因 不仅接触于搁置部157,而且还与辅助板152接触，因此，更能减少基板200的松动。在此状 态下，用握紧部155握住基板200并上升辅助板152,则可在没有松动的情况下将基板200 固定于搁置部157。
[0087] 例如，辅助板152可上升至比搁置部157的高度h4高或低的高度h5。在图4中，h5 比匕高。另外，在图4中，为了便于说明，匕和匕的差异非常明显，但在实际情况下，其差异 可能比附图中少。因此，放置于搁置部157和辅助板152上的基板200可稍微弯曲并维持 近乎平面的状态。
[0088] 另外，辅助板152也可位于第四位置。此时，辅助板152可上升，以在基板200从 搁置部157移动时通过孔153与基板200接触。与图4不同，位于第四位置的辅助板152 的h5比h4低。因此，在卸载时，最大限度地减少基板152的移动。
[0089] 移动单元130包括具有在xyz空间设置的作业自由度的臂（arm) 131及形成于臂 131的端部并吸附基板200的吸附部133。为将基板200无松动地搁置于搁置部157,在搁 置部157和基板200可靠地接触的状态下解除吸附。为使搁置部157和基板200可靠地接 触，吸附部133可向基板200施加压力。但是，吸附部133所施加的压力有可能使基板200 弯曲损毁，而且，在接触吸附时，因复原力使基板200晃动。但是，在将辅助板152上升至h5 的状态下进行上述作业，则可防止基板200的损毁并减少基板200的晃动。
[0090] 再回到图1，本发明的检查装置中，转位单元150只具有一z轴为旋转轴的旋转自 由度。因此，因对齐单元170具有x轴自由度和y轴自由度，因此，可确认基板200整体的 对齐状态。
[0091] 对齐单元170确认基板200的对齐状态，对齐单元170所确认的基板200的对齐 误差，可不在对齐单元170进行补正。因基板200搁置于转位板151且转位板151不具有x 轴和y轴自由度，因此，基板200的对齐误差可不在转位板151进行补正。因此，通过将检 查单元190相对地向x轴或y轴移动补正基板200的对齐误差。换言之，检查单元190在 xy空间利用x轴自由度和y轴自由度补正在对齐单元170确认的基板200的x轴对齐误差 和y轴对齐误差。
[0092] 检查单元190通过相对于xy平面的基板200向z轴移动与基板200接触，并通过 与基板200的接触对基板200进行通电检查。这样的环境可以是检查单元190包括探头 193的情况。
[0093] 图5为构成本发明的检查装置的检查单元190概略示意图。
[0094] 检查单元190可包括多个探头193、支撑探头193的夹具191、供夹具191设置的 底盘195。可在相对于在夹具191上接受检查的电路图案的区域具备探头193。探头 193的一端突出于区域,@，:，而另一端连接于电子电路。电子电路向电路图案施加检查信号 并接收应答信号，以利用接收到的应到信号进行通电检查。
[0095] 通过缩短检查单元190与基板200接触的时间缩短通电检查所需的时间。缩短与 基板200接触的时间的方案有减少具备于检查单元190的基板200和检查单元190之间的 距离的方案和增加检查单元190的z轴移动速度的方案。
[0096] 基板200和检查单元190之间的距离取决于初始设置值或在设置时决定。这样决 定基板200和检查单元190之间的距离之后，通电检查所需时间取决于检查单元190的移 动速度。
[0097] 检查单元190的移动速度越快，通电检查所需的时间越短。但若高速移动的检查 单元190与基板200接触，则将损毁基板200,因此，与基板200接触时的检查单元190的 速度需限制在设置值范围之内。若上所述，可折中两个速度改变检查单元190的速度。例 如，检查单元190的Zl位置的移动速度小于z2位置的移动速度。此时，Zl位置比z2位置比 基板200更近为宜。因此，检查单元190在z轴方向，在离基板200近的位置以慢的速度移 动，而在离基板200远的位置以相对较快的速度移动。因此，在不损毁基板200的情况下缩 短基板200和检查单元190的接触时间。
[0098] 另外，检查单兀190可对基板200的两面进彳丁通电检查。近来，因电路图案的_集 成化，可在基板200的两面形成多个电路图案。根据不同的情况，基板200 -面的电路图案 可连接于基板200另一面的电路图案。因此，为了进行迅速可靠的通电检查，检查单元190 可利用与基板200的一面接触的第一检查部192和与基板200的另一面接触的第二检查部 194对通电状态进行检查。此时，第一检查部192和第二检查部194可同时与基板200接 触。
[0099] 检查单元190具备第一检查部192和第二检查部194时，在初始设置时，在xyz空 间，第一检查部192的自由度和第二检查部194的自由度有可能相同。例如，在初始设置 时，第一检查部192和第二检查部194可具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自 由度。
[0100] 与此相反，检查单元190具备第一检查部192和第二检查部194时，在初始设置 时，在xyz空间，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由度数量有可能不相 同。第一检查部192的位置和第二检查部194的位置是相对的。例如，有必要将第二检查 部194沿第一方向移动时，也可将第一检查部192沿作为第一方向的相反方向的第二方向 移动。考虑到这一点，第一检查部192和第二检查部194无需赋予相同的自由度。相反，若 给第一检查部192和第二检查部194赋予相同的自由度，则有可能给使用者带来混淆，并使 构成变得复杂。但是，根据本发明，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由 度数量相互不同，因此在设置时不存在上述问题。设置时的自由度与作为驱动中的各单元 的自由度的作业自由度不同，是在各单元被驱动前将各单元设置于适当的初始位置的自由 度。
[0101] 检查单元190利用以重力方向为准接触于基板200的上面的第一检查部192及接 触于基板200的下面的第二检查部194检查通电状态。初始设置时，在xyz空间，第一检查 部192的自由度数量有可能比第二检查部194的自由度数量少。这是因为较之设置于空中 的第一检查部192的操作，设置于地面的第二检查部194的操作更容易。例如，在初始设置 时，在xyz空间，第一检查部192具有z轴自由度、rz自由度，而第二检查部194具有x轴自 由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自由度。若加上第一检查部192的设置自由度和第二检 查部194的设置自由度，则检查单元190将具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz 自由度。当然，与第二检查部194 一样，第一检查部192也可以具有x轴自由度、y轴自由 度、z轴自由度及rz自由度，但只具有z轴自由度也无妨。
[0102] 再回到图1，卸载单元140卸载第四位置的基板200,且将卸载的基板200移动至 第六位置。此时的第六位置可以是第二装载单元120的位置。或者，第六位置可以是另外 的位置。图1表示后者的情况。
[0103] 在图1的情况下，检查装置120可包括第二装载单元120、第二辅助单元162、第三 辅助单元163及标记单元169。
[0104] 第二装载单元120位于卸载单元140的下游并装载在检查单元190结束通电检查 的基板200。第二装载单元120可具有z轴作业自由度。
[0105] 第二辅助单元162可将第六位置的基板200移动至第七位置。第二装载单元162 可具有x轴作业自由度。在需要用标记单元169进行标记或避免与清洁单元180等单元的 冲突时，第二辅助单元162还可具有y轴作业自由度。另外，根据进行旋转运动的转位单元 150,在第一位置的基板200的方向和在第四位置的基板200的方向不相同。在图1的示例 中，第四位置的基板200是第一位置的基板200在平面上旋转270的状态。
[0106] 为使装载于第二装载单元120的基板200的方向与装载于第一装载单元110的基 板200的方向相同，第二辅助单元162可具有rz作业自由度。在图1中，若第二辅助单元 162向转位单元150的旋转方向旋转90度，则可向与第一装载单元110的基板200相同的 方向设置基板200。
[0107] 第三辅助单元163可将第七位置的基板200移动至第二装载单元120。为此，第三 辅助单元163可具有x轴自由度及z轴自由度。
[0108] 第二装单元120由多个构成，而各第二装载单元120上装载相同检查结果的基板 200。例如，在图1中具备三个第二装载单元120。其中，在从左侧第一个第一移动单元110 可将装载通电检查结果为正常的基板200。第二个第一移动单元110可装载通电检查结果 判定为短路（short)的基板200。第三个第一移动单元110可装载通电检查结果判定为断 路（open)的基板200。为节省电力，以上三个装载单元按装载频率高的顺序设置于离第三 辅助单元163近的位置。图1所示的示例为正常基板200最多，其次为短路基板200,再其 次为断路基板200的情况。在第二装载单元120为多个的情况下，为提高空间利用率，各第 二装载单元120可沿y轴设置。为将基板200装载于设置在y轴上的各第二装载单元120， 第三辅助单元163还可具有y轴作业自由度。
[0109] 标记单元169可在第六位置和第七位置之间在基板200上标记检查单元190的检 查结果。标记单元169可具备作为标记手段的激光照射设备等，而且，为进行标记而具有y 轴作业自由度。若第二辅助单元162停止于标记单元169,则标记单元169可为进行标记 而具有x轴作业自由度。若第二辅助单元162兼具x轴自由度和y轴自由度，则标记单元 169固定，而通过第二辅助单元162的移动进行标记。在图1中，第二辅助单元162具有x 轴自由度、y轴自由度及rz作业自由度，而标记单元169固定设置于第六位置的侧面，例如 右侧。因此，放置基板之后，第六位置的第二辅助单元162向右侧（y轴）移动并相对于固 定的标记单元169沿x轴和y轴移动，从而进行标记。之后，沿x轴和y轴移动而移动至第 七位置。第二辅助单元162可利用第六位置