技术总结
本发明公开了一种单晶样片制样机，包括载物平台、研磨驱动机构、升降机构；载物平台边缘设置三组用于固定样片的卡爪和压片；研磨驱动机构设置在载物平台上方，该研磨驱动机构上设有五个研磨头，相对于安装在载物平台上的样片，其中一个研磨头设置在样片的中心位置，其余四个研磨头均匀分布在样片的边缘位置；通过升降机构调节研磨头的上下位置。本发明的单晶样片制样机可以实现对单晶样片进行多点位同时研磨处理，加工位置与表面质量符合四探针测试要求，通过调整研磨头位置可以对适应多种不同直径单晶样片要求。制样加工与更换工装方便迅速，省时高效。同时避免使用喷砂机，减少粉尘危害作业员健康。
技术研发人员：边永智;程凤伶;盛方毓;宁永铎;鲁进军;徐继平
受保护的技术使用者：有研半导体材料有限公司
文档号码：201510958526
技术研发日：2015.12.18
技术公布日：2017.06.27