本实用新型涉及一种高纯气体回收系统，更具体地说，它涉及一种高纯气体回收装置。
背景技术：
在大型空分分离装置中，精馏出来的高纯气体的压力比较低，在进入低温液体储罐时，由于槽罐内的低温液体自身的汽化，使得槽内压力高于进液管而无法进液，为了能够使生产出来的高纯产品储存到低温液体槽罐里，必须先对槽罐进行泄压后方可进液，而现在国内大部分生产厂家采取的措施为直接排放到大气中，这不仅浪费产品，更直接影响单位产品综合能耗和公司生产成本。所以对排放的高纯气体进行回收再利用的研究是很有重要意义的。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简单，安全可靠的高纯气体回收装置。
为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种高纯气体回收装置，包括空分主塔，所述的空分主塔外还依次连接有：用于储存低温高纯产品的低温液体储槽、用于回收低温液体储槽的液体产品汽化和进液时排放的高纯气体的缓冲罐、用于增压的膜压机及用于回收经膜压机增压后的高纯气体的气瓶；所述的空分主塔与低温液体储槽之间通过管路连接有低温截止阀，所述的低温液体储槽与缓冲罐之间通过管路依次连接有泄压阀和止回阀，所述的缓冲罐上还设有防爆电接点数显压力表，所述的缓冲罐与气瓶之间通过管路依次连接有膜压机进口阀、膜压机、高压止回阀、膜压机出口阀及精密压力表。
进一步地，所述的防爆电接点数显压力表是用于连锁膜压机，防止出现抽负压而影响产品质量。
本实用新型通过在低温液体储槽泄压阀后增设回收装置，回收低温液体储槽的液体产品汽化和进液时排放的高纯气体，变废为宝，通过膜压机增压充瓶，达到充分回收的目的，通过防爆电接点数显压力表控制膜压机，防止抽负压而影响产品质量。
附图说明
图1是本实用新型一种具体实施例的结构示意图。
图中所示为：1-空分主塔；2-低温截止阀；2a-泄压阀；3-低温液体储槽；4-止回阀；4a-高压止回阀；5-缓冲罐；6-防爆电接点数显压力表；6a-精密压力表；7-膜压机进口阀；7a-膜压机出口阀；8-膜压机；9-气瓶。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本实用新型做进一步的描述。
如图1所示一种高纯气体回收装置，包括空分主塔1，所述的空分主塔1外还依次连接有：用于储存低温高纯产品的低温液体储槽3、用于回收低温液体储槽3的液体产品汽化和进液时排放的高纯气体的缓冲罐5、用于增压的膜压机8及用于回收经膜压机8增压后的高纯气体的气瓶9；所述的空分主塔1与低温液体储槽3之间通过管路连接有低温截止阀2，所述的低温液体储槽3与缓冲罐5之间通过管路依次连接有泄压阀2a和止回阀4，所述的缓冲罐5上还设有防爆电接点数显压力表6，所述的缓冲罐5与气瓶9之间通过管路依次连接有膜压机进口阀7、膜压机8、高压止回阀4a、膜压机出口阀7a及精密压力表6a。
进一步地，所述的防爆电接点数显压力表6是用于连锁膜压机8，防止出现抽负压而影响产品质量。
本实用新型采用上述方案后，与现有技术相比有下述优点：
能确充分回收排放的高纯气体，变废为宝，增加公司收益。
能确有效确保产品质量，提高充瓶的安全。
为本实用新型的一个较佳实施例，在不脱离本实用新型构思情况下，进行任何显而易见的变形和替换，均属于本实用新型保护范围。