1.一种反应腔真空度控制微调装置,其特征在于:包括水环真空泵(1),所述的水环真空泵(1)通过控制组件控制,所述的水环真空泵(1)中设有泵进气组件和泵排气组件;
所述的控制组件包括控制器(2),所述的控制器(2)分别与真空度监测模块(3)、真空度微量调节模块(4)和温度监测模块(5);
所述的泵进气组件包括泵进气口(6),所述的泵进气口(6)与水环真空泵(1)相连通,所述的泵进气口(6)的上部设有吸入管进气口(7);
所述的泵排气组件包括泵排气口(8),所述的泵排气口(8)与水环真空泵(1)相连通,所述的泵排气口(8)的上部设有分离器排气口(9);
所述的泵进气组件与泵排气组件呈间隔状分布;
所述的水环真空泵(1)的外壁设有水平液面安装观察口(10)。
2.根据权利要求1所述的反应腔真空度控制微调装置,其特征在于:所述的水环真空泵(1)的底部设有若干紧固件(11)。