技术总结
本实用新型涉及一种检测装置及其基板。所述基板用于放置进行离子注入的硅片,所述基板包括本体和容纳部;所述容纳部设置在所述本体上,所述容纳部上开设有多个孔,所述多个孔在行和列方向上依次排列,每个所述孔用于放置一片所述硅片,且所述孔的尺寸与所述硅片的尺寸相适配。上述检测装置及其基板,采用离子注入机每次对硅片进行离子注入时,只需将硅片放置在对应的孔中即可,保证每次硅片放置的位置相同,进而保证每次离子注入后硅片阻值的测试数据的准确性,避免误差的存在。
技术研发人员:李磊
受保护的技术使用者:昆山国显光电有限公司
文档号码:201620499706
技术研发日:2016.05.27
技术公布日:2016.12.07