半导体气体传感器测试系统的制作方法

技术特征：

技术总结
本分案申请主要涉及一种半导体气体传感器测试系统，属于元件测试领域，用于解决现有半导体气敏元件测试方法不完善的问题，技术要点是：用于对不同气体在给定浓度下进行动态配气及使多支传感器阵列在气体通入时对气敏元件表面电导率的变化进行实时监测。

技术研发人员：杜海英
受保护的技术使用者：大连民族大学
技术研发日：2015.11.13
技术公布日：2017.10.20