管路清洗装置的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种管路清洗装置。

背景技术：

在半导体制造工艺中，需要使用各种气体，这些气体很多都会通过气体管路传输，气体管路在长期使用中，气体中携带的粒子经常会黏附在管壁上，特别是一些易被氧化的气体，被氧化后的粉尘颗粒黏附在管壁上，例如：SiH₄被氧化后形成粉尘颗粒挂在管壁上。此外，粘滞性气体长期使用会在气体管壁上黏附且容易脱落。同时，气体管路在90度弯角处容易形成杂质残留，且容易液化的气体会在90度弯角处累积。对于在工艺中要求的高纯度气体来说，无论是黏附在气体管路上的粉尘，还是残留在管路弯角处的沉积物，一旦随着气体进入大批量生产环节，这对产品质量的影响将是致命的。

在实际生产过程中，特别是特殊气体(例如：WF6、SiH4、CCl4或B2H6等)在长期使用下都会在管壁上黏有污染物，一旦真空破坏，这些黏着物就会被氧化形成颗粒，从而影响产品质量，于是这样管路就需要更换新的管路。因此造成极大的浪费，而且影响生产。但是人工使用去离子水清洗效率低，同时难以保证水汽对半导体制造设备真空度的要求，也不适合大批量集成电路生产的要求，因此目前手段主要以更换管路为主。

因此，设计一种管路清洗装置来清洗受到污染的管路是本领域技术人员需要解决的一个技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种管路清洗装置，以解决现有技术中管路清洗不方便的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种管路清洗装置，所述管路清洗装置包括：清洗液槽，所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接，所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽；所述传输管道的接入端还连接一气体泵，所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述管路清洗装置还包括加热装置，所述加热装置设置在待清洗管路前的传输管道上。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述加热装置包括加热套件和设置在所述加热套件内的制热件，所述加热套件套在传输管道上。

优选的，在所述管路清洗装置中，每个加热套件内的制热件的数量为2～8个。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述加热装置包括2～6套所述加热套件和所述制热件。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述管道选择装置为三通阀。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述管路清洗装置还包括过滤装置，所述过滤装置设置在所述清洗液槽内。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述过滤装置包括过滤网。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述传输管道连接待清洗管路后通入所述过滤装置。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述传输管道通过柔性软管连通待清洗管路。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述柔性软管的接口采用真空接连径向密封接口方式。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述清洗液槽设置有槽盖板。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述槽盖板是透明盖板。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述槽盖板设有若干通气孔。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述清洗液槽还设置有排水件。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述清洗液槽还设置有清洗液注入件。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述管路清洗装置还包括一装置载体，所述清洗液槽设置在所述装置载体内。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述装置载体底部设置有多个脚轮。

优选的，在所述管路清洗装置中，所述装置载体上设置有载体盖板。

本实用新型提供的管路清洗装置，通过控制管道选择装置来选择连通液体泵，然后通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中，通过清洗液冲洗待清洗管路，从而实现对于待清洗管路的清洗工作。进一步的，使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中，从而实现循环清洗的功能。更进一步的，通过控制管道选择装置来选择连通气体泵，然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。

附图说明

图1是本实用新型实施例的管路清洗装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例的加热装置的立体结构示意图；

图3是本实用新型实施例的装置载体的立体结构示意图；

图4是本实用新型实施例设有装置载体的管路清洗装置的立体结构示意图；

图5是本实用新型实施例的管路清洗装置的使用模式的示意图；

其中，10-清洗液槽，11-槽盖板，12-排水件，13-清洗液注入件，20-液体泵，30-传输管道，40-待清洗管路，50-气体泵，60-管道选择装置，70-加热装置，71-加热套件，72-制热件，80-过滤装置，100-装置载体，101-脚轮，102-载体盖板，1-循环清洗线路，2-吹干线路，3-加热线路。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

如图1所示，本实用新型实施例的一种管路清洗装置，所述管路清洗装置包括：清洗液槽10，所述清洗液槽10通过一液体泵20与传输管道30的接入端连接，所述传输管道30的另一端连接待清洗管路40后通入所述清洗液槽10；所述传输管道30的接入端还连接一气体泵50，所述传输管道30的接入端通过管道选择装置60与所述液体泵20连通或者与所述气体泵50连通。

本发明的方案中，待清洗管路通过传输管道接入到管路清洗装置中完成清洗。例如，传输管道可以包括第一传输管道和第二传输管道，待清洗管路可设置于第一传输管道和第二传输管道之间，第二传输管道通入到所述清洗液槽中；可以理解的是，传输管道也可以仅通过第一传输管道连接待清洗管路，然后将待清洗管路的出口通入到清洗液槽中。通过两种不同的传输连接方式均可完成清洗并实现清洗的循环，可根据实际需要选择其它的传输连接方式。

继续参考图1所示，所述管路清洗装置还包括加热装置70，所述加热装置70设置在待清洗管路40前的传输管道30上，通过加热装置70对传输管道30内的气体进行加热，从而实现对清洗后的待清洗管路40进行烘干的作用。可以理解的是，传输管道、液体泵、气体泵和加热装置等可以固定在清洗液槽上，也可以由其本身刚性自行支撑。

如图2所示，所述加热装置70包括加热套件71和设置在所述加热套件71内的制热件72，所述加热套件71套在传输管道30上，通过制热件72制热后转移到传输管道内，从而实现加热的功能，加热套件71还可起到保护和支撑制热件72的作用，例如，加热套件71可为陶瓷套，制热件72可为加热棒。优选的，每个加热套件71内的制热件72的数量为2～8个，通过设置多个制热件72增强制热作用。进一步的，所述加热装置70包括2～6套所述加热套件71和所述制热件72，通过设置多个加热套件71和制热件72来增强加热作用。在其它实施例中，加热装置70所产生的加热效果需要根据实现需要对加热套件71或制热件72的数目进行增减，本实施例中在实际测试中作为较佳选择，实现较佳效果。

在本发明中，通过加热装置70可将传输管路中的气体加热，从而提高对待清洗管路的吹干效果，在具体的实施方式中，继续参考图2所示，所述加热装置70可设置在两个三通管之间，所述两个三通管连通到所述传输管道30，通过两个三通管将加热装置70并行接入到传输管道30中，通过控制三通管来选择是否经过具有加热装置70的传输管道30，选择是否需要加热功能，满足不同的需要。

优选的，所述管道选择装置60为三通阀，传输管道30的接入端通过控制三通阀来选择连通至液体泵或气体泵，从而起到选择冲洗或吹干的功能，并使不同的装置彼此独立，防止相互影响。

继续参考图1所示，所述管路清洗装置还包括过滤装置80，所述过滤装置80设置在所述清洗液槽10内，通过过滤装置80过滤掉循环的清洗液中部分杂质，较佳的满足清洗液循环使用的效果。优选的，所述过滤装置80包括过滤网，通过过滤网来进行过滤，并通过更换的过滤网实现较佳的过滤效果。优选的，所述传输管道30连接待清洗管路40后通入所述过滤装置80，当清洗液冲洗待清洗管路40会产生较多的杂质，过滤装置80设置在连接待清洗管路40后可较佳的起到过滤的作用，当然在其它实施例中，过滤装置80也可以设置在循环冲洗环节的其它位置，例如清洗液槽到传输管道的出口处等。

优选的，所述传输管道30通过柔性软管连接待清洗管路，考虑到待清洗管路具有不同的长度等，通过柔性软管来满足清洗不同的管路需要，柔性软管具有较好的灵活性。优选的，所述柔性软管的接口采用真空接连径向密封(VCR，Vacuum Coupling Radius)接口方式，实现管路之间较佳的连接。

继续参考图1所示，所述清洗液槽10设置有槽盖板11，通过槽盖板11起一定的保护作用。优选的，所述槽盖板11是透明盖板，便于操作者观察清洗液槽10内。进一步的，所述槽盖板11设有若干通气孔，通过通气孔来排出吹干时的气体，避免引起清洗液飞溅。

优选的，所述清洗液槽10还设置有排水件12，当清洗工作完成后或其它需要时，通过排水件12可将清洗液槽10中的清洗液排放掉，例如，排水件12为设在清洗液槽10底部的排水管，排水管上可设有开关阀门。优选的，所述清洗液槽10还设置有清洗液注入件13，通过清洗液注入件13方便清洗液的注入，例如，清洗液注入件13为设在清洗液槽10上部的注入管，从而方便的向清洗液槽10内加入清洗液。

如图3和图4所示，所述管路清洗装置还包括一装置载体100，所述清洗液槽10设置在所述装置载体100内，通过装置载体100为管路清洗装置的部件提供支撑和保护的功能。优选的，所述装置载体100底部设置有多个脚轮101，通过脚轮101实现移动的功能，从而方便管路清洗装置的转移，例如，可安装3个或4个脚轮101。所述装置载体100上面设置有载体盖板102，载体盖板102可用来放置待清洗管路，闲置时也可以作为工作台使用，载体盖板102可从装置载体拆除或组装上，作为可从装置载体拆卸下来的盖板，满足实际操作过程中多种需要。

下面详细说明本实用新型的管路清洗装置的使用。

如图5所示，本实用新型的管路清洗装置有3种模式，其中如图中所示的1号线路为循环清洗线路，首先将清洗液加入清洗液槽，然后通过液体泵将清洗液传输到待清洗管路进行冲洗，最后清洗液经过过滤装置的过滤后再回到清洗液槽，实现循环清洗，方便继续使用，避免了浪费。清洗液在待清洗管路里充分循环冲洗，即使待清洗管路的90度死角也能完全清洗到，具有较佳的清洗效果。在整个清洗管路的过程中，注入在清洗液槽的液体在封闭的管路里自动循环，具有较高的安全性。清洗液具有多种选择，例如，可选用H₂O₂、醇类(乙醇、异丙醇IPA等)、去离子水等，可根据实际需要选用。

同时，通过管道选择装置可切换到2号线路，2号线路为吹干线路，通过气体泵将气体通入到清洗后的待清洗管路中，从而实现吹干管路的功能。进一步的，3号线路为加热线路，通过加热的气体实现快速、彻底的吹干，满足不同的需要。

本实用新型提供的管路清洗装置，通过控制管道选择装置来选择连通液体泵，然后通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中，通过清洗液冲洗待清洗管路，从而实现对于待清洗管路的清洗工作。进一步的，使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中，从而实现循环清洗的功能。更进一步的，通过控制管道选择装置来选择连通气体泵，然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。