技术总结
本发明一种具有双进气道装置的功率器件高温高压测试用探针卡属于半导体器件测试技术领域；该探针卡从上到下依次设置进气系统、PCB板、转接层、导引板和探针；进气系统底部具有多个下出气孔和侧出气孔，PCB板上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第一通孔，转接层上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第二通孔，导引板上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第三通孔，下出气孔、第一通孔、第二通孔和第三通孔同轴设置，从下出气孔喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔、第二通孔和第三通孔后，吹入导引板与被测晶圆之间；本发明能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。变形和探针位置漂移。变形和探针位置漂移。
技术研发人员：赵梁玉 王艾琳 王兴刚 周明
受保护的技术使用者：强一半导体（苏州）有限公司
技术研发日：2020.07.01
技术公布日：2021/4/13