g/m2day。另外，多孔支撑体一般具有大于lXl〇-7mol/m2s化的水蒸气透过率。 在使用水蒸气透过率大于lXl(rWmol/m2sPa的支撑体的情况下，更换试样时，大气成分向 透过侧腔室内的流入增大，不能有效利用如第二实施方式的说明中记载的那样的本发明的 优势。另一方面，在使用水蒸气透过率小于lXl〇-i4mol/m2sPa的支撑体的情况下，难W评价 水蒸气透过率为lXl〇-i4mol/m2sPa(l〇-4g/m2day)的水平的试样。
[0047] 在对水蒸气W外的气体的评价中，也可W如上所述将水蒸气透过率作为基准来选 择支撑体材料。该是因为，在对水蒸气W外的气体的评价中，抑制更换试样时的水蒸气流入 透过侧腔室内，也可W带来高灵敏度化、迅速化等该样的本发明效果。在此基础上，只要适 当选择具有与该气体相应的透气率的支撑体即可。予W说明，水蒸气透过率高的支撑体一 般来说对氧气、氮气、二氧化碳等也均显示出较高的透过率。因此，在大多数情况下，只要将 水蒸气透过率作为基准来选择支撑体材料就足够了。
[0048] 如上所述，为了实现该水蒸气透过率，支撑体不必使用多孔体。与其使用多孔体不 如使用致密的材料。在此，"致密"是指，没有从与支撑体的试样相接的面贯通到另一面的 孔径超过Inm的细孔。对于该一点，采用扫描式电子显微镜或原子力显微镜等表面观察装 置观察支撑体表面，只要未看到孔径Inm的细孔就足够了。虽然该些表面观察装置不能区 别未贯通的细孔（例如，表面的凹坑）和贯通的细孔，但只要能确认表面没有细孔，就可W 确认也没有贯通的细孔。予W说明，在高分子材料中，存在将高分子链的原子级的间隙称作 "细孔"的例子，但在本说明书中，不认为高分子链之间形成的原子级（即nmW下）的间隙 是细孔。
[0049] 通过将支撑体形成上述结构，能够良好地保持透过侧的环境（真空度或气体浓度 等），因此在安装试样后不需要弄干透过侧腔室内壁的水蒸气。该样，可W迅速地评价气体 阻挡性。在现有装置中，在更换试样时，需要将透过侧暂时向大气开放。其结果，大气中的 水蒸气进入透过侧腔室内，该水蒸气附着在透过侧腔室内壁。虽然在安装试样后排出透过 侧腔室内的水蒸气、或向其中导入载气，但直到更换试样时吸附于透过侧腔室内壁的水蒸 气干枯为止，需要数天的时间。
[0050] 进而，由于在更换试样时不需要将透过侧向大气开放，因而，透过侧的各种阀口开 闭、真空累的起动?停止的操作是部分不需要的。结果，装置的操作和结构都简单、便宜。因 失误而破坏检测部的可能性降低，所W，可在不设置特别的保护机构的情况下将高灵敏度 的检测部（压力计等）安装在透过侧，甚至可W根据情况一直使其工作。
[0051] 该支撑体优选用该样致密的材料，所W能够制成与试样邻接的表面平滑的气体阻 挡性评价装置。因此，不必担屯、评价气体供给侧和透过侧的压力差造成的变形。膜状试样 大多具有层状结构。使用多孔支撑体的装置中，试样沿着其细孔的形状而变形，有可能损坏 层状结构，损害气体阻挡性。另外，在使用多孔支撑体的情况下，大多会在需要密封的致密 的周边部分与多孔区域的交界处产生台阶等结构上的不连续。由于本发明中使用的支撑体 的整个区域都是致密的，因此使用完全没有边界缝的平滑的板能够实现密封和试样支撑两 者。予W说明，从上述观点考虑，在不带来不良影响的范围内，当然可W容许细微的凹凸、舒 缓的凹凸（起伏）或一些伤痕。本发明中的"平滑"是指在lOOym的距离，没有高低差超 过10ym的台阶或凹凸，优选在100ym的距离没有高低差超过1ym的台阶或凹凸，更优选 在100ym的距离没有高低差超过0. 1ym的台阶或凹凸。该是因为，进行评价的试样的厚 度通常为数十ym，所W高低差必须至少比厚度小。只要高低差为试样厚度的1/100W下， 试样就不会产生缺陷。
[0052]另外，能够制成上述支撑体为板状的气体阻挡性评价装置。为了支撑所评价的试 样，支撑体应设定成符合试样形状的最佳形状。试样大多是平坦的膜，此时适合板状支撑 体。该时施加在膜状试样上的压力为大气压，另一面为平滑且致密的壁（支撑体）。该与在 有机电子学中实际使用的结构相近。在现有的方法中普遍的是，等压法是试样两侧与气相 相接，差压法是在试样被按压在有凹凸的多孔支撑体上的状态下进行评价，与有机电子学 中使用的环境明显不同。
[005引进而，能够制成上述支撑体的厚度为1mm~20mm、优选2mm~15mm、更优选5mm~10mm的气体阻挡性评价装置。通过具有该厚度，保证了支撑体的强度，装置的操作变得容 易。如果过薄，因供给侧和透过侧的压力差会产生破损或弯曲而不优选。如果过厚，则不能 忽视来自支撑体周围的截面的气体透过，用于解决该问题的装置就会复杂化。予W说明，在 此所说的厚度是指外观上的整体的厚度。例如，将多孔金属板和高分子板该两块重叠使用 时，是指其合计的厚度。
[0化4] 为了实现该些条件，优选制成上述支撑体为高分子体的气体阻挡性评价装置。更 具体地，可W从聚碳酸醋、聚己締、聚丙締、聚对苯二甲酸己二醇醋、聚氯己締、聚偏氯己締、 聚丙締膳、聚酷胺、聚酷亚胺、聚苯己締、聚苯硫離、聚離讽、聚酷胺酷亚胺、聚四氣己締等中 选择。
[0化5] 进而，优选制成上述支撑体为有机无机复合体的气体阻挡性评价装置。由此，能够 较低地抑制透气性。具体地，优选在高分子体表面覆盖娃石和/或类金刚石膜等。优选使 用在高分子材料中混有透气性低的粘±矿物和/或娃石等无机材料的复合材料。
[0056] 进而，优选制成透过侧腔室内的压力低于大气压的气体阻挡性评价装置。所谓大 气压是指标准大气压，为101. 325kPa。还可W制成供给侧压力高于标准大气压的气体阻挡 性评价装置。本发明使用了支撑体，因此不需要使透过侧和供给侧的压力相同。通过降低 透过侧压力或提高供给侧压力，可W增大试样两侧的评价气体的分压差。如上述的式（A) 所示，气体透过流束一般与分压差呈正比，所W，当分压差加倍，透过流束也加倍。因此，能 够将评价时间减少一半。或者，如果使用相同的时间，则能够使灵敏度加倍。另外，通过加 大分压差，还可W进一步缩短评价时间，或进一步提高灵敏度。由此，能够自由地改变压力， 因此可W容易地评价相对于各种分压差的透气性，可W根据所得到的大量的评价数据验证 装置性能。与此相比，通常的等压式气体阻挡性评价装置，必须使试样两侧的压力相等，对 于用大气压W外的压力将试样两侧的压力控制为相同来说，需要复杂的控制。
[0057] 进而，优选制成上述检测部为压力计的气体阻挡性评价装置。根据本发明，可W 使用压力计来评价透气性。尤其是低压区域的压力计（即真空计）的灵敏度非常高，有时 可W评价至1(T叩a的级别。评价l(T6g/m2day级别的水蒸气阻挡性所需要的压力灵敏度为 104化左右，对评价灵敏度来说结结有余。因此，直到l(T6g/m2day的高灵敏度，都可W容易 地评价。另一方面，在现有技术中，具有l(T6g/m2day的灵敏度的气体阻挡性评价方法和装 置受到局限。
[005引使用压力计时，能够如下评价试样的透气性即气体阻挡性。
[0化9] 设定透过侧腔室的容积为V虹3]、试样的气体透过区域为S虹2]。设定评价气体的 供给侧的分压为pf[Pa]、透过侧的分压为护[Pa]。当关闭与透过侧腔室内连通的阀口而与 外界隔离时，由于透过试样的气体的作用，透过侧腔室内的分子的总数n虹〇1]在At[s]期 间增加了An虹〇1]。其结果，透过侧腔室内出现A护[Pa]的増加。此时，将透过侧腔室内 的温度设为TDC、将气体常数设为R( = 8. 314J/mo化)，则成为式（1)。
[0060] [数学式1] {/
[0061] A? =--川 RT
[0062] 评价气体的透过流束J虹ol/m2s]按下式（2)给出。
[006引[数学式引
[0064]
[0065] 合并试样和支撑体的透气率pt^mol/tfsPa]可用下式（3)定义。
[0066][数学式引
[0067]
[0068] 将式似代入式（3)，得到下式（4)。
[0069][数学式句
[0070]
[0071] 试样和支撑体各自的透气率Pf和ps，可W使用pb[Pa]，用式巧）、（6)来表示该些 界面的评价气体