技术领域本发明涉及使用于化学检查装置、环境分析装置或者生命工学研究设备等各种分析装置的阀装置。
背景技术：
在上述各种分析装置中，测定精度的提高、检查速度的提高、检体、试剂的极小化、装置的小型化等成为重要课题，因此对进行测定中所使用的流体的流量控制的阀装置要求性能的进一步提高。在上述的阀装置中，为了实现优越的耐药品性等，而作为阀的开闭机构使用由具有弹性的橡胶材料等构成的隔膜(diaphragm)。隔膜构成划分出阀室的隔壁，从外部接受驱动力来切换流体的流路。对于上述的阀装置而言，为了对流体的流量精密地进行控制，需要提高端口关闭时的隔膜的密封能力。端口关闭时的隔膜的密封能力，能够通过提高在使隔膜向形成于端口开口的周围的阀座落座时对隔膜进行按压的负载、即处于落座的状态的隔膜相对于阀座的压力，来提高。然而，若对隔膜施加大的负载，则构成隔膜的橡胶材料的疲劳被加速，从而存在隔膜的寿命缩短的担忧。另外，为了以大的负载对隔膜进行按压，需要相应的驱动单元，从而担心阀装置大型化。在上述的背景下，下述专利文献1公开了在通过螺线管、第一弹簧部件以及第二弹簧部件等来驱动隔膜的阀装置中，将第二弹簧部件的弹力(弹簧力)设定为第一弹簧部件的弹力的约2倍的阀机构。专利文献1:日本特开2000-297876号公报然而，对于上述的阀装置而言，仍难以实现装置的小型化，并且兼得隔膜的密封能力与耐久性。
技术实现要素：
本发明是鉴于以上的实际情况而提出的，其主要的目的在于提供一种能够实现小型化，并且兼得隔膜的密封能力与耐久性的阀装置。本发明具备：阀主体，划分出至少具备一个供流体流动的端口的阀室；阀体，对上述端口进行开闭；以及驱动单元，驱动上述阀体而开闭上述端口，上述端口具有在周围形成有阀座的开口，上述阀体具有隔膜，该隔膜配置为覆盖上述阀室，并且通过落座于所述阀座或从该阀座分离来对上述端口进行开闭，上述阀装置的特征在于，上述隔膜由JIS-K6253的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度为A50～A85的弹性材料构成，处于上述落座的状态的上述隔膜对上述阀座的压力为0.5～1.0N/mm2。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述隔膜的JIS-K6253的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度为A60～A80。在本发明的上述阀装置的基础上，优选对于上述隔膜而言，作为橡胶成分包含乙烯-丙烯-二烯、氟类橡胶、氢化丁腈橡胶、丁烯系橡胶和硅橡胶中的一种以上。在本发明的上述阀装置的基础上，优选对于上述隔膜而言，作为填充剂包含碳酸钙、二氧化硅、硫酸钡、滑石和碳黑中的一种以上。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述端口具有使流体流入上述阀室的流入端口、以及使流体从上述阀室流出的流出端口，上述隔膜对上述流入端口和上述流出端口这两者中的至少一方进行开闭。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述端口具有使流体流入上述阀室的流入端口以及使流体从上述阀室流出的流出端口，上述流出端口配置有第一流出端口以及第二流出端口这两个系统，上述隔膜对上述第一流出端口以及上述第二流出端口进行开闭。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述隔膜对上述第一流出端口与上述第二流出端口进行交替的开闭，落座于上述第一流出端口的阀座的状态下的上述隔膜的上述压力、与落座于上述第二流出端口的阀座的状态下的上述隔膜的上述压力之差为0.40N/mm2以下。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述阀体被上述驱动单元驱动而摆动，从而对上述端口进行开闭。在本发明的上述阀装置的基础上，优选上述阀体被轴部件支承为能够转动。本发明的阀装置的隔膜由JIS-K6253的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度为A50～A85的弹性材料构成，处于落座的状态的隔膜相对于阀座的压力为0.5～1.0N/mm2。这样，通过改善隔膜的硬度与落座压力，能够抑制落座时的隔膜的过度的变形，从而能够提高隔膜的耐久性。另外，隔膜相对于阀座适当地变形，从而能够获得充分的密封能力。另外，不需要以过大的负载对隔膜进行按压，因此能够使驱动单元小型化。附图说明图1是表示本发明的一实施方式的阀装置的剖视图。图2是表示向图1的螺线管线圈通电的状态的阀装置的剖视图。图3是图1的流路块的立体图。图4是图1的流路块的剖视图。图5(a)是安装有隔膜的摆动部件的侧视图，(b)是(a)的A-A线剖视图。图6是表示关闭常闭流出端口的状态的阀装置的主要部分的剖视图。图7是表示关闭常开流出端口的状态的阀装置的主要部分的剖视图。具体实施方式以下，基于附图对本发明的一实施方式进行说明。图1是本实施方式的阀装置1的剖视图。如图1所示，本实施方式的阀装置1具有：划分出具备供流体流动的端口的阀室的阀主体2、对端口进行开闭的阀体3、以及驱动阀体3而对端口进行开闭的驱动单元4。阀主体2具备流路块20与子块5。流路块20例如由树脂材料形成，具有构成供流体流动的空间亦即阀室21的凹部22、与阀室21连通的流入端口23(Common端口)、常闭(NormallyClose)流出端口24(第一流出端口)、常开(NormallyOpen)流出端口25(第二流出端口)、以及保持阀体3的保持面26。如图1所示，流入端口23始终敞开，从流入端口23向阀室21内供给流体。在通常时，常闭流出端口24关闭，常开流出端口25敞开，从流入端口23流入阀室21的流体沿着箭头A流动，从常开流出端口25流出。阀体3具有配置为覆盖阀室21的隔膜6、以及设置为相对于阀主体2能够摆动的摆动部件7。隔膜6例如由橡胶材料形成。隔膜6以覆盖凹部22的方式安装于阀主体2，从而在与凹部22之间形成阀室21。隔膜6具有向外侧延伸突出的外周部6a。摆动部件7与隔膜6一体化。摆动部件7具有将摆动部件7支承为能够转动的轴部件71。摆动部件7例如由树脂材料形成，并配设于流入端口23的上方。轴部件71例如由金属材料形成。轴部件71在流入端口23的上方设置为与流入端口23大致正交，其两端被支承于子块5。摆动部件7以轴部件71为旋转轴呈跷跷板状转动，从而常闭流出端口24和常开流出端口25中的任一端口被关闭，另一端口被敞开。由此，各端口交替地开闭。驱动单元4具有驱动摆动部件7的阀驱动部40、以及对阀驱动部40进行支承的框架8。驱动单元4对摆动部件7进行按压，从而使隔膜6向常闭流出端口24或者常开流出端口25的阀座落座或者分离而对端口进行开闭。本实施方式的阀装置1是通过驱动单元4产生的电磁力驱动隔膜6，而对端口进行开闭的所谓的电磁阀。子块5例如由树脂材料形成，并具有对摆动部件7等进行收容的收容部51以及将隔膜6按压于保持面26的按压部52。子块5安装于流路块20的形成有凹部22的对接面27，并被螺钉(未图示)等固定于流路块20。隔膜6的外周部6a被流路块20的保持面26与子块5的按压部52夹持而被保持约束，从而紧贴于流路块20。由此，阀室21被封闭，而防止流体向流路块20外部的泄露。在子块5的上部设置有框架8。框架8对阀驱动部40进行收容。阀驱动部40具有：第一柱塞(可动铁心)41、第二柱塞42、第一螺旋弹簧43、第二螺旋弹簧44、螺线管线圈45以及固定铁心46。第一柱塞41配设于常闭流出端口24的上方。第一柱塞41插入于卷绕有螺线管线圈45的线圈线轴47的内部。在固定铁心46形成有供第一螺旋弹簧43安装的凹部46a。第一螺旋弹簧43的一端与固定铁心46的凹部46a的底部抵接，另一端与第一柱塞41的顶面抵接。第一螺旋弹簧43将第一柱塞41向摆动部件7的第一抵接部7a侧按下，与此相伴，第一柱塞41的前端部41b对摆动部件7的第一抵接部7a进行按压。第一螺旋弹簧43的弹簧负载被设定为比第二螺旋弹簧44的弹簧负载大。第二柱塞42配设于常开流出端口25的上方。在第二柱塞42形成有供第二螺旋弹簧44插入的圆筒部42a、以及形成于圆筒部42a的端缘的凸缘状的前端部42b。第二螺旋弹簧44的一端与第二柱塞42的前端部42b抵接，另一端与子块5的凹部的底部抵接。第二螺旋弹簧44将第二柱塞42向摆动部件7的第二抵接部7b侧按下，与此相伴，第二柱塞42的前端部42b对摆动部件7的抵接部7b进行按压。螺线管线圈45卷绕于筒状的线圈线轴47的周围。螺线管线圈45通过被通电而产生电磁力。在螺线管线圈45以产生比第一螺旋弹簧43的负载与第二螺旋弹簧44的负载之差大的电磁力的方式流动有规定的电流。用于向螺线管线圈45进行供电等的缆线45a被导入框架8的内部。第一柱塞41、第一螺旋弹簧43、螺线管线圈45、固定铁心46以及线圈线轴47收容于框架8。螺线管线圈45、固定铁心46以及线圈线轴47固定于框架8。以下，对阀装置1的开闭动作进行说明。如已经叙述的那样，第一螺旋弹簧43的弹簧负载比第二螺旋弹簧44的弹簧负载大，因此第一螺旋弹簧43所产生的弹力比第二螺旋弹簧44所产生的弹力大。因此，在通常时，隔膜6的姿势如图1所示那样以向图中逆时针方向转动的姿势被维持，常闭流出端口24被关闭，常开流出端口25被敞开。与此相伴，如箭头A所示的那样，从流入端口23流入阀室21的流体从常开流出端口25被排出。图2示出了向螺线管线圈45通电的状态的阀装置1。若在螺线管线圈45流动有规定的电流，则通过其电磁力而使第一柱塞41向对第一螺旋弹簧43进行压缩的方向移动。此时，第二柱塞42的前端部42b对摆动部件7的第二抵接部7b进行按压，因此隔膜6向顺时针方向转动，从而常开流出端口25被关闭，常闭流出端口24被敞开。与此相伴，如箭头B所示的那样，从流入端口23流入阀室21的流体从常闭流出端口24被排出。图3以及图4示出了流路块20。在流路块20形成有划分出阀室21的凹部22。凹部22从供子块5接合的对接面27凹陷而形成。如图4所示，从与对接面27相反的一侧的背面突出地形成有常闭流出接头29b、流入接头29a以及常开流出接头29c。流入端口23从凹部22贯通流入接头29a而形成。常闭流出端口24从凹部22贯通常闭流出接头29b而形成，常开流出端口25从凹部22贯通常开流出接头29c而形成。常闭流出端口24、流入端口23以及常开流出端口25以该顺序排列。流入端口23具有面向凹部22开口的流入开口23a。流入开口23a与阀室21连通而形成。流入端口23从流入开口23a向阀室21流入流体。常闭流出端口24以及常开流出端口25也具有面向凹部22开口的流出开口24a、25a。流出开口24a、25a与阀室21连通而形成，常闭流出端口24以及常开流出端口25经由流出开口24a、25a从阀室21使流体流出。在常闭流出端口24的流出开口24a设置有第一阀座24b，在常开流出端口25的流出开口25a设置有第二阀座25b。第一阀座24b以及第二阀座25b形成为向隔膜6侧突出的筒状。隔膜6根据摆动部件7的摆动而与第一阀座24b或者第二阀座25b的前端紧贴，从而常闭流出端口24或者常开流出端口25被关闭。此时，另一方的流出端口被敞开，从而从流入端口23流入阀室21的流体从该被敞开的流出端口排出至阀装置1的外部。第一阀座24b以及第二阀座25b向隔膜6侧突出而形成，因此能够提高端口关闭时的第一阀座24b以及第二阀座25b与隔膜6的封闭性。由此，在常闭流出端口24或者常开流出端口25被关闭时，能够防止流体从阀室21向常闭流出端口24或者常开流出端口25泄露。在第一阀座24b的前端的座面形成有向隔膜6侧隆起的第一隆起部24c。第一隆起部24c在常闭流出端口24的开口侧即第一阀座24b的内周部沿周向连续地形成。通过第一隆起部24c，进一步提高常闭流出端口24关闭时的第一阀座24b与隔膜6的封闭性，从而防止流体的泄露。常开流出端口25的第二阀座25b也相同地设置有第一隆起部25c。保持面26设置于凹部22的周缘。隔着凹部22的侧壁22a，保持面26与对接面27形成阶梯。在保持面26的内周部形成有向隔膜6侧隆起的第二隆起部26a。第二隆起部26a沿周向连续地形成。通过第二隆起部26a，提高保持面26与隔膜6的外周部6a的封闭性，从而防止流体的泄露。在凹部22的周边呈流路块20的主体部分20a的大致对角状地形成有一对贯通孔28。通过贯通贯通孔28的螺钉，来固定流路块20与子块5。图5示出了在摆动部件7安装有隔膜6的阀体3。在摆动部件7的中央部设置有供轴部件71(参照图1)插入的贯通孔7c。贯通孔7c沿水平方向贯通摆动部件7而形成。贯通孔7c设置于第一抵接部7a与第二抵接部7b之间，从而从贯通孔7c至第一抵接部7a的距离与从贯通孔7c至第二抵接部7b的距离相等。在摆动部件7的下部安装有隔膜6。在隔膜6的外周部6a的内侧，设置有壁厚在隔膜6中最薄的膜部6b。膜部6b形成在隔膜6的整周范围。在膜部6b的更内侧，设置有在端口关闭时向第一阀座24b或者第二阀座25b落座的底面6c。隔膜6的膜部6b追随摆动部件7的摆动而弹性变形，从而在流路块20与隔膜6之间维持阀室21。对于本发明而言，为了兼得隔膜6的密封能力与耐久性，规定构成隔膜6的弹性材料的硬度。即，构成隔膜6的弹性材料的JIS-K6253的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度，优选为A50以上，更加优选为A60以上，进一步优选为A65以上，优选为A85以下，更加优选为A80以下，进一步优选为A75以下。在构成隔膜6的弹性材料的上述杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度不足A50的情况下，在隔膜6的底面6c向第一阀座24b或者第二阀座25b落座的端口关闭时，隔膜6的底面6c的变形过大，从而加速构成隔膜6的弹性材料的疲劳，存在隔膜6的寿命缩短的担忧。另一方面，在构成隔膜6的弹性材料的上述杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度超过A85的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第一阀座24b或者第二阀座25b的外形变形，从而存在无法获得充分的密封能力的担忧。在本实施方式中，例如，由作为橡胶成分，包括乙烯-丙烯-二烯(EPDM)、氟类橡胶(FKM、FPM、FFKM)，氢化丁腈橡胶(HNBR)、丁烯系橡胶(IIR)和硅橡胶(VMQ)中的一种以上的弹性材料构成隔膜6。当使用在聚合物主链包括双键的橡胶材料的情况下，在长期的使用时，聚合物主链被切断，从而存在无法维持隔膜6的耐久性能的担忧。在上述橡胶成分中，从气体阻隔性、耐热性、耐药品性以及制造成本的观点来看，特别优选乙烯-丙烯-二烯。隔膜6由于是弹性变形以及与第一阀座24b或者第二阀座25b等接触反复进行的动态使用的部件，因此伴随着长期的使用，而逐渐磨损。因此，为了提高隔膜6的耐磨损性，而优选向上述弹性材料添加填充剂，而将硬度调整在上述的范围内。作为填充剂，优选包括碳酸钙、二氧化硅、硫酸钡、滑石等无机填充材料和碳黑中的一种以上。从隔膜6的耐久性的观点来看，填充材料的量优选为10重量份以上，更加优选为20重量份以上，优选为80重量份以下，更加优选为70重量份以下。在填充材料相对于橡胶成分100重量份的量不足10重量份的情况下，耐磨损性不充分，从而隔膜6的寿命缩短。若填充材料相对于橡胶成分100重量份的量超过80重量份，则隔膜6的耐弯曲疲劳性降低，隔膜6的寿命还是缩短。隔膜6的膜部6b的厚度优选为0.2～1.0mm。在隔膜6的膜部6b的厚度不足0.2mm的情况下，膜部6b因长期的使用而破损，从而在关闭常闭流出端口24或者常开流出端口25的状态下，存在流体向端口泄漏的担忧。在隔膜6的膜部6b的厚度超过1.0mm的情况下，摆动部件7的摆动所需的力增大，因此存在螺线管线圈45等大型化的担忧。对于本发明而言，为了兼得隔膜6的密封能力与耐久性，规定落座于第一阀座24b或者第二阀座25b的状态下的隔膜6相对于第一阀座24b或者第二阀座25b的压力。即，隔膜6相对于第一阀座24b等的压力优选为0.5～1.0N/mm2。在隔膜6相对于第一阀座24b等的压力不足0.5N/mm2的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第一阀座24b等的外形变形，从而存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在隔膜6相对于第一阀座24b等的压力超过1.0N/mm2的情况下，处于落座的状态的隔膜6的底面6c的变形过大，从而加速构成隔膜6的弹性材料的疲劳，存在隔膜6的寿命缩短的担忧。上述隔膜6相对于第一阀座24b的压力，通过隔膜6按压第一阀座24b的力除以隔膜6与第一阀座24b的接触面积S1而被计算。相同地，隔膜6相对于第二阀座25b的压力通过隔膜6按压第二阀座25b的力除以隔膜6与第二阀座25b的接触面积S2而被计算。落座于常闭流出端口24的第一阀座24b的状态下的隔膜6的压力、与落座于常开流出端口25的第一阀座25b的状态下的隔膜6的压力之差，优选为0.02N/mm2以上，更加优选为0.04N/mm2以上，优选为0.40N/mm2以下，更加优选为0.2N/mm2以下。在上述的隔膜6相对于第一阀座24b的压力与相对于第二阀座25b的压力之差不足0.02N/mm2的情况下，存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在隔膜6相对于第一阀座24b的压力与相对于第二阀座25b的压力之差超过0.40N/mm2的情况下，上述压力大的一侧的隔膜6的磨损集中，从而存在隔膜6的寿命缩短的担忧。为了将处于落座的状态的隔膜6相对于第一阀座24b或者第二阀座25b的压力限制在上述的范围内，在本实施方式中，阀驱动部40经由摆动部件7施加于隔膜6的负载被规定在以下的范围内。图6示出了常闭流出端口24被隔膜6关闭的状态下的阀装置1的主要部分。隔膜6落座到第一阀座24b的状态、即未向螺线管线圈45供给用于使第一柱塞41上升的电信号的情况下的摆动部件7对隔膜6的第一阀座24b侧进行按压的负载L1优选为2.9N以上，更加优选为3.2N以上，优选为4.0N以下，更加优选为3.8N以下。在上述的状态下，第一柱塞41以及第二柱塞42双方与摆动部件7抵接，从而被第一柱塞41以及第二柱塞42传递至摆动部件7的力抵消。因此，摆动部件7对隔膜6的第一阀座24b侧进行按压的负载L1，通过基于长度为α1的第一螺旋弹簧43的负载Lα1与基于长度为β1的第二螺旋弹簧44的负载Lβ1之差而计算。在摆动部件7对隔膜6的第一阀座24b侧进行按压的负载L1不足2.9N的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第一阀座24b等的外形变形，从而存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在摆动部件7对隔膜6的第一阀座24b侧进行按压的负载L1超过4.0N的情况下，落座于第一阀座24b的状态下的隔膜6的底面6c的变形过大，加速构成隔膜6的弹性材料的疲劳，存在隔膜6的寿命缩短的担忧。另外，在常闭流出端口24被该隔膜6关闭的状态下，基于第一螺旋弹簧43单体的负载优选为5.8N～8.0N，基于第二螺旋弹簧44单体的负载优选为2.9N～4.0N。在基于第一螺旋弹簧43单体的负载不足5.8N的情况下，以及在基于第二螺旋弹簧44单体的负载不足2.9N的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第二阀座25b等的外形变形，存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在基于第一螺旋弹簧43单体的负载超过8.0N的情况下，以及在基于第二螺旋弹簧44单体的负载超过4.0N的情况下，螺线管线圈45大型化，从而很难实现阀装置1的小型化。图7示出了常开流出端口25被隔膜6关闭的状态的阀装置1的主要部分。隔膜6落座到第二阀座25b的状态、即向螺线管线圈45供给用于使第一柱塞41上升的电信号的情况下的摆动部件7对隔膜6的第二阀座25b侧进行按压的负载L2优选为2.4N以上，更加优选为2.7N以上，优选为3.5N以下，更加优选为3.3N以下。在上述的状态下，第一柱塞41从摆动部件7分离，因此不通过第一柱塞41向摆动部件7传递力。因此，摆动部件7对隔膜6的第二阀座25b侧进行按压的负载L2与基于长度为β2的第二螺旋弹簧44以及重力等的负载Lβ2相等。在摆动部件7对隔膜6的第二阀座25b侧进行按压的负载L2不足2.4N的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第二阀座25b等的外形变形，从而存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在摆动部件7对隔膜6的第二阀座25b侧进行按压的负载L2超过3.5N的情况下，落座于第二阀座25b的状态下的隔膜6的底面6c的变形过大，加速构成隔膜6的弹性材料的疲劳，存在隔膜6的寿命缩短的担忧。另外，在该情况下，也需要使第一螺旋弹簧43的弹簧负载高于第二螺旋弹簧44的弹簧负载。因此，需要提高螺线管线圈45产生的电磁力。其结果，导致螺线管线圈45的大型化，从而难以实现驱动单元4进而阀装置1的小型化。另外，在常开流出端口25被该隔膜6关闭的状态下，基于第二螺旋弹簧44单体的负载优选为2.4N～3.5N。在基于第二螺旋弹簧44单体的负载不足2.4N的情况下，隔膜6的底面6c难以沿着第二阀座25b等的外形变形，从而存在无法获得充分的密封能力的担忧。另一方面，在基于第二螺旋弹簧44单体的负载超过3.5N的情况下，需要将基于第一螺旋弹簧43单体的负载提高到其以上。其结果，与上述相同地，难以实现驱动单元4进而阀装置1的小型化。如以上那样，根据本发明的阀装置1，隔膜6由JIS-K6253的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度为A50～A85的弹性材料构成，处于落座的状态的隔膜6相对于第一阀座24b或者第二阀座25b的压力为0.5～1.0N/mm2。这样，改善隔膜6的硬度与落座压力，抑制落座时的隔膜6的过度的变形，从而能够提高隔膜6的耐久性。另外，隔膜6相对于第一阀座24b或者第二阀座25b适当地变形，从而获得充分的密封能力。另外，不需要以过大的负载对隔膜6进行按压，因此能够使螺线管线圈45等的阀驱动部40小型化。在图3至图4等中，示出了相对于单一的流入端口23具有两个系统的流出端口24、25的三通阀的流路块20。上述的流路块20将流出端口24、25中的任意一方例如流出端口24始终关闭，从而还能够作为二通阀使用。即使在上述的使用方式中，也改善隔膜6的硬度与落座压力，从而获得与上述相同的效果。即便在将另一方的流出端口25始终关闭的情况下，也与上述相同。另外，即使为从流路块20省略任意一方的流出端口的构成，也能够与上述相同地作为二通阀使用，从而获得与上述相同的效果。在该情况下，流入端口23不需要配置于阀室21的中央部，也可以配置于省力的流出端口侧。以上，对本发明的阀装置详细地进行了说明，但本发明不限定于上述的具体的实施方式，而能够变更成各种方式来实施。实施例基于表1的规格试制形成图1的基本构造的阀装置，评价了隔膜的密封性能以及耐久性能。各规格的隔膜通过使用了冲压机的交联成形而被试制。在硬度的测定中，测定了依据JISK6253-3的杜罗回跳式硬度计测出的A型硬度。测试方法如下。＜密封性能＞各规格的隔膜被组装于阀装置，测定了密封性能。即，从流入端口流入0.3MPa的空气，测定了3分钟后的空气的压力。结果是以实施例1为100的指数表示，数值越大，隔膜的密封性能越优越。＜耐久性能＞组装有各规格的隔膜的阀装置在气温20℃的室内以5Hz的频率进行1000万次的空动作，然后，从流入端口流入0.3MPa的空气，测定了3分钟后的空气的压力。结果是以实施例1为100的指数表示，数值越大，隔膜的疲劳越少，耐久性越优越。[表1]根据表1，能够确认：实施例的阀装置与比较例相比，密封性能以及耐久性能有意地优越。符号说明1…阀装置；2…阀主体；3…阀体；4…驱动单元；6…隔膜；7…摆动部件；21…阀室；22…凹部；23…流入端口；23a…流入开口；24…常闭流出端口(第一端口)；24a…流出开口；24b…第一阀座；25…常开流出端口(第二端口)；25a…流出开口；25b…第二阀座。