一种静压导轨直线度测量装置的制作方法

文档序号:11350949阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种静压导轨直线度测量装置,其特征在于,包括标准件、电感测头、与所述电感测头电性连接的控制装置和与所述控制装置电性连接的显示装置,所述标准件用于与和待测静压导轨配合的溜板保持相对静止,所述电感测头与所述标准件的标准表面接触以检测所述标准件随所述待测静压导轨运动产生的位移并发送检测数据至所述控制装置,所述控制装置用于将所述检测数据处理并通过所述显示装置显示。

2.根据权利要求1所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,还包括用于带动所述标准件运动以调整所述标准件测试初始位置的伺服电机。

3.根据权利要求2所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,还包括用于置于所述溜板上的基座,所述标准件固定安装于所述基座上。

4.根据权利要求3所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,所述伺服电机用于带动所述基座运动以调整所述标准件的测试初始位置。

5.根据权利要求4所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,所述基座的顶面开设有凹槽,所述标准件卡接于所述凹槽内。

6.根据权利要求1所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,所述标准件为光学镜面。

7.根据权利要求1所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,所述显示装置为显示屏。

8.根据权利要求1-7任一项所述的静压导轨直线度测量装置,其特征在于,还包括底座、与所述底座垂直固定连接的支撑杆、能够相对所述支撑杆滑动并锁紧的支架,所述电感测头与所述支架固定连接。

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