一种单晶样片制样机的制作方法

文档序号:12727164阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶样片制样机,其特征在于,包括载物平台、研磨驱动机构、升降机构;载物平台边缘设置三组用于固定样片的卡爪和压片;研磨驱动机构设置在载物平台上方,该研磨驱动机构上设有五个研磨头,相对于安装在载物平台上的样片,其中一个研磨头设置在样片的中心位置,其余四个研磨头均匀分布在样片的边缘位置;通过升降机构调节研磨头的上下位置。

2.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述升降机构由手轮和齿条组合控制,该手轮外缘设有多个加重点,用来加载砝码,控制研磨压力。

3.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述研磨头的直径为1-2cm,研磨加工面积大于四探针测试探头面积。

4.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述研磨头的材质可以为球墨铸铁或刚玉。

5.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述研磨头表面设有开槽,用于浸润研磨液,槽口宽度为1-2mm。

6.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述研磨头的转速从0-50转/分可调。

7.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,所述研磨驱动机构内部设有一系列齿轮传动,并设有适合多组直径样片的研磨头连杆的安装孔,同一组研磨头的位置距离样片中心的距离相等,距离符合半导体行业标准。

8.根据权利要求1所述的单晶样片制样机,其特征在于,位于载物平台边缘的三组卡爪和压片可以独立调节位置,适用于不同外形单晶样片。

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