1.一种适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：包括石英吸盘(1)、用于安装该石英吸盘(1)的底座(2)、以及用于连接石英吸盘(1)和底座(2)的支撑杆(3)，其中，所述支撑杆(3)为中空结构，该支撑杆(3)的一端与石英吸盘(1)相连接，另一端固定于底座(2)上；所述石英吸盘(1)的上表面开设有与支撑杆相连通的抽气孔(4)，该石英吸盘(1)的下表面开挖有用于均匀吸入气体的碗状吸附腔(5)；抽真空时，气体由石英吸盘下表面的碗状吸附腔(5)流入，经抽气孔(4)汇聚流入支撑杆(3)，从而形成负压。
2.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述支撑杆(3)与石英吸盘(1)之间还连接有弹性密封圈(6)，该弹性密封圈(6)包括依次无缝连接的三层密封圈结构，第一层弹性密封圈的截面形状为上宽下窄的倒直角梯形截面，第二层弹性密封圈的截面形状为矩形截面，第三层弹性密封圈的截面形状为上窄下宽的直角梯形截面。
3.根据权利要求2所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述石英吸盘(1)的上表面和支撑杆(3)的下表面上分别开设有用于嵌入弹性密封圈(6)的凹槽。
4.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述石英吸盘(1)的直径为150～154mm。
5.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述石英吸盘(1)的直径为200～204mm。
6.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述石英吸盘(1)下表面底边沿宽度为5～10mm。
7.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述支撑杆(3)靠近底座(2)一端上还是设有真空橡胶管(7)。
8.根据权利要求1所述的适用于平板外延炉的吸盘装置，其特征在于：所述抽气孔(4)的数量为8个，且均布于石英吸盘(1)的上表面。