技术特征：
技术总结
在具有固定圆板的真空泵中，所述固定圆板具有分割构造，使在接合该分割构造的接合面上产生的间隙或偏差变少。在涉及本实施方式的涡轮分子泵中，使固定圆板与对芯（中心对准）的固定部件的配合关系与以往相反。即，在基座与固定圆板的嵌合构造中，借助由基座的内周面将固定圆板的外周面推入而接合（从外侧约束）的构造进行中心对准（定位/定心）。此外，将固定圆板的配合构造用一体零件构成。进而，另外设置固定翼与具有西格班构造的固定圆板的配合位置。
技术研发人员：大立好伸;前岛靖;高阿田勉
受保护的技术使用者：埃地沃兹日本有限公司
技术研发日：2016.01.19
技术公布日：2017.09.26