和第七位置之间的各种路径，而在不与卸载单 元140和第三辅助单元163发生冲突的范围之内，标记单元169可设置于第二辅助单元162 的路径上的任意位置。另外，第二辅助单元162在从第六位置到第七位置利用的路径和第 二辅助单元162在从第七位置到第六位置利用的路径有可能不同。在图1中，两个路径相 同，但从第七位置到第六位置的路径可不经过标记单元169。
[0110] 图6为本发明的检查装置运行顺序概略示意图。
[0111] 假设转位单元150具备以90度间隔设置的四个转位板151，且各单元以90度间隔 设置的情况。
[0112] (a)起初，移动单元130将第五位置的基板200@移动至第一位置的转位板151。 在基板200?.退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板200 ?。
[0113] (b)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第一位置的基板200(M嘗移 送至第二位置。
[0114] 在第二位置，对齐单元170确认基板2005〕的对齐状态，而通过移动单元130新到 达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板200 (?。:在基板200?退 出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板20〇7入
[0115] (c)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第二位置的基板:2〇〇@将移 送至第三位置，而第一位置的基板200$).将移送至第二位置。
[0116] 检查单元190在第三位置检查基板. 2000的通电状态。在第二位置，对齐单元 170确认基板200中)的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将 装载原来在第五位置等待的基板200?。在基板200?:退出的第五位置，将进入经过清洁 单元180的基板2〇0@)。
[0117] ⑷之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第三位置的基板200?:将移 送至第四位置，而第二位置的基板200?;将移送至第三位置。而第一位置的基板200?将 移送至第二位置。
[0118] 在第四位置通过卸载单元140进行基板200(a)的卸载，而在第三位置通过检查单 元190对基板200?的通电状态进行检查。在第二位置，对齐单元170确认基板200?(的 对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等 待的基板200:@。在基板200@退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板200?。
[0119] (e)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第三位置的基板200?将移 送至第四位置，而第二位置的基板200?将移送至第三位置。而第一位置的基板200@:将 移送至第二位置。
[0120] 在第四位置通过卸载单元140将基板200?移动至第六位置，且在第四位置完成 对基板200?丨的卸载。检查单元190在第三位置检查基板200?的通电状态。在第二位 置，对齐单元170确认基板200@._丨的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转 位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板200?。在基板200?:退出的第五位置，将 进入经过清洁单元180的基板200 (D。：
[0121] 若经过上述过程，则在检查中间过程中将持续（e)的状态。在此状态下，每当转位 单元150旋转90度就输出结束通电检查的基板200,因此，作业速度快。另外，因转位单元 150为中心设置各单元，因此，有利于达到小型化的目的。另外，因本发明的检查装置通过转 位单元150的旋转移送基板200,因此，简化转位单元150的构成和作业复杂性，并由此在无 错误地可靠移送基板200。因此，可靠地对基板200进行通电检查。
[0122] 上述实施例仅用以说明本发明而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以 对本发明进行修改、变形或者等同替换。而在不脱离本发明的精神和范围内，其均应涵盖在 本发明的权利要求范围当中。
【主权项】
1. 一种检查装置，包括： 检查单元，检查基板的通电状态；及 转位单元，通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。2. 根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于： 上述转位单元150通过上述旋转运动按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺 序移送上述基板； 上述第一位置为上述基板装载于上述转位单元的位置； 上述第二位置为确认上述基板的对齐状态的位置； 上述第三位置为通过上述检查单元检查上述基板的通电状态的位置； 上述第四位置为在上述检查单元结束检查的基板从上述转位单元卸载的位置。3. 根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于： 上述转位单元包括装载上述基板并沿同心圆的轨迹移送上述基板的转位板； 上述转位板的数量与包括在上述转位板上装载上述基板的工艺在内的在上述转位板 上施加于上述基板的工艺的数量相同。4. 根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于： 上述转位单元通过上述旋转运动按第一位置、第二位置、通过上述检查单元进行上述 基板的通电检查的第三位置、第四位置的顺序移送上述基板； 包括：移动单元，将第五位置的上述基板移动至上述第一位置； 对齐单元，确认移送至上述第二位置的上述基板的对齐状态； 卸载单元，卸载在上述第三位置接受检查并移送至上述第四位置的上述基板并将卸载 的上述基板移动至第六位置。5. 根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：在通过上述转位单元形成的上述基 板的移送路径上，具备包括上述检查单元在内的多个单元，且上述各单元等间距设置。6. -种检查装置，包括： 移动单元，将第五位置的基板移动至第一位置； 对齐单元，确认上述从第一位置移送至第二位置的上述基板的对齐状态； 检查单元，检查上述从第二位置移送至第三位置的上述基板的通电状态； 卸载单元，卸载上述从第三位置移动至第四位置的上述基板并将卸载的上述基板移动 至第六位置；及 转位单元，按通过上述旋转运动形成的虚拟的同心圆上的上述第一位置、上述第二位 置、上述第三位置及上述第四位置的顺序移送上述基板。7. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于： 上述转位单元包括供放置上述基板的四个转位板； 在第n转位板（其中,n为小于4的自然数）位于上述第一位置时,第n+1转位板位于 上述第二位置，第n+2转位板位于上述第三位置,而第n+3转位板位于上述第四位置。8. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于： 在xyz空间中，上述移动单元的自由度包括X轴、z轴、rz自由度； 在xyz空间中，上述对齐单元的自由度包括X轴、y轴自由度； 在xyz空间中，上述检查单元的自由度包括X轴、y轴、z轴、rz自由度； 在xyz空间中，上述卸载单元的自由度包括x轴、z轴自由度； 在xyz空间中，上述转位单元的自由度包括rz自由度。9. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于： 包括：第一装载单元，设置于上述移动单元的上游并装载上述基板； 清洁单元，清洁装载于上述第一装载单元的上述基板的检查面并将经清洁的上述基板 移动至上述第五位置；及 第一辅助单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至上述清洁单元。10. 根据权利要求9所述的检查装置，其特征在于：当将装载于上述第一装载单元的上 述基板中位于最上层的基板定义为最上层基板时，至少在上述第一辅助单元移动上述最上 层基板的时间点上，从地面到上述最上层基板的高度，不受装载于上述第一装载单元的基 板的数量而固定。11. 根据权利要求9所述的检查装置，其特征在于：当上述第一辅助单元移动从地面第 一高度的基板，则上述第一装载单元下降第二高度的基板之后上升至第一高度。12. 根据权利要求9所述的检查装置，其特征在于：上述第一辅助单元在移动装载于上 述第一装载单元的基板之后，上升第一距离之后，在比第一距离短的第二距离区间中进行 往复运动。13. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于： 上述转位单元，包括： 搁置部，在其中央形成孔并在上述孔的端部放置基板； 握紧部，固定放置于上述搁置部的基板； 并包括设置于上述第一位置并上升，以在上述基板移动至上述搁置部时通过上述孔与 上述基板接触的辅助板。14. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元在xyz空间上，利用 X轴自由度和y轴自由度补正经上述对齐单元确认的上述基板的X轴对齐误差和y轴对齐 误差。15. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元通过相对于xy平面 的上述基板沿z轴方向移动与上述基板接触，且在上述z轴方向，Z 1位置的移动速度比Z2 位置（Z1位置比Z2位置离上述基板近）移动速度小。16. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于：上述检查单元利用与上述基板的一 面接触的第一检查部和与上述基板的另一面接触的第二检查部对上述基板的通电状态进 行检查。17. 根据权利要求16所述的检查装置，其特征在于：初始设置时，在xyz空间，上述第 一检查部的自由度数量和上述第二检查部的自由度数量不同。18. 根据权利要求16所述的检查装置，其特征在于：其中，在初始设置时，在xyz空间， 上述第一检查部具有z轴自由度、rz自由度，而上述第二检查部具有X轴自由度、y轴自由 度、z轴自由度及r z自由度。19. 根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于： 包括：第二移动单元，位于上述卸载单元的下游并装载在上述检查单元结束通电检查 的基板； 第二辅助单元，将上述第六位置的基板移动至第七位置； 第三辅助单元，将上述第七位置的基板移动至上述第二装载单元；及 标记单元，在上述第六位置和上述第七位置之间，在上述基板上标记上述检查单元的 检查结果。20.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于：上述第五位置和上述第六位置在以 上述转位单元为中心的平面上，位于上下左右中的某个方向。
【专利摘要】本发明的检查装置，包括：检查单元，检查基板的通电状态；及转位单元，通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。本发明的检查装置可迅速可靠地检查基板的通电状态。
【IPC分类】G01R31/02
【公开号】CN105021940
【申请号】CN201410179190
【发明人】金完洙, 郑相宪
【申请人】佰欧特株式会社
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2014年4月30日