专利名称：一种用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于测量在诸如阴极射线管(CRT)的面板之类的板的内表面上的金属膜厚度的装置，更具体来说，它涉及当板运动时来测量在板的内表面上形成的沉积膜的厚度的装置。
在典型面板的内表面上，形成有预定图案的荧光膜，而金属膜形成在荧光膜的表面上。金属膜将通过电子束碰撞激发而从荧光膜上产生的光反射到面板的前表面上，以便改善亮度，并且保护荧光膜不受电子束的碰撞。金属膜由具有良好的反射率的铝制成。随着金属膜厚度的增加，其典型的光反射率将提高，但是电子束透射过金属膜的能量将较少。因此，从典型的光反射率和能量透射率的观点来看，金属膜的厚度应当适当设置。
当形成金属膜时，其厚度被周期性地测量，因而得到控制。
金属膜的厚度由操纵测量元件的操作工手工测量。在面板安装在金属膜沉积装置上时测量金属膜的厚度，因此其测量工作是复杂的，并且不能实现精确测量。另外安装在沉积装置上的面板是周期性地运动的，因此上述测量更加困难。
本发明的目的是克服上述问题而提供一种当面板被传送时测量在面板的内表面上的金属膜厚度的装置。
本发明的另外一个目的是提供一种测量在板的内表面上形成的的金属膜厚度的装置，其能够改善金属膜厚度测量工作的可靠性。
为完成上述目的，所提供的用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置包括一个位于被传送的板之上的框架；一个在一端与所述框架可枢转地组合在一起的导轨，使得安装角可以调节；一个用于沿着所述导轨往复运动的安装在所述导轨上的台车；与所述台车组合的跟踪装置，用于通过有选择地与所述运动板的所述侧表面相接触来以所述板运动的速度传送所述台车；安装在所述台车上以便从所述台车上升和下降的测量元件，用于通过接触所传送的板来测量金属膜的厚度；和用于相对于所述板来提升和降低测量元件的提升装置。
另外，最好是，还包括一个安装在导轨的另外一端的第一致动器，用于通过提升和降低导轨来调节导轨的安装角，并且在导轨上形成一个与面板的运动路径相对应的导槽。
最好是，跟踪装置包括一个跟踪杆，该跟踪杆一端固定在台车上，而另外一端竖向向下延伸，从而不与导轨接触，和一个第二致动器，该致动器连接在跟踪杆的另外一端，用于有选择地接触面板，以便台车可以根据面板的运动来沿着导轨运动。
另外，最好是，通过台车形成竖向通孔，并且提升装置包括一个支承板，该支承板位于导轨的下部，能够相对于导轨在竖向上运动并且有连接在其上的测量元件，和一个第三致动器，该致动器设置有一个杆，该杆穿过台车的竖向通孔和导槽以后固定在支承板上。
本发明的上述目的和优点通过结合附图详细描述其较佳实施例将更加一目了然。其中，
图1是本发明的用于测量在板的内表面上形成的金属膜厚度的装置的分解透视图；图2A-图2C是表示本发明的装置的运作情况的侧视图。
请参阅附图1，本发明的用于测量金属膜厚度的装置被安装在板90的上部，而板90安装在传送板10上，传送板10由驱动马达(未示出)周期性地传送，以便测量沉积在板90内表面上的金属膜的厚度。该测量金属膜厚度的装置包括一个安装在传送板10附近的框架20；一个安装在框架20上的平而弯曲的导轨31，其中，安装角可以调节；用于沿着导轨31往复运动的台车41；安装在台车41上用于根据与板90侧面的选择接触情况传送台车41的行驶装置50；一个提升装置60，其与台车41组合在一起，用于相对于板90提升和降低金属膜厚度测量传感器70。
台车41沿着在导轨31上的板90的运动路径运动。导轨31的一端可以枢转地铰接在框架20的一侧，而其另外一端由框架20的另外一侧支承着。与板90的运动路径相对应的导引槽32形成在导轨31上。一个第一致动器33安装在框架20的非铰接侧，其支承着导轨31的另外一端并且可以提升和降低导轨31的自由端，以便转动导轨31，借此调节安装角。
轮子42安装在台车41的两侧，以便能够在导轨31上滚动。
跟踪装置50包括一个跟踪杆51和一个第二致动器52，其中，跟踪杆51的一端固定在台车41的一侧，并且向下延伸，从而不与导轨31相接触，而第二致动器52与跟踪杆51的另外一端组合在一起，以便有选择地接触板90，从而台车41可以根据板90的运动而沿着导轨31运动。
提升装置60与台车41组合在一起，并且可以提升和降低多个用于测量在板90的内表面上的铝膜厚度的测量元件70。提升装置60包括一个支持板63和一个第三致动器61，其中，支持板63布置在导轨31之下，能够相对于导轨31在竖向上运动，并且有多个连接在其上的测量元件70，而第三致动器61设置有一个杆62，杆62穿过台车41的竖向通孔41a和导槽32之后固定在支持板63上。另外，导杆64固定在支持板63上并且通过导槽32和可滑动地插入台车41的竖向通孔41b。
本发明的用于测量在板的内表面上的金属膜的厚度的装置还包括第一和第二传感器66和67，第一传感器66用于探测当传送板10运动和有选择地操纵第二和第三致动器52或者61时板90是否在测量元件70之下，而第二传感器67用于探测板90是否已经与导杆31的下部分开和操纵第一，第二或者第三致动器33，52或者61。另外，一个用于在台车41的传送期间缓冲冲击的缓冲器80还设置在导轨31的铰接组合部分。通常，吸震器或者弹簧用作缓冲器80。
下面，参照附图2A-2C描述有上述结构的本发明的用于测量板的内表面上的金属膜厚度的厚度测量装置的工作情况。
如图2A所示，当台车41靠近缓冲器80时，如果当传送板10运动时板90由第一传感器66探测到，便操纵跟踪装置50的第二致动器52，使跟踪杆51(见图1)与板90的侧表面接触，同时操纵第三致动器61来降低连接在杆62(见图1)上的支持板63，以便使测量元件70与板90的上表面相接触。
随后，板90随着传送板10的运动被传送。因为第二致动器52的跟踪杆51与板90的侧表面相接触，所以台车41也以板90的运动速度沿着导轨31运动。此时，因为第三致动器61的杆62和支持板63的导杆64穿过在导轨31上形成的导槽32，所以当杆62和导杆64沿着导槽32运动时台车41被传送。
沿着轨道传送和以台车41运动的速度运动的测量元件70当与板90的上表面接触时测量在板90的上表面上形成的金属膜的厚度。
然后，如果板90继续运动，并且之后由第二传感器67探测到，如图2B所示，则操纵第二致动器52，使跟踪杆51与板90的侧表面分开，并且同时操纵第三致动器61来升起支承板63。因此测量元件70与板90的上表面分开。
在测量元件70与板90的侧表面分开以后，如图2C所示，操纵第一致动器33来将导轨31的另外一端升起，使导轨31以一个预定角度倾斜。当导轨31倾斜时，台车41由于其自身的重力而沿着导轨31返回其原来的位置。这里，因为缓冲器80安装在导轨31的铰接组合部分，所以作用在提升装置60和测量元件70上的冲击可以被吸收。
在台车41返回其原来的位置之后，再次操纵第一致动器33，以便使导轨31恢复至水平状态，然后上述的操作可以重复进行。
如上所述，本发明的用于测量板的内表面上的金属膜厚度的装置可以在以板运动的速度运动的同时测量板的内表面上的金属膜的厚度，因此可以改善测量的精度和降低手工测量该厚度所花费的人工工时。
权利要求
1.一种用于测量在板的内表面上的金属膜厚度的装置，它包括一个位于被传送的板之上的框架；一个在一端与所述框架可枢转地组合在一起的导轨，使得安装角可以调节；一个用于沿着所述导轨往复运动的安装在所述导轨上的台车；与所述台车组合的跟踪装置，用于通过有选择地与所述运动板的所述侧表面相接触来以所述板运动的速度传送所述台车；安装在所述台车上以便从所述台车上升和下降的测量元件，用于通过接触所传送的板来测量金属膜的厚度；和用于相对于所述板提升和降低测量元件的提升装置。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，它还包括一个安装在所述导轨另外一端上的第一致动器，用于通过提升和降低所述导轨来调节所述导轨的安装角，其中与所述板的运动路径相对应的导槽形成在所述导轨上。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述跟踪装置包括一个一端固定在所述台车上并且另外一端竖向向下延伸从而不与所述导轨相接触的跟踪杆，和一个第二致动器，该第二致动器连接在所述跟踪杆的所述另外一端上，用于有选择地接触所述板，使得所述台车可以根据所述板的运动来沿着所述导轨运动。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，在所述台车上形成有竖向通孔，并且所述提升装置包括一个支承板，该板位于所述导轨的下部，能够相对于所述导轨在竖向上运动并且有连接在其上的所述测量元件，和一个第三致动器，该第三致动器设置有一个杆，该杆在穿过所述台车的所述竖向通孔和所述导槽以后固定在所述支承板上。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，它还包括一个用于探测是否所述板位于所述导轨之下的第一传感器，和一个用于探测是否所述板已经从在所述导轨之下的区域离开的第二传感器，其中所述第一，第二或者第三致动器通过所述第一和第二传感器被有选择地操作。
6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，它还包括一个用于吸收根据所述台车的运动和作用在所述台车上的作用力而产生的冲击的缓冲器。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述跟踪装置包括一个跟踪杆，该跟踪杆一端固定在所述台车上并且竖向向下延伸，因而其另外一端不与所述导轨相接触，和一个第二致动器，该第二致动器连接在所述跟踪杆的所述另外一端上，用于有选择地接触所述板，使得所述台车可以根据所述板的运动来沿着所述导轨运动。
8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，在所述台车上形成有竖向通孔，并且所述提升装置包括一个支承板，该支承板位于所述导轨的下部，能够相对于所述导轨在竖向上运动，并且有连接在其上的所述测量元件，和一个第三致动器，该第三致动器设置有一个杆，该杆在穿过所述台车的所述竖向通孔和所述导槽以后固定在所述支承板上。
全文摘要
一种用于测量在板的内表面上形成的金属膜厚度的装置,它包括一个位于被传送板之上的框架,在一端与框架可枢转地组合在一起的导轨从而其安装角可以调节,安装在导轨上用于沿着导轨往复运动的台车,与台车组合在一起的跟踪装置,用于通过有选择地接触运动板的所述侧表面来以板运动的速度传送台车,安装在台车上以便从台车上上升和下降的测量元件,用于通过接触被传送的板来测量金属膜厚度,和用于相对于板提升和降低测量元件的提升装置,它可降低工时。
文档编号G01B21/08GK1182203SQ97103400
公开日1998年5月20日 申请日期1997年3月27日 优先权日1996年11月22日
发明者李吉元 申请人:三星电管株式会社