1.一种基板,所述基板用于放置进行离子注入的硅片,其特征在于,包括:
本体;以及
容纳部,所述容纳部设置在所述本体上,所述容纳部上开设有多个孔,所述多个孔在行和列方向上依次排列,每个所述孔用于放置一片所述硅片,且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。
2.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,所述本体与所述容纳部一体成型。
3.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,所述本体和所述容纳部的总的厚度为0.3毫米-0.7毫米。
4.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,所述孔的内壁上设有两个活动元件,所述两个活动元件呈对称分布,所述两个活动元件用于卡住所述硅片。
5.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,所述孔的内壁上开设有凹槽,所述硅片的边缘卡在所述凹槽中。
6.根据权利要求5所述的基板,其特征在于,同一个所述孔的内壁上的所述凹槽的数量为两个,且两个所述凹槽呈对称分布。
7.根据权利要求5所述的基板,其特征在于,同一个所述孔的内壁上的所述凹槽的数量为一个,且所述凹槽环绕所述孔的内壁。
8.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,所述孔为方形孔。
9.根据权利要求1所述的基板,其特征在于,还包括粘结层,所述粘结层位于所述本体与所述容纳部之间,所述粘结层用于将所述容纳部粘接在所述本体上。
10.一种检测装置,所述检测装置用于检测离子注入机的性能,其特征在于,所述检测装置包括硅片和所述权利要求1-9中任一项所述的基板,开设在所述容纳部上的每个所述孔用于放置一片所述硅片,所述硅片用于通过所述离子注入机注入离子。