检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于检查基板的通电状态的检查装置（APPARATUSFORTESTING)。
【背景技术】
[0002] -般而言，印刷电路基板（PCB，PrintedCircuitBoard)是几乎所有所需的必须 部件之一，不仅用于洗衣机或电视等家电产品，而且，还用于包括手机在内的生活用品或汽 车、人造卫星等。
[0003] 近来，随着构成印刷电路基板的各种电子部件的集成度的提高，其图案（pattern) 变得相当精细，需要非常精巧的图案印刷工艺，因此，不良率也随之增加，需要非常仔细地 检查印刷电路基板。
[0004] 韩国注册专利公报第0176627号的公报公开一种用于印刷电路基板的通电情况 的探头装置，其通过防止锡焊不良及探头的震动完成稳定的通电检查，提高对锡焊部的各 种表面形状的适应性。但是，还没有可迅速、精确、可靠地检查印刷电路基板的通电状态的 方法。
[0005] 先行技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 韩国注册专利公报第0176627号
【发明内容】
[0008] 本发明的目的在于提供一种用于可靠地检查基板的通电状态的检查装置。
[0009] 本发明所要解决的技术问题不受上述技术课题的限制，而对于本领域技术人员而 言，未被提及的其他技术课题可通过下面的内容将变得明了。
[0010] 本发明的检查装置，包括：检查单元，用于检查基板的通电状态；及转位单元，通 过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。
[0011] 本发明的检查装置，包括：移动单元，将第五位置的基板移动至第一位置；对齐单 元，确认从上述第一位置移送至第二位置的上述基板的对齐状态；检查单元，检查从上述第 二位置移送至第三位置的上述基板的通电状态；卸载单元，将从上述第三位置移送至第四 位置的上述基板移动至第六位置；及转位单元，进行旋转运动并按通过上述旋转运动形成 的虚拟的同心圆上的上述第一位置、上述第二位置、上述第三位置、上述第四位置的顺序移 送上述基板。
[0012] 本发明的检查装置通过旋转转位单元形成基板的移送路径，从而可迅速可靠地对 基板的通电状态进行检查。
【附图说明】
[0013] 图1为本发明的检查装置的概略示意图；
[0014] 图2为本发明的另一检查装置概略示意图；
[0015] 图3为构成本发明的检查装置的第一装载单元及第二装载单元的概略示意图；
[0016] 图4为构成本发明的检查装置的辅助板概略示意图；
[0017] 图5为构成本发明的检查装置的检查单元概略示意图；
[0018] 图6为本发明的检查装置运行顺序概略示意图。
[0019] 附图标记
[0020] 110 -第一装载单元，111 一装载部，120 -第二装载单元，130 -移动单元，131 - 臂，133 -吸附部，140 -卸载单元，150 -转位单元，151 -转位板，152 -辅助板，153 - 孔，155 -握紧部，157 -搁置部，159 -旋转轴，161 -第一辅助单元，162 -第二辅助单元， 163 -第二辅助单兀，169 -标记单兀，170 -对齐单兀，180 -清洁单兀，190 -检查单兀， 191 一夹具，193 -探头，195 -底盘，200 一基板。
【具体实施方式】
[0021] 下面，结合附图对本发明的实施例进行详细说明。在此过程中，为了说明的便利性 和明了性，附图所示的构件的大小或形状等有可能夸张表示。另外，考虑到本发明的构成及 作用特别定义的术语有可能根据使用者、运营者的意图或惯例变得不同。这些术语的定义 需基于本说明书的整体内容而定。
[0022] 图1为本发明的检查装置的概略示意图。
[0023] 如图所示的检查装置可包括检查单元190及转位单位150。
[0024] 检查单元190可检查基板200的通电状态。
[0025] 检查单元190中进行的通电检查的方式可以是多种多样的。例如，检查单元190 包括与形成于基板200的电路图案接触的探头193并通过向与电路图案接触的探头193施 加检查信号检查基板200的通电状态。
[0026] 根据不同的基板200,检查单元190只检查基板200的一面或同时检查基板200的 两面。
[0027] 为了检查单元190的正常驱动，需将未经检查的基板200移送至检查单元190并 将结束通电检查的基板200从检查单元190退出。为了上述基板200的移送和基板200的 退出采用转位单元150。
[0028] 转位单元150可通过旋转运动将基板200移送至检查单元190。此时的旋转运动 形成基板200的移送路径，因此，基板200的移送路径是沿虚拟的圆周形成的。即，通过转 位单元150,基板200的移送路径沿圆形形成。
[0029] 转位单元150可通过旋转运动按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺序 移送基板200。第一位置至第四位置可位于根据转位单元150的旋转运动形成的基板200 的移送路径（虚拟的圆周）上。
[0030] 第一位置可以是基板200装载于转位单元150的位置。
[0031] 第二位置可以是确认基板的对齐状态的位置。
[0032] 第三位置可以是通过检查单元190检查基板200的通电状态的位置。
[0033] 第四位置可以是在检查单元190结束检查的基板200从转位单元150卸载的位 置。
[0034] 基板200的实际通电检查是在第三位置通过检查单元190完成的。为完成利用检 查单元190的可靠的通电检查，需在检查单元190的上游，即在基板200流入检查单元190 之前，确认基板200的对齐状态，且在存在错误的对齐状态时进行矫正。为此，在位于第三 位置前的第二位置确认基板200的对齐状态。确认基板200的对其状态可在对齐单元170 完成，而为了向上述对齐单元170和检查单元190装载基板200而事先将基板200设置于 转位单元150,而这个位置就是第一位置。另外，在第三位置完成检查的基板200可在第四 位置卸载。
[0035] 转位单元150可包括移送基板200并沿同心圆的轨迹移送移动到的基板200的 转位板151。转位板151的数量可与包括在转位板151上装载基板200的工艺在内的在转 位板151上施加于基板200的工艺的数量相同。例如，在上面的过程中适用基板200的移 动-对齐-检查-卸载等四个工艺，因此，可具备四个转位板151。
[0036] 为执行在上述各位置完成的工艺，检查装置可包括检查单元190及转位单元150 在内的各种单元。
[0037] 例如，检查装置可包括移动单元130、对齐单元170、检查单元190、卸载单元140及 转位单元150。
[0038] 移动单元130可将第五位置的基板200移动至第一位置。此时的第五位置可以是 通过转位单元150所形成的基板200的移送路径之外的位置。
[0039] 对齐单元170可利用摄像头等确认移送至第二位置的基板200的对齐状态。若对 齐单元170的确认结果表明基板200的对齐状态存在错误，则需对其进行补正。对基板200 的对齐错误的补正，可在对齐单元170、转位单元150、检查单元190中的至少一个中完成。
[0040] 检查单元190可完成对移送至第三位置的基板200的通电检查。
[0041] 卸载单元140卸载在第三位置完成检查并移送至第四位置的基板200,且将卸载 的基板200移动至第六位置。第六位置可以是通过转位单元150所形成的基板200的移送 路径之外的位置。
[0042] 转位单元150可通过旋转运动按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺序 移送基板200。
[0043] 如上所述，在通过转位单元150形成的基板200的移送路径上，可具备包括检查单 元190在内的多个单元。此时，各单元等间距设置为宜。例如，通过转位单元150形成的基 板200的移送路径上具备移动单元130、对齐单元170、检查单元190及卸载单元140的四 个单元，而若以转位板150的中心为旋转轴159时，各单元以90度为间距设置。因此，最大 限度地减少各单元之间的干涉。另外，因各单元不相互干涉，因此，可使多个单元同时驱动。 其一例为，移动单元130、对齐单元170、检查单元190及卸载单元140可被同时驱动。
[0044] 图1所示的实施例为转位单元150顺时针方向旋转的情况，而在平面上，左侧为第 一位置，上侧为第二位置，右侧为第三位置，下侧为第四位置。若转位单元150逆时针方向 旋转，则在平面上，右侧为第一位置，上侧为第二位置，左侧为第三位置，下侧为第四位置。
[0045] 若转位单元150具备供放置基板200的转位板151四个且转位板151的间隔对应 各单元的作业位置，则在转位单元150旋转时，可在一定角度对齐各转位板151和各单元的 作业位置。在这样对齐转位板151的状态下，可使各单元相对于各转位板151同时驱动。
[0046] 根据上述构成，各单元间基板200的移送距离为转位单元150所形成的虚拟圆周 的部分区间。因此，较之一般的将直线路径作为基板200的移送路径的检查设备，各单元间 的移送距离较短。因此，可密集设置各单元，实现检查装置的小型化。另外，因通过旋转转 位单元150完成基板200的移送，因此，较之利用直线移送路径的检查设备，可实现基板200 的高速移送。另外，只需进行旋转即可，因此，较之利用直线移送路径的检查设备，可实现转 位单元150的小型化。
[0047] 在上面的内容中，对第一位置至第四位置及对用于相应位置的移动单元130、对齐 单元170、检查单元190、卸载单元140进行了说明，而在各位置之间或各单元之间，可插入 对基板200进行附加作业的位置或单元。
[0048] 在图1中，四个转位板151和各单元以90度间隔设置，因此，转位单元150按90度 旋转转位板151，则可使转位板151和各单元的位置相对应。在xy平面上，沿转位单