1到数百毫微米的曲率半径。工作期间，在场致发射极及其对应栅极、例如发射极102和环绕发射极102的圆形栅极103之间，加上预先选定的电位差。由于发射极的尖锐尖端的缘故，电子束流被从发射极抽出并以高精度射向存储区。可以根据发射极和存储介质106之间的距离、发射极类型、以及所要求的斑点尺寸(位尺寸)，来要求电子光学系统聚焦电子束。也可以对存储介质106施加电压来或者加速(或减速)场致发射电子、或者帮助聚焦场致发射电子。
外壳120通常适合于把存储介质106保持在局部真空(例如至少10-5乇)中。研究者们已经采用半导体处理技术在真空腔中制作出了精细加工的场致发射极。参见，如“Silicon Field EmissionTransistors and Diodes，”by Jones，published in IEEETransactions on Components，Hybrids and ManufacturingTechnology，15，page 1051，1992。
每个场致发射极可以对应于存储介质106上建立的一个或多个存储区。如果每个场致发射极负责多个存储区，则存储装置100通常适合于在外壳120(亦即，场致发射极)和存储介质106之间扫描或者以其它形式实现相对运动。例如，微致动器110通常适合于对介质106的不同位置进行扫描、使得每个场致发射极定位在不同的存储区之上。采用这样的结构，微致动器110可以用来扫描存储介质之上的场致发射极(通常是二维)阵列。因为存储介质106相对于外壳120运动，所以通常称它为“动子(mover)”。相对应地，外壳120以及相对于外壳固定的各种其它部件(例如场致发射极)通常称为“定子(stator)”。
场致发射极通常适合于通过它们产生的电子束在存储区读取和写入信息。因此，适用于存储装置100的场致发射极必须产生足够细的电子束以便在存储介质106上获得所需的位密度。而且，场致发射极必须提供具有足够的功率密度的电子束以便进行所需的读/写操作。可以用多种方法制作这种场致发射极。例如，一种方法公开在“Physical Properties of Thin-Film Field Emission CathodesWith Molybdenum Cones，”by Spindt et al，published in the Journalof Applied Physics，Vol.47，No.12，December 1976。另一种方法公开在“Fabrication and Characteristics of Si Field EmitterArrays，”by Betsui，published in Tech.Digest 4thInt.VacuumMicroelectronic s Conf.，Nagahama，Japan，Page 26，1991。这类发射极已成功地用在不同的应用中，如平板显示器。
可以以二维阵列(例如100×100个发射极)的形式提供场致发射极，所述阵列在x和y方向发射极间距都是50微米。每个发射极可以存取数万到数亿个存储区。例如，发射极可以在具有二维存储区阵列的存储介质上扫描(即相对运动)，其中相邻存储区之间的间隔周期在任何地方都是从几分之一毫微米到100或100以上毫微米，而微致动器的运行范围在x和y方向都是50微米。场致发射极也可以以同步或者多路复用方式寻址。并行寻址方案可以给存储装置100提供存取时间和数据速率方面明显的性能改善。
图3是存储介质106的典型的顶视图，描述了存储区的二维阵列和场致发射极的二维阵列。(未标示出的)外部电路用于寻址存储区。如图所示，经常要把存储区分割成行，例如行140，其中每行包含一定数量的存储区，例如存储区108。通常，每个发射极负责一定数量的行，但不负责整个长度的这些行。例如，如图所示，发射极102负责行140到142、以及列144到146之内的存储区。
以上说明典型的存储装置，其中可以使用根据本发明的静电驱动装置。这类存储装置的其它方面公开在U.S.Patent No.5557596，所述专利的公开内容通过这种引用而被包括在本文中。
图4描述根据本发明的静电驱动装置150，它包括固定到动子154(如存储介质106)的许多动子电极152；固定到定子158(如外壳120)的许多定子电极156；以及驱动器160。通常，如图所示，动子电极和定子电极都布置成线状，与运行轴(如x轴)平行。驱动器160在动子电极和/或定子电极上产生电压，从而在动子154和定子158之间产生静电力作用。由于静电场的边缘效应以及动子和定子耦合采用的机械悬浮作用，静电力使动子沿x轴相对于定子运动，如图所示。改变加到电极的电压产生动子和定子的相对位置的变化。
为获得沿另一轴(如，y轴)或者不同方向的相对运动，对所述轴或者方向重复如图所示的排列。例如，如上所述，可以要求存储介质在2维空间即x-y平面运动。因而，所述静电驱动系统将包括沿x和y轴的动子和定子电极。本专业的技术人员会认识到本发明的范围包括具有以下能力的系统产生多方向运动，包括直线/轴向运动以及曲线方向或者其它形状的方向的运动。
实际上可以以各种不同的几何配置、使用所需的任意数量的电极。如上所述，如果要轴向运动，动子和定子电极通常排列成平行于要求的运动轴的直线。并且，常常需要建立足够的电极，使得在所需的整个运行范围内，至少一些动子和定子电极足够靠近、以产生足够的静电力形成物体之间的相对运动。
例如，具体参见图4，动子电极152基本上沿动子154的下侧表面的整个有效长度配置成均匀间距或间隔。每个动子电极152上的电压表示成1或者0，其中1表示电极处在高(HI)电压电平Ve，而0表示电极处在低(LO)电压电平(通常为地)。如图所示，对于相邻电极，动子电极上的电压在1和0之间交替。Ve为40伏已被证明是合适的，当然其它电平可能适合用于具体的实施。在所述配置中，动子电极的电压不变。而且，如就要解释的那样，改变定子电极上的电压，以产生用来相对于定子而移动动子的变化的静电力。
仍参考图4，定子电极156沿面对动子154的定子158的表面以类似的直线方式排列。像动子电极一样，定子电极156通常彼此均匀分隔，即，它们具有均匀的间隔。然而，如就要看到的那样，定子电极间隔可能不同于动子电极间隔。
如图所示，定子电极156配置成几组163，每组包含从S0到S6共7个电极。驱动器160配置成通过数个不同的电压状态或者相位来驱动每个定子电极组的电极。这些相位列在表162，它示意性地说明可能加到定子电极上以产生所需相对运动的电压。表162中的每行定义具体的相位并表示加到定子电极S0到S6上的关于所述相位的电压电平。例如，在第0相，HI电压电平(如，Ve，在表中用1表示)加到定子电极S0，LO电压电平(如地)加到定子电极S1，依此类推。如图所示，定子电极有14个不同的相位；在表中把这些相位标为从0到13。从一个相位到顺序的相邻相位的转变(即上升一个相位或下降一个相位)引起动子154相对于定子158移动一个固定步长。
如以总线式连线164所示，由给定相位定义的0与1的电压图案通常加到位于定子上的每组7个定子电极。因此，应当指出，定子电极既是逻辑分组又是物理分组的。因为每组包括在定子上物理相邻的7个定子电极，所以，所有定子电极物理上是分组的。因为在电极表面全长范围内同样地重复电活性、7个一组是定子电极最小的分组，所以所有定子电极逻辑上是分组的。每组从驱动器160接收相同的信号集。
对7个定子电极的每个组163，在动子上有占据相同长度的6个动子电极，如图所示。所以，定子电极的间距是动子电极的6/7。可以采用其它的分组形式和间距比率。例如，系统可以配置成定子电极构成多于或少于7个电极的逻辑分组。定子电极与动子电极的间距比率可以是1∶1或者所示例子7∶6比率之外的其它值。
尽管可能有许多配置，但是，如所示的例子中那样，通常希望定子-动子间距比率是(n)∶(n-1)，其中n是各逻辑/物理组的定子电极数。通常，每个相位前推的动子步长随动子电极的几何结构以及马达弹力和静电驱动的相对力常数而变。下面将指出，对上述(n)∶(n-1)的定子-动子间距比率，相邻相位的每次转变产生的固定步长等于动子电极的间距除以每逻辑/物理组的定子电极数。这假定电极之间产生的静电力远大于马达的弹性力。例如，假定动子电极间距是1.4微米并且每组7个定子电极，那么，步长将是0.2微米。因此，参见表162，从相位5到或者相位4或者相位6改变定子电极电压会引起动子154和定子158之间0.2微米的x轴方向的相对位移。事实上，在本例中，从表162所示14个不同相位的任意相位开始，增加或者降低HI电压个相位将会形成0.2微米的位移。
在许多情况下，由上述电极几何结构决定的步长是足够的。在另一些情况下，需要提高动子的分辨力(例如，通过减小步长)。例如，如图1-3所述存储装置的一个实施例，存储介质上的数据轨迹是40毫微米宽，或上述例子中0.2微米步长的1/5。为精确地寻址这个尺寸的数据轨迹，需要比0.2微米高得多的动子分辨力。以更高分辨率定位允许有效采用闭环伺服控制、减少量化误差并允许存储装置以轨迹偏差调整方式工作(如数据恢复操作经常要求的那样)。
仍参考图4，说明提高动子分辨力的系统和方法。通常，通过一个或多个定子电极156上的电压的比例控制来减小步长。已经发现，在低(LO)和高(HI)电压信号之间(即0和Ve之间)改变一个定子电极的电压，引起步长的按比例线性换算。例如，假定对相位1(定子电极S0到S6的电平＝{0010101}，如表162所见)，动子处在x＝0微米位置。假定如上所述的步长，切换到相位2(S0到S6＝{0110101})会使动子前进到x＝0.2微米。如果不前进到相位2，第2定子电极(S1)上的电压也可以按比例从0增到1，同时所有其它定子电极保留相位1的值不变，以获得更精细的位置控制。这样，通过把定子电极设定在S0到S6＝{0110101}，可以实现固定步长的10％(x＝0.02微米)的位置控制。这可以理解成对相位1的“修改”。
此结果可以更一般地扩展到所述系统，其中通过对每组定子电极的一个定子电极进行比例控制来提高分辨力。如表162虚线所示，比例电极随每一次相位推进而切换。对S0进行0相位的比例控制，对SI进行相位1的比例控制，对S2进行相位2的比例控制，依此类推。通常，如表162所示，比例电极等于(相位模7(phase mod 7))。因此，一旦相位确定，要控制的定子电极可以简单地用模7逻辑的硬件或者软件来确定。
图5说明在具体的定子电极组中7个定子电极中每一个的电压波形。因为系统循环经过14个不同相位中的每一个，所以每个定子电极在6个连续的相位期间处在低电平(0)，在1个相位期间处在转变状态，然后在6个连续的相位期间处在高电平(1)。所述波形显示低和高电平之间的线性斜波转变，表示在发生斜波转变的相位期间对给定定子电极进行比例控制。
例如，在相位9，电极S2被比例控制，而转变是从低电平向高电平。在所述相位期间，S2被比例设定到低电平和高电平之间的某个比例值，以实现所需的位移量，同时所有其它的电极保持在相位9确定的LO和HI电压电平。同样，这可以理解成对相位9的修改。当S2设为0(低电平)时，没有对相位9进行离开图4表162所示电压状态的修改。当通过增加S2上的电压来修改相位9时，发生位移的比例量，即，与通过简单地从相位9转变到相位10而发生的固定步长成比例。当S2上的电压达到1(高电平)时，发生一定量的位移，所述位移接近于所述相位简单地切换到相位10会发生的位移。如果需要进一步的位移，电极电压切换到相位10指定的电平，而比例电极切换到S3，然后对后者进行比例控制以实现所需的位移。
因此，下面将指出，为了定位动子，至少需要两种信息。首先是相位。如上所述，相位决定哪些电极要比例控制，以及是把高电平还是把低电平加到其余的非比例电极上。第二个信息是要加到比例电极以产生所需动子位移的电压。
这两种信息都可以合成到多位数字指令中，如典型的控制指令170，它包含整数值172和小数值174。整数值172指定动子从某参考点移动的相位步数(相位推进产生的位移)。在上述例子中，每个相位步长提供0.2微米的位移。所述整数值172是8位数，因此容纳多达256个相位步长。假定步长是上述0.2微米，这会提供大约50微米运行范围的相对位移。这一范围已被证明对上述典型存储装置是有用的。当然，可以修改所述整数值域步长以便容纳所需的任意数目的相位步长。
通常处理整数值172以便产生4位值，所述值指定定子电极的相位。这可以通过利用实现模14计数器的硬件或软件把整数值172变换成14进制数来完成。另一方面，所述整数值也可以直接通过下列14进制转换方法之一转换到相位(1)相位＝iv-INT(iv/14)*14，其中iv是所述整数值；或者，(2)相位＝iv-INT((iv*64+iv*8+iv+72)/1024)*14。
为了把动子移动所需数目的相位步长，驱动器160通常使定子电极156循环通过所有其间的顺序相位。为了说明，假定整数值172为0时动子在x＝0位置。当整数值172为50时，动子移到x＝50*(0.2)＝10微米。也是在所述点(即x＝10微米)，定子电极在相位8(S0到S6＝{1101010})。为把动子再移10微米到x＝20微米，需增加50个相位步长。因此，从相位8开始，相位增加50次(从相位8到相位9、10、11、12、13、0、1、等等)，以产生必要的静电力来实现所需的移动。在第100步，电极处在相位2。
小数值174指定给定相位步长的小数值，并用于确定加到受比例控制的电极的电压的比例。另一个考虑小数值174的方法是，它是把给定相位从表162所示的未修改的表示修改多少的说明。在所述控制指令170中，采用12位小数值，产生最终步长，后者比通过相位推进产生的基本步长小4096倍。因而，如果采用上述例子中的0.2微米步长，12位小数值提供达到0.05毫微米(0.2/4096微米)，即1/20毫微米的动子分辨力。
下面将指出，上述比例控制系统和控制指令提供了一定的优越性。一个优点是易于操作。在某种意义上来说，所述系统产生数模变换器的效果，它接收数字输入(如控制指令170)而相应地产生模拟输出(如动子154的物理位移)。物理位移量易于控制，因为它是随数字输入值线性变化的。控制指令允许系统编程者/设计者容易编程控制移动而不必知道可动系统的内部机械细节。另外，所述比例控制方案增强运动分辨力，不需要附加电极或者复杂的支持电子线路。
图6描述驱动器160的各种部件，所述驱动器可以用来产生定子电极156上所需的电压。为每个定子电极设置半桥式电路180。每个半桥式电路包括输入栅极182，它连接到P型场效应晶体管184和N型场效应晶体管186，后者分别与Ve和地相连；以及定子电极电压的输出引脚188。设置调节运算放大器190来实现对所述电极之一(如表162中斜虚线指定的受比例控制的电极)的比例控制。分压器192(电阻194和196)和D-A变换器198连接到运算放大器的输入端。电极表162与图4所述表相同，包含加到不同定子电极的电平。驱动器160还可以包括处理器202、存储器204以及配置来实现此处所述功能的其它硬件和软件部件。
如上所述，控制指令170作为输入信号加到驱动器160。如前所述，整数值172指定相位数以及相位，后者是为达到指令要求的移动、定子电极必须置于的相位。基于所述相位，知道要加到非比例定子电极上的电压。通常，根据存储的数值来施加这些电压，如表162中(图4)所示的对于不同相位的数值。相位选择产生输入到要切换的非比例电极的输入信号，以便把存储值作为输入信号加到控制所述电极输出端的半桥式电路。具体地说，或者把1或者把0加到每一个非比例电极的半桥式电路的输入栅极182。加1的地方，P型场效应晶体管184饱和，把电极输出引线188连接到Ve。如果0加到栅极，则N型场效应晶体管186饱和，把所述电极输出引线接地。
相位值也决定到所述比例电极的输入信号的切换。具体地说，相位决定哪个半桥式电路将被选择与调节运算放大器190连接，以便在半桥式电路的输出端产生地与Ve之间的输出。基于相位选择，被选半桥式电路的输入栅极182连接到运算放大器190的输出端208。被选半桥式电路的输出引线188通过电阻196连接到运算放大器190的输入端。
通过向D-A变换器198提供输入210而在选定的半桥式电路的输出端产生所需的比例电压。输入210设定在或者(1)fv/4096，其中fv是小数值174(假定小数值174是12位数)；或者(2)1-fv/4096。这两种情况分别反映有时候通过提高比例电极上的电压来增加位移量(第1种情况)；而其它情况下通过降低比例电极上的电压来增加位移(第2种情况)。参见图5电压波形，当转变斜率是正的(当图4电极输入项是0)时，D-A变换器198提供fv/4096(第1种情况)。当转变斜率是负的(当图4电极输入项是1)时，D-A变换器198提供1-fy/4096(第2种情况)。
来自D-A变换器198的模拟输出信号作为输入信号经由正输入端加到运算放大器190，同时来自选定的半桥式电路的分压输出经由负输入端加到运算放大器190。施加这些输入信号最终使运算放大器190达到平衡，这时，所需的比例电压从选定的半桥式电路输出并加到给定的定子电极。
相信上述公开中包含有独立效用的多个独特发明。虽然这些发明每个以其优选形式公开，当可能存在大量变型时，在此公开及说明的具体实施例不被看成具限制意义。本发明的主要方面包括在此公开的不同元件、特征、功能和/或性能的新颖及非显而易见的所有组合和子组合。类似地，权利要求书陈述“一”或 “第一”元件或者其等效表达，其权利要求书应理解为包括一个或多个此元件的组合，而不是要排除包括两个或多个此元件。
相信随后的权利要求书具体指出了某些组合和子组合，后者针对所本公开的发明之一并且是新颖的和非显而易见的。包含在特征、功能、元件和/或性能的其它组合和子组合中的发明可以通过修改本权利要求书或(在此或相关申请的新权利要求书的)说明来申请专利。这类修改或者新权利要求书，不管其是否针对不同发明或者同一发明，是否不同、更宽、更窄或等于原始权利要求书的范围，也被理解成包含在本公开的发明的主题中。
权利要求
1.一种静电驱动装置150，它包括动子154和许多以工作方式固定其上的动子电极152；定子158和许多以工作方式固定其上的定子电极，所述动子和定子可以借助于在所述动子电极152和所述定子电极156之间产生的静电力而彼此相对移动；以及驱动器160，它配置成把所述定子电极156驱动到许多顺序的电压状态中的任意一种状态，每种电压状态由存在于所述定子电极上的LO和HI电压电平的组合来定义，其中从一种电压状态向顺序相邻的电压状态的转变产生所述动子154和定子158之间相对运动的一个步长，其中，对每一种所述电压状态，所述驱动器160还配置成把加到所述定子电极之一的电压选择性地改变到所述LO和HI电压电平之间的值，以便产生按比例的较小的步长。
2.如权利要求1所述的静电驱动装置，其特征在于所述驱动器160配置成基于数字控制指令170产生所述动子154和定子158之间的相对运动，所述驱动器160还配置成产生随所述数字控制指令170而线性变化的所述动子154和定子158之间的相对运动。
3.如权利要求2所述的静电驱动装置150，其特征在于所述数字控制指令170包含对所述许多顺序的电压状态之一的说明。
4.如权利要求2所述的静电驱动装置150，其特征在于所述数字控制指令170包含对一个或多个所述定子电极156的说明，所述一个或多个定子电极156将接收其电压电平在所述LO电压电平和所述HI电压电平之间的改变过的电压。
5.如权利要求4所述的静电驱动装置150，其特征在于对于将接收其电压电平在所述LO电压电平和所述HI电压电平之间的改变过的电压的所述一个或多个定子电极156，所述数字控制指令170包含对这种改变过的电压或者不同于所述HI电平或者不同于所述LO电平的程度的说明。
6.如权利要求1所述的静电驱动装置150，其特征在于所述动子电极152相互均匀地隔开，并且所述定子电极156相互均匀地隔开。
7.如权利要求6所述的静电驱动装置150，其特征在于所述定子电极156之间的间隔是所述动子电极152之间间隔的(N-1)/N倍。
8.如权利要求7所述的静电驱动装置150，其特征在于所述N＝7。
9.一种静电驱动装置150，它包括一对物体154、158，它们配置成彼此相对运动；以工作方式固定到所述物体之一的许多电极156，这样配置所述电极、使得加到所述电极156的电压产生静电力，后者导致所述物体154、158的相对运动；以及驱动器160，它配置成把电压电平选择性地加到所述各电极156，所述电平是从由以下各种电平构成的组中选择的HI电平、LO电平以及范围在LO和HI电压电平之间的可按比例决定的电平，其中所述HI电平或所述LO电平加到至少一个所述电极156上；以及所述可按比例决定的电平加到至少另一个所述电极156上，其中这样配置驱动器160、使得改变在所述HI和LO电平之间的可按比例决定的电平导致按比例地调整发生在所述物体154、158之间的相对运动。
10.一种静电驱动的计算机存储装置100，它包括存储介质154和许多以工作方式固定其上的存储介质电极152；以可动方式与所述存储介质154耦合的存取装置102、158，所述存取装置102、158配置成对所述存储介质154上的存储单元108进行存取；相对于所述存取装置102、158而固定的许多存取装置电极156，所述存储介质154和寻址装置102、158可以借助于在所述存储介质电极152和所述存取装置电极156之间产生的静电力而彼此相对运动；以及驱动器160，它配置成把所述存取装置电极156驱动到许多顺序的电压状态中的任意一种状态，每种电压状态由存在于所述存取装置电极上的LO和HI电压电平的组合来定义，其中从一种电压状态向顺序相邻的电压状态的转变产生所述存储介质和所述存取装置之间相对运动的一个步长，其中，对于每一种所述电压状态，所述驱动器160还配置成把加到所述存取装置电极156之一的电压选择性地改变到所述LO和HI电压电平之间的值，以便产生按比例的较小的步长并由此提高发生在所述存储介质154和所述存取装置102、158之间的相对运动的分辨率。
全文摘要
一种具有许多以工作方式固定在动子154上的动子电极152和许多以工作方式固定在定子158上的定子电极156的静电驱动装置150。动子154和定子158配置成通过动子电极152和定子电极156之间产生的静电力而彼此相对运动。静电驱动装置150包括驱动器，后者配置成把定子电极158置于许多顺序的电压状态中的任一种状态下，其中每一种状态由各个定子电极156上的LO和HI电压电平的组合来定义。从一种电压状态向顺序相邻电压状态的转变在动子154和定子158之间产生一定步长的相对运动。对于每一种顺序的电压状态，驱动器160还配置成把加到定子电极156之一的电压选择性地改变到LO和HI电压电平之间的值，以便产生成比例的较小的步长。
文档编号B81B5/00GK1433133SQ0310160
公开日2003年7月30日 申请日期2003年1月13日 优先权日2002年1月11日
发明者D·J·法森 申请人:惠普公司