反应腔真空度控制微调装置的制作方法

文档序号:12585922阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种反应腔真空度控制微调装置,其特征在于:包括水环真空泵(1),所述的水环真空泵(1)通过控制组件控制,所述的水环真空泵(1)中设有泵进气组件和泵排气组件;

所述的控制组件包括控制器(2),所述的控制器(2)分别与真空度监测模块(3)、真空度微量调节模块(4)和温度监测模块(5);

所述的泵进气组件包括泵进气口(6),所述的泵进气口(6)与水环真空泵(1)相连通,所述的泵进气口(6)的上部设有吸入管进气口(7);

所述的泵排气组件包括泵排气口(8),所述的泵排气口(8)与水环真空泵(1)相连通,所述的泵排气口(8)的上部设有分离器排气口(9);

所述的泵进气组件与泵排气组件呈间隔状分布;

所述的水环真空泵(1)的外壁设有水平液面安装观察口(10)。

2.根据权利要求1所述的反应腔真空度控制微调装置,其特征在于:所述的水环真空泵(1)的底部设有若干紧固件(11)。

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