专利名称：一种扫描电镜样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种扫描电镜样品台，属于测量仪器技术领域。
技术背景扫描电镜是利用电磁透镜来扫描成像的，对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受 到磁场的影响。在内部磁场的作用下，即使是非磁性试样也有可能被磁化。扫描电镜工作时 需要扫描电镜样品台来承载扫描电镜样品座。现有的扫描电镜样品台有两种 一种是用于做 扫描SEM和能谱EDS的样品台，包括安装样品座的圆台和用于将圆台安装在扫描电镜样品室 上的底座；另一种是用于做电子背散射衍射EBSD的样品台，包括一圆台，圆台的底部设有 与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设一插电子背散射衍射专用座的圆孔，专用 座插入圆孔后，样品座再安装到专用座的插孔中固定。其缺陷是1、第一种样品台的圆台 与底座、底座与扫描电镜样品室的安装位置不易对准，容易损坏扫描电镜的分子泵，且样品 座是插入圆台的孔中，当样品座距离电子枪的极靴非常近，被磁化了的样品座及样品座上的 样品就有可能被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害；2、样品座的尺寸单一， 不能适应各种尺寸的样品；3、第一种样品台不能取代第二种，第二种样品台可以取代第一 种，但只能插一个样品座，因原有的样品座很小，所以一次只能测试一个样品，测试效率低。 实用新型内容本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、功能齐全、通用性强的扫描电镜样品台。 其技术方案为包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中 心设有安装样品座的孔，其特征在于样品座为一组，尺寸大小不一，孔为螺孔，样品座插 入孔的端部设有螺纹。其工作原理为1、用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台经底部设置的螺杆与扫描电镜 样品室螺纹连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔 中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行SEM和EDS的观测；2、用于做EBSD时，圆台经底部设置的螺杆与扫描电镜样品室螺纹连接为一体，电子背散射衍射专用座插入 圆台顶端中心设置的孔中，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品 座上，即可对样品进行EBSD检测。本实用新型与现有技术相比，具有如下优点1、 即可用于做EBSD，也可以用于做SEM和EDS，通用性强，免去来回安装更换，损坏 仪器；2、 在圆台顶端中心设有安装插样品座的螺孔，与其对应，样品座插入孔的端部设有螺 纹，这样就可以实现对样品座的固定，防止被磁化了的样品座及样品座上的样品被吸到电镜 的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害；3、 样品座为一组，尺寸大小不一，可以根据样品的多少，选择大小相应的样品座，同 时做多个样品，工作效率高。
图1是本实用新型实施例1的结构示意图； 图2是本实用新型实施例2的结构示意图。图中1、样品座2、圆台 3、螺杆4、孑L5、电子背散射衍射专用座6、插 孔7、螺孔具体实施方式
图1所示的实施例1用于做SEM和EDS:圆台2的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接 的螺杆3，其顶端中心设有安装样品座l的孔4,与其对应，样品座1插入孔4的端部设有 螺纹，样品座1螺纹安装在孔4内。根据样品的多少，选择一大小相应的样品座l，再把样 品固定到样品座1上，即可对样品进行SEM和EDS观测。图2所示的实施例2用于做EBSD:圆台2的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆 3，其顶端中心设有安装电子背散射衍射专用座5的孔i，圆台2经底部设置的螺杆3与扫描 电镜样品室螺纹连接为一体，电子背散射衍射专用座5螺纹旋入圆台2顶端中心设置的孔4 中，再将样品座1安装到电子背散射衍射专用座5的插孔6中，最后把样品固定到样品座1 上，即可对样品进行EBSD检测。
权利要求1、一种扫描电镜样品台，包括样品座(1)和圆台(2)，其中圆台(2)的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆(3)，其顶端中心设有安装样品座(1)的孔(4)，其特征在于样品座(1)为一组，尺寸大小不一，孔(4)为螺孔，样品座(1)插入孔(4)的端部设有螺纹。
专利摘要本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有安装样品座的孔，其特征在于样品座为一组，尺寸大小不一，孔为螺孔，样品座插入孔的端部设有螺纹。用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可进行SEM和EDS的观测；用于做EBSD时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的孔中，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测。该产品功能齐全，通用性强。
文档编号G01N23/00GK201122146SQ20072015730
公开日2008年9月24日 申请日期2007年11月16日 优先权日2007年11月16日
发明者柳 冯, 李正民, 杜守旭, 红 郭, 陈志伟 申请人:山东理工大学