技术总结
本实用新型提供了一种管路清洗装置，包括：清洗液槽，所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接，所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽；所述传输管道的接入端还连接一气体泵，所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通。本实用新型提供的管路清洗装置，通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中，实现对于待清洗管路的清洗工作；使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中实现循环清洗的功能；通过控制管道选择装置来选择连通气体泵，然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。
技术研发人员：裴家旺;王晓晨
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201621425486
技术研发日：2016.12.23
技术公布日：2017.07.28