具有凹槽的石墨烯太赫兹传感器的制作方法

技术特征：

技术总结
本申请提供了一种新型结构的石墨烯基太赫兹传感器，其包括周期性凹槽，周期性凹槽的平面和侧壁上通过表面氧化形成一层氧化物层，在所述氧化物层的表面上形成金属颗粒层，然后将石墨烯层形成在上面，使得形成的太赫兹传感器具有较好的探测效率，背面形成的银层同时起到反射作用以及等离子体激元增强的效果。

技术研发人员：黄晓敏
受保护的技术使用者：黄晓敏
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2017.07.21