反应腔真空度控制微调装置的制作方法

技术总结
本实用新型是一种微调装置，特别涉及一种反应腔真空度控制微调装置。包括水环真空泵，所述的水环真空泵通过控制组件控制，所述的水环真空泵中设有泵进气组件和泵排气组件。反应腔真空度控制微调装置结构紧凑，操作性能出色，提升产品品质。

技术研发人员：王琦
受保护的技术使用者：杭州新龙化工有限公司
文档号码：201621329078
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2017.06.09