一种半导体气体传感器动态检测系统的制作方法

文档序号:11108474阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于气体检测技术领域,具体为一种半导体气体传感器动态检测系统。本发明检测系统包括仪器硬件和计算机;硬件包括气体腔室、控制电路、数据采集卡、监控与操作面板。气体腔室内含传感器待测样品插槽和液体蒸发板,控制电路与数据采集设备提供测试、加热电压,实时采集传感器样品电流、电阻数值并通过计算匹配合适阻值的负载电阻,从而提高测量的准确度;监控与操作面板实现传感器样品温度、测试电压的实时显示和调整。计算机实时显示传感器电阻电流及其变化、手动或自动切换负载电阻、计算传感器灵敏度以及保存和调用测试数据。本发明实现了气体传感器对各种各浓度气体、液体蒸汽的动态响应测试,与同类其他测试系统相比大大提高了测试精度和准确度。

技术研发人员:邓勇辉;周欣然
受保护的技术使用者:复旦大学
文档号码:201710064710
技术研发日:2017.02.05
技术公布日:2017.05.10

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