技术总结
本实用新型公开乐了一种气体管线防堵塞装置，设置在排放含有氯硅烷气体和惰性气体的微量气体的气体管线出口的管线防堵塞装置，包括以下几个部分:气体管线的出口向上设计的气体出口（Ａ）；惰性气体保有室（Ｂ），其上端和气体管线的出口（A）有间隙，其下端设置在气体管线的出口（A）的下方，其内部为在氯硅烷和惰性气体氛围；气体防扩散室（Ｃ），从外部完全包覆惰性气体保有室（Ｂ），其上部和气体吸引管线（E）连接。通过使用本实用新型中的装置，在将含有氯硅烷以及氮气的氯硅烷密封气体作为流体的管线出口，可以防止因氯硅烷水解生成二氧化硅，而导致的管线堵塞。
技术研发人员：江敏
受保护的技术使用者：德山化工（浙江）有限公司
文档号码：201720053313
技术研发日：2017.01.17
技术公布日：2017.09.08