技术总结
本实用新型公开了一种适用于平板外延炉的吸盘装置，包括石英吸盘、用于安装该石英吸盘的底座、以及用于连接石英吸盘和底座的支撑杆，其中，所述支撑杆为中空结构，该支撑杆的一端与石英吸盘相连接，另一端固定于底座上；所述石英吸盘的上表面开设有与支撑杆相连通的抽气孔，该石英吸盘的下表面开挖有用于均匀吸入气体的碗状吸附腔；抽真空时，气体由石英吸盘下表面的碗状吸附腔流入，经抽气孔汇聚流入支撑杆，从而形成负压。该吸盘装置利用在石英吸盘的下表面开挖形成碗状吸附腔，减小了吸盘下表面与外延片的接触面积，从而降低外延片表面压痕的产生，以及提高外延片距边表面质量的合格率。
技术研发人员：何晶;冯永平;陈浩;任凯;施国政;马利行
受保护的技术使用者：南京国盛电子有限公司
文档号码：201621399147
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.07.07