专利名称：氯硅烷气体取样装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种氯硅烷气体取样装置。
背景技术：
当今世界信息技术飞速发展，太阳能技术的发展也是如雨后春笋，所以硅片的使 用更加广泛，多晶硅市场有更大的发展空间，对多晶硅的质量要求也有所提高，生产过程中 合成氯硅烷的检验也显得尤为重要。目前国内外氯硅烷含量检验分析一般是采用液体进样，使用气相色谱仪就能够准 确分析其含量。但是在国内大多数企业中由于生产工艺的限制，要取液样分析合成氯硅烷 的含量有一定困难，检测得出的数据不够准确，不能准确得出具体含量值，对于计算转化率 有一定困难，进而不能合理指导生产。
实用新型内容本实用新型的目的是针对上述情况，设计一种合成氯硅烷气体样品的取样装置， 该装置不通过合成氯硅烷的液化，可直接取气态样品，然后通过气相色谱进行分析，从而得 出合成氯硅烷的百分比，计算出转化率来指导生产。根据所取样品的性质，需要解决的技术问题有a.氯硅烷与空气接触，容易水解产生SiO2堵塞进样口和进样管道，所以应减少氯 硅烷的水解、方便对进样口进行清洗；b.设计合理的取样装置结构以便更好、更快地置换气体完成取样；c.使取样装置耐压、耐高温、防腐蚀；本实用新型的目的通过下述技术方案来实现一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶、固定在桶内的进样管和出样管、固 定在桶外的针型阀、以及连接在桶顶的压力表，所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针 型阀连通，所述针型阀的出口 5与气象色谱仪的进样口适配，所述连接体进口 1与标气瓶的 出口适配。作为优选方式，所述桶内的进样管和出样管各为两只，固定在桶外的针型阀为4
P作为优选方式，所述取样桶为圆桶，底部为球形。作为优选方式，所述取样桶为不锈钢桶。作为优选方式，所述针型阀与桶顶螺纹连接。作为优选方式，所述压力表与桶顶螺纹连接。本实用新型的工作流程连接体进口连接与其适配的标气瓶的出口，取样前从标 气瓶中向取样桶中通入惰性气体，置换出桶内的空气，防止氯硅烷与空气中的水份接触发 生水解而堵塞取样口、进样管和出样管，为取样做准备。需要取样分析时，针型阀的出口连 接与其适配的气象色谱仪的进样口，针型阀使氯硅烷气体通过进样管进入取样桶，达到一
3定压力的氯硅烷气体通过出样管、经针型阀通入气象色谱仪进行分析，完成取样过程。本实用新型采用两组共4只针型阀，每组中1只为进口针型阀，另一只为出口针型 阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分 析样品浓度，平常不需要稀释时，可封闭一组针型阀做备用，如果样品进、出口堵塞，也可以 做进、出口用。阀门采用针型阀，分析进样时可保持气流稳定；针型阀与取样桶采用螺纹连 接，方便调节流速和清洗，顶部中心的压力表和取样桶采取螺纹连接，如果压力表坏了，可 以方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。
图1是本实用新型的俯视图。图2为图1中的A-A向视图。图中，1为进样针型阀，2为取样桶，3为进样管，4为出样管，5为压力表，6为出样 针型阀，7为针型阀出口，8为连接体进口。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。如图1、图2所示，一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶2、固定在桶内的2 只进样管3和2只出样管4、固定在桶外的2只进样针型阀1和2只出样针型阀6、以及连 接在桶顶的压力表5，所述取样桶为不锈钢圆桶，底部为球形，桶内的进样管3与桶外的进 样针型阀1连通，桶内的出样管4与桶外的出样针型阀6连通，针型阀的出口 7与气象色谱 仪的进样口适配，连接体进口 8与标气瓶的出口适配，进样针型阀1、出样针型阀6与桶顶螺 纹连接，压力表5与桶顶螺纹连接。本实用新型的工作流程连接体进口连接与其适配的标气瓶的出口，取样前从标 气瓶中向取样桶中通入惰性气体，置换出桶内的空气，防止氯硅烷与空气中的水份接触发 生水解而堵塞取样口、进样管和出样管，为取样做准备。需要取样分析时，针型阀的出口连 接与其适配的气象色谱仪的进样口，针型阀使氯硅烷气体通过进样管进入取样桶，达到一 定压力的氯硅烷气体通过出样管、经针型阀通入气象色谱仪进行分析，完成取样过程。本实用新型采用两组共4只针型阀，每组中1只为进口针型阀，另一只为出口针型 阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分 析样品浓度，平常不需要稀释时，可封闭一组针型阀做备用，如果样品进、出口堵塞，也可以 做进、出口用。阀门采用针型阀，分析进样时可保持气流稳定；针型阀与取样桶采用螺纹连 接，方便调节流速和清洗，顶部中心的压力表和取样桶采取螺纹连接，如果压力表坏了，可 以方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本 实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型 的保护范围之内。
权利要求1.一种氯硅烷气体取样装置，其特征在于包括封闭的取样桶(2)、固定在桶内的进样 管(3)和出样管(4)、固定在桶外的针型阀(1、6)、以及连接在桶顶的压力表(5)，所述桶内 的进样管、出样管分别与桶外的针型阀(1、6)连通，所述针型阀的出口(7)与气象色谱仪的 进样口适配，所述连接体进口( 8 )与标气瓶的出口适配。
2.如权利要求1所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于所述的桶内的进样管和出 样管各为两只，固定在桶外的针型阀为4只。
3.如权利要求1或2所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于所述取样桶为圆桶，底 部为球形。
4.如权利要求3所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于所述取样桶为不锈钢桶。
5.如权利要求1或4所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于所述针型阀(1、6)与桶 顶螺纹连接。
6.如权利要求5所述的氯硅烷气体取样装置，其特征在于所述压力表(5)与桶顶螺纹 连接。
专利摘要本实用新型公开了一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶、固定在桶内的进样管和出样管、固定在桶外的针型阀、以及连接在桶顶的压力表，所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀连通，针型阀的出口与气象色谱仪的进样口适配，连接体进口与标气瓶的出口适配；本实用新型采用两组共4只针型阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分析样品浓度，平常不需稀释时，可封闭一组针型阀做备用，针型阀分析进样时可保持气流稳定，针型阀与取样桶采用螺纹连接，方便调节流速和清洗，压力表和取样桶采取螺纹连接，方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。
文档编号G01N30/22GK201788109SQ201020544879
公开日2011年4月6日 申请日期2010年9月28日 优先权日2010年9月28日
发明者余国庆, 余江, 易征, 陈丹, 黄磊 申请人:峨嵋半导体材料研究所