一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法

一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法
【专利摘要】本发明公开了一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法，通过定义将调节阀在工作状态时的允许通过流量限定在大于满量程、小于清洗状态时的最大流量的一个合理区间，并选取落入此区间内的气体通过流量所对应的控制调节阀开度的设定电压作为允许最大设定电压，从而控制调节阀在工作状态时的可调最大开度小于在清洗状态时的预设最大开度，当质量流量控制器在工作状态时发生断气异常情况时，可使质量流量控制器内部的控制系统在误认为流量不够而上调设定电压时有一个限值，保证了调节阀在工作状态时不会达到预设最大开度状态，从而避免了调节阀中的簧片长时间处于负荷极限状态，有效地延长了调节阀的使用寿命。
【专利说明】一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种数字式气体质量流量控制器，更具体地，涉及一种针对数字式气 体质量流量控制器调节阀特性的优化方法。

【背景技术】
[0002] 气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC)可用于对气体的质量流量进 行精密测量及控制，其测量及控制精度不受一定范围的气压及温度变化影响，并便于与计 算机连接实现自动控制。因此，气体质量流量控制器在半导体和集成电路工业、特种材料学 科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其 典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离 子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱 仪及其他分析仪器。
[0003] 气体质量流量控制器通常由分流器、流量传感器、电路板及调节阀四个部分组成。 其中，分流器、流量传感器及电路板的测量电路部分组成了质量流量控制器的流量测量单 元，它们也组成了质量流量计（Mass Flow Meter，MFM)，其在质量流量控制器中的作用是对 气体的质量流量进行精密测量；调节阀与电路板的控制电路部分组成了质量流量控制器的 控制单元，它们不存在于质量流量计中。因此，每台质量流量控制器都是一台质量流量计与 包括调节阀在内的控制单元的集合。
[0004] 气体质量流量控制器的工作原理是：流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理 测量气体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入电路 板测量电路部分的放大器放大，将放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差 值信号放大后，控制调节阀的阀门开度大小，闭环控制流过质量流量控制器的通道的流量 使之与设定的流量相等。质量流量控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正 t匕，而分流器决定主通道的流量。
[0005] 请参阅图1，图1是气体质量流量控制器调节阀的内部结构示意图。调节阀的阀门 开合原理可通过图1来说明。如图所示，该调节阀是一种电磁控制的调节阀，在阀体内自上 而下设有静铁芯线圈、衔铁（动铁芯）、簧片和阀芯。调节阀在停用时的断电状态下，阀芯处 于通道内的最低点位置，簧片处于回复状态，此时，通道被完全封闭；在对调节阀通电后，静 铁芯线圈即产生电磁力，利用磁力的吸力作用，使衔铁克服簧片的反向弹力被提起，带动阀 芯上升，使阀门打开；断电时，电磁力消失，衔铁在自身重力及簧片的回复力作用下落下复 位，把阀芯压回通道底部，阀门关闭。在通电状态下，控制单元通过输出的电压差值信号大 小，来调节调节阀的静铁芯线圈产生的磁力大小，从而控制调节阀的阀门开度大小，使流过 质量流量控制器通道的气体流量与设定的流量相等，实现气体质量流量控制器对通道流量 的精确控制。
[0006] 气体质量流量控制器通常会与流量显示仪及控制计算机连接配套使用，控制操作 一般在流量显示仪上进行。气体质量流量控制器调节阀门的开合分为关闭、阀控、清洗三个 状态，在流量显示仪的控制面板上分别对应设置有"关闭"、"阀控"、"清洗"三位阀门控制开 关。当置于"关闭"位时，调节阀门关闭；当置于"清洗"位时，调节阀门将开到最大，以便对 气路通道进行清洗；当置于"阀控"位时，处于正常工作状态，由计算机调节阀门开度，进行 自动流量控制。
[0007] 在气体质量流量控制器的使用中需要注意的是，在处于工作状态时，应将调节阀 的阀门控制开关置于"阀控"位，此状态下，要求先打开气源，对通道中通入气体，然后才能 打开电源，并待零点稳定后，再正式开始工作。而当处于清洗状态时，操作顺序正好相反，是 先打开电源、后开气，此时通道中的气体流量将达到最大值，并可超过工作状态时的流量满 量程数倍甚至数十倍，以起到吹洗气路的作用。
[0008] 当调节阀的阀门控制开关置于"阀控"位，并且流量设定不为零时，如果先开电源， 后开气，则流量将会有一个大的过冲，然后才会稳定至设定值。这种操作方法会使调节阀的 簧片被衔铁一下带起至极限位置，经常如此操作，会造成簧片的提前老化甚至断裂，因此， 这种操作方法应当避免。在实际使用中，一般不会人为进行这种操作。但是，当气路发生异 常故障，例如发生断气、气路堵塞或气路控制电路故障时，就会产生上述电源打开、但气路 中没有气体通过的异常现象。此时质量流量控制器内部的控制系统会误认为此时的流量不 够、即检测电压的输出不够，以至继续增大流量检测电压的输出值，一直到超过流量满量程 时的输出电压，达到清洗状态时的最大设定电压值Vmax，这时的调节阀的阀门开度为最大， 使簧片被吸起至极限位置。如果未及时发现此异常情况，簧片将长时间处于极限位置状态， 导致提前老化损坏。
[0009] 目前，在进行质量流量控制器出厂前的调试时，对于调节阀部分的调试一般做到 只要能够满足关闭和开启的特性要求，就认为调节阀已经调整到合适的程度了，但是此时 的调节阀其实并不是处于最佳状态。在对客户提供的故障质量流量控制器进行解析时，经 常发现调节阀中的簧片发生变形，已不具备原有的回复弹力，这会导致在调节阀打开时，出 现流量过冲的现象。更为严重时，调节阀中的簧片发生断裂，导致流量无法控制。这些问题 的发生往往与质量流量控制器在使用时的工作状态、即处于"阀控"位时，发生上述的先开 电源、后开气，并处于长时间断气的情况有关。而其根源都是由于在调节阀调试的初期，没 有使调节阀的特性处于最优的状态所导致的结果。
[0010] 在进行质量流量控制器出厂前的调试时，调整调节阀时会将"清洗"状态时的电压 设定为最大值Vmax ;在"关闭"状态时的对应电压值为零；在"阀控"状态时，通道中的气体 流量满量程对应的设定电压一般是"清洗"状态时的最大设定电压值Vmax的三分之一。由 于调节阀中的簧片负荷通常是根据"清洗"状态时的最大设定电压值Vmax产生的静铁芯线 圈的对应磁力来设计的，因此，在"阀控"状态时，对应的设定电压因相对较小，所以对簧片 不会造成损伤。但是，当处于"阀控"位，发生上述的先开电源、后开气，并处于长时间断气的 情况时，质量流量控制器内部的控制系统会误认为此时的流量不够、即检测电压的输出不 够，以至继续增大流量检测电压的输出值，一直到超过流量满量程时的输出电压，达到清洗 状态时的最大设定电压值Vmax。在质量流量控制器正常的清洗时，清洗时间是非常短暂的， 簧片的老化处于设计要求内；而发生上述异常情况时，簧片将长时间处于应力极限状态，就 会发生加速老化现象，造成簧片提前失效。
[0011] 综上所述，当质量流量控制器处于工作时的"阀控"状态时，质量流量控制器内部 的控制系统因对超过流量满量程时的输出电压对应设定值上限缺乏限值控制，造成在发生 断气异常情况时，流量检测电压的输出值达到清洗状态时的最大设定电压值Vmax，使调节 阀中的簧片长时间处于负荷极限状态，是最终导致簧片加速老化及失效发生的根本原因。 因此，现有的质量流量控制器出厂前的调节阀调试方法存在缺陷，造成了调节阀的特性未 处于最优状态。


【发明内容】

[0012] 本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种质量流量控制器的调 节阀特性优化方法，通过定义所述调节阀在工作状态时的允许通过流量的限值区间，并在 对所述调节阀进行出厂前调整时，调节所述调节阀在一定工作压力时的气体通过流量处于 定义的允许通过流量的限值区间内，并将此时的设定电压作为所述调节阀在工作状态时的 允许最大设定电压，以此允许最大设定电压控制所述调节阀在工作状态时的可调最大开 度，防止所述质量流量控制器出厂后，所述调节阀在使用过程中的工作状态时发生断气异 常情况时处于预设最大开度状态，从而避免了所述调节阀中的簧片长时间处于负荷极限状 态，有效地延长了调节阀的使用寿命。
[0013] 为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
[0014] 一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法，一般在对所述调节阀进行出厂前的 调整时实施，包括以下步骤：
[0015] 步骤一：将所述质量流量控制器连接外部测试控制系统，并置于测试气路中，根据 所述质量流量控制器在工作状态时的满量程规格和在清洗状态时的最大流量要求，通过调 整确定所述调节阀的预设最大开度，使所述调节阀在工作压力范围内可实现正常开闭，并 在所述控制系统中建立与所述调节阀处于所述预设最大开度时相对应的对所述调节阀的 开度进行控制的设定电压的上限；
[0016] 步骤二：定义所述调节阀在所述工作状态时的允许通过流量的限值区间；
[0017] 步骤三：在所述调节阀的所述工作压力范围内选取一中间压力值，对所述调节阀 通入处于该所述中间压力值时的测试气体，选取中间压力值可避免所述调节阀的输入、输 出端压差过大或过小造成的流量不稳定现象；然后，在所述设定电压的上限内选取一中间 设定电压值输入所述质量流量控制器，并读取处于该所述中间设定电压值时的所述调节阀 对应的气体通过流量；
[0018] 步骤四：将上述读取的所述气体通过流量与所述允许通过流量的限值区间进行对 t匕，当读取的所述气体通过流量超出所述允许通过流量的限值区间时，在所述设定电压的 上限内以尝试法逐次输入不同的所述设定电压选取值，直至与输入的某一所述设定电压选 取值对应的所述气体通过流量落入所述允许通过流量的限值区间；
[0019] 步骤五：将落入所述允许通过流量的限值区间时的所述气体通过流量对应的所述 设定电压选取值作为所述调节阀在所述工作状态时的允许最大设定电压，在所述质量流量 控制器进行存储设定，使用户不能改变此设定，并以此所述允许最大设定电压控制所述调 节阀在所述工作状态时的可调最大开度。
[0020] 进一步地，步骤一中，所述质量流量控制器在清洗状态时的最大流量大于在工作 状态时的满量程流量。将质量流量控制器在清洗状态时的最大流量一般设定为满量程的数 倍，以便达到较好的气路清洗效果。
[0021] 进一步地，步骤一中，将处于清洗状态时的最大流量时的所述调节阀对应的开度 确定为所述预设最大开度。
[0022] 进一步地，步骤一中，所述预设最大开度大于处于工作状态时的满量程流量时的 所述调节阀的开度。
[0023] 进一步地，步骤一中，在通过调整确定所述调节阀的预设最大开度时，使所述调节 阀在处于工作压力范围的上限时可关闭和满足密封要求，并在处于工作压力范围的下限时 可达到满量程，也就是在极限压力下可正常工作。
[0024] 进一步地，步骤二中，所述允许通过流量的限值区间的定义方法为：所述允许通过 流量的限值区间的下限值大于所述调节阀在所述工作状态时的满量程；所述允许通过流量 的限值区间的上限值小于所述调节阀在所述清洗状态时的最大流量。
[0025] 进一步地，当所述调节阀的通过流量达到所述允许通过流量的限值区间的上限值 时，所对应的开度小于所述预设最大开度。
[0026] 进一步地，步骤二中，所述调节阀在所述工作状态时的允许通过流量的限值区间 为满量程的1. 2?1. 5倍。
[0027] 进一步地，将所述允许最大设定电压作为报警电压，在所述质量流量控制器进行 存储设定，当所述调节阀在所述工作状态时的实际设定电压达到所述允许最大设定电压 时，输出报警信号，以便及时发现异常情况，消除对生产及控制过程的干扰影响。
[0028] 进一步地，所述可调最大开度小于所述预设最大开度，从而限定了调节阀在工作 状态时的实际开度，当发生断气异常情况时，即使此时质量流量控制器内部的控制系统误 认为此时的流量不够、即检测电压的输出不够，而继续增大流量检测电压的输出值，以致超 过流量满量程时的预设电压时，也会因厂方的测试控制系统在质量流量控制器存储设定的 允许最大设定电压的限制，不会达到清洗状态时的设定电压的上限。
[0029] 基于流量越大调节阀的开度就越大、调节阀内簧片受到的拉力也越大的原理，本 发明的这种调节阀特性优化方法，对于大流量的质量流量控制器来讲就显得更为重要。
[0030] 从上述技术方案可以看出，本发明通过在对调节阀进行出厂前的调整时，定义将 调节阀在工作状态时的允许通过流量限定在大于满量程、小于清洗状态时的最大流量的一 个合理区间，并选取落入此区间内的气体通过流量所对应的控制调节阀开度的设定电压作 为调节阀在工作状态时的允许最大设定电压，从而控制调节阀在工作状态时的可调最大开 度小于在清洗状态时的预设最大开度。当质量流量控制器出厂后，在使用过程中的工作状 态时发生断气异常情况时，可使质量流量控制器内部的控制系统在误认为流量不够而上调 设定电压时有一个限值，故调节阀在工作状态时不会达到预设最大开度状态，从而避免了 调节阀中的簧片长时间处于负荷极限状态，有效地延长了调节阀的使用寿命。

【专利附图】

【附图说明】
[0031] 图1是本发明一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法的原理框图。

【具体实施方式】
[0032] 下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步的详细说明。
[0033] 在下述具体实施例中，请参阅图1，图1是本发明一种质量流量控制器的调节阀特 性优化方法的原理框图。如图所示，本发明的调节阀特性优化方法一般在对所述调节阀进 行出厂前的调整时实施，包括以下步骤：
[0034] 首先，将所述质量流量控制器连接外部测试控制系统，例如计算机，并置于测试气 路中。根据所述质量流量控制器在工作状态时的满量程规格和在清洗状态时的最大流量要 求，通过调整确定所述调节阀的预设最大开度，使所述调节阀在工作压力范围内可实现正 常开闭。并在所述控制系统中建立与所述调节阀处于所述预设最大开度时相对应的对所述 调节阀的开度进行控制的设定电压的上限。
[0035] 其次，定义所述调节阀在所述工作状态时的允许通过流量的限值区间。
[0036] 然后，在所述调节阀的所述工作压力范围内选取一中间压力值，对所述调节阀通 入处于该所述中间压力值时的测试气体，选取中间压力值可避免所述调节阀的输入、输出 端压差过大或过小造成的流量不稳定现象。在所述设定电压的上限内选取设置所述调节阀 的一定的中间设定电压值，通过所述控制系统发送指令至所述质量流量控制器，将此中间 设定电压值输入所述质量流量控制器。
[0037] 接着，读取流量检测设备反馈的处于该所述中间设定电压值时的所述调节阀对应 的气体通过流量。
[0038] 接着，将上述读取的所述气体通过流量与所述允许通过流量的限值区间进行对 t匕，判断所述气体通过流量是否在所述允许通过流量的限值区间内。当读取的所述气体通 过流量过大或过小，超出所述允许通过流量的限值区间时，在所述设定电压的上限内以尝 试法逐次设定输入不同的所述设定电压选取值，并进行判断，直至与输入的某一所述设定 电压选取值对应的所述气体通过流量落入所述允许通过流量的限值区间；当读取的所述气 体通过流量在所述允许通过流量的限值区间内时，表明采用上述特性优化方法对调节阀的 调整已达到最优状态，可结束调整。
[0039] 最后，将落入所述允许通过流量的限值区间时的所述气体通过流量对应的所述设 定电压选取值作为所述调节阀在所述工作状态时的允许最大设定电压，在所述质量流量控 制器进行存储设定，使用户不能改变此设定，并以此所述允许最大设定电压控制所述调节 阀在所述工作状态时的可调最大开度。
[0040] 在本实施例中，将所述质量流量控制器在清洗状态时的最大流量设定为满量程的 3倍，以便达到较好的气路清洗效果。在极端情况下，也可将最大流量设定为满量程的3倍 以上，以便满足特定的气路清洗条件。
[0041] 在本实施例中，将处于清洗状态时的最大流量时的所述调节阀对应的开度确定为 所述预设最大开度。所述预设最大开度大于处于工作状态时的满量程流量时的所述调节阀 的开度。
[0042] 在本实施例中，在通过调整确定所述调节阀的预设最大开度时，使所述调节阀在 处于工作压力范围的上限时可关闭和满足密封要求，并在处于工作压力范围的下限时可达 到满量程，也就是在极限压力下可正常工作。在调整时，应注意使调节阀输入、输出两端的 工作压差保持在指标范围内，特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调 小，若工作压差小于要求值，有可能使流量达不到满量程值。
[0043] 在本实施例中，所述允许通过流量的限值区间的定义方法为：所述允许通过流量 的限值区间的下限值大于所述调节阀在所述工作状态时的满量程，以保证在小压力时能达 到满量程；所述允许通过流量的限值区间的上限值小于所述调节阀在所述清洗状态时的最 大流量，以避免所述调节阀在所述工作状态时的开度过大。并且，当所述调节阀的通过流量 达到所述允许通过流量的限值区间的上限值时，所对应的开度小于所述预设最大开度。
[0044] 在本实施例中，将所述调节阀在所述工作状态时的允许通过流量的限值区间定义 为满量程的1. 2?1. 5倍，即质量流量控制器流量规格的1. 2?1. 5倍。例如，针对流量规 格为5SLM的某一所述质量流量控制器，可按下限1. 2倍选取该质量流量控制器在工作状态 时的允许通过流量，即6SLM。同理，针对流量规格为500SCCM的另一所述质量流量控制器， 可按上限1. 5倍选取该质量流量控制器在工作状态时的允许通过流量，即750SCCM。并且， 考虑到在实际应用时，按1.3倍限值已完全能满足控制要求，所以，例如，针对流量规格为 500SCCM的所述质量流量控制器，可按1. 3倍限值选取该质量流量控制器在工作状态时的 允许通过流量，即650SCCM。
[0045] 基于流量越大调节阀的开度就越大、调节阀内簧片受到的拉力也越大的原理，本 发明的这种调节阀特性优化方法，对于大流量的质量流量控制器来讲就显得更为重要。
[0046] 相应的，根据调节阀在工作状态（即"阀控"状态）时电压与流量之间具有的线性 对应关系，可确定中间设定电压的参考选值，并通过调整进一步确定允许最大设定电压。例 如，在本实施例中，针对流量规格为500SCCM的质量流量控制器，按1. 3倍限值选取该质量 流量控制器在工作状态时的允许通过流量，即650SCCM ;在规格书查到该质量流量控制器 在清洗状态时的最大流量为1500SCCM，对应的阀门设定电压为15V，在满量程时的阀门设 定电压为5V。则先按1. 3倍限值选取6. 5V作为中间设定电压，通过所述控制系统发送指令 至所述质量流量控制器，将此中间设定电压6. 5V输入所述质量流量控制器，读取流量检测 设备反馈的气体通过流量，并与650SCCM的限值进行对比。如果显示流量与限值一致，即将 6. 5V作为调节阀在工作状态时的允许最大设定电压，在该质量流量控制器进行存储设定， 使用户不能改变此设定，并以6. 5V作为允许最大设定电压控制调节阀在工作状态时的可 调最大开度。如果显示流量与限值不一致的，则以6. 5V为基准进行微调，直至显示流量与 限值一致，将微调后的实际设定电压作为调节阀在工作状态时的允许最大设定电压存储。
[0047] 上述可调最大开度小于所述预设最大开度，从而限定了调节阀在工作状态时的实 际开度。当发生断气异常情况时，即使质量流量控制器内部的控制系统误认为此时的流量 不够、即检测电压的输出不够，而继续增大流量检测电压的输出值，以致超过流量满量程时 的预设电压时，也会因厂方的测试控制系统在该质量流量控制器存储设定的允许最大设定 电压的限制，不会达到清洗状态时的设定电压的上限。在上述实施例中，针对流量规格为 500SCCM的所述质量流量控制器，如果6. 5V成为调节阀在工作状态时的允许最大设定电压 时，则调节阀一旦在工作状态发生断气，质量流量控制器内部的控制系统误认为流量不足 时，会将设定电压上调，一直到超过满量程时的5V。如果异常不消失，则会继续上调设定电 压。在现有技术中，质量流量控制器内部的控制系统将一直上调设定电压至清洗状态时的 15V，使阀门全开、簧片拉紧，长时间处于此状态的簧片极易损坏。而应用本发明的优化方 法，质量流量控制器内部的控制系统在上调设定电压时，到6. 5V即受到限制而停止，使调 节阀不致全开，从而避免了簧片被拉紧的现象，因此，有效地延长了调节阀的使用寿命。 [0048] 此外，还可以将允许最大设定电压作为报警电压，在质量流量控制器进行存储设 定，当调节阀在工作状态时的实际设定电压达到允许最大设定电压时，质量流量控制器即 输出报警信号，以便及时发现异常情况，消除对生产及控制过程的干扰影响。在上述实施例 中，针对流量规格为500SCCM的质量流量控制器，在应用本发明的优化方法时，如果6. 5V成 为调节阀在工作状态时的允许最大设定电压时，则调节阀如在工作状态发生断气时，质量 流量控制器内部的控制系统如误认为流量不足，会将设定电压上调，一直到6. 5V时，即受 到限制而停止。同时，质量流量控制器会输出一个电压报警信号，用户的计算机接收该信号 后，即会指令暂停工作，并发出处理通知。此异常情况将得到工程师的及时处理。
[〇〇49] 以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保 护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在 本发明的保护范围内。
【权利要求】
1. 一种质量流量控制器的调节阀特性优化方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一：将所述质量流量控制器连接外部测试控制系统，并置于测试气路中，根据所述 质量流量控制器在工作状态时的满量程规格和在清洗状态时的最大流量要求，通过调整确 定所述调节阀的预设最大开度，使所述调节阀在工作压力范围内可实现正常开闭，并在所 述控制系统中建立与所述调节阀处于所述预设最大开度时相对应的对所述调节阀的开度 进行控制的设定电压的上限； 步骤二：定义所述调节阀在所述工作状态时的允许通过流量的限值区间； 步骤三：在所述调节阀的所述工作压力范围内选取一中间压力值，对所述调节阀通入 处于该所述中间压力值时的测试气体，然后，在所述设定电压的上限内选取一中间设定电 压值输入所述质量流量控制器，并读取处于该所述中间设定电压值时的所述调节阀对应的 气体通过流量； 步骤四：将上述读取的所述气体通过流量与所述允许通过流量的限值区间进行对比， 当读取的所述气体通过流量超出所述允许通过流量的限值区间时，在所述设定电压的上限 内以尝试法逐次输入不同的所述设定电压选取值，直至与输入的某一所述设定电压选取值 对应的所述气体通过流量落入所述允许通过流量的限值区间； 步骤五：将落入所述允许通过流量的限值区间时的所述气体通过流量对应的所述设定 电压选取值作为所述调节阀在所述工作状态时的允许最大设定电压，在所述质量流量控制 器进行存储设定，并以此所述允许最大设定电压控制所述调节阀在所述工作状态时的可调 最大开度。
2. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤一中，所述质量流量控 制器在清洗状态时的最大流量大于在工作状态时的满量程流量。
3. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤一中，将处于清洗状态 时的最大流量时的所述调节阀对应的开度确定为所述预设最大开度。
4. 如权利要求1或3所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤一中，所述预设最 大开度大于处于工作状态时的满量程流量时的所述调节阀的开度。
5. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤一中，在通过调整确定 所述调节阀的预设最大开度时，使所述调节阀在处于工作压力范围的上限时可关闭和满足 密封要求，并在处于工作压力范围的下限时可达到满量程。
6. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤二中，所述允许通过流 量的限值区间的定义方法为：所述允许通过流量的限值区间的下限值大于所述调节阀在所 述工作状态时的满量程；所述允许通过流量的限值区间的上限值小于所述调节阀在所述清 洗状态时的最大流量。
7. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，当所述调节阀的通过流量 达到所述允许通过流量的限值区间的上限值时，所对应的开度小于所述预设最大开度。
8. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，步骤二中，所述调节阀在所 述工作状态时的允许通过流量的限值区间为满量程的1. 2?1. 5倍。
9. 如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，将所述允许最大设定电压 作为报警电压，在所述质量流量控制器进行存储设定，当所述调节阀在所述工作状态时的 实际设定电压达到所述允许最大设定电压时，输出报警信号。
10.如权利要求1所述的调节阀特性优化方法，其特征在于，所述可调最大开度小于所 述预设最大开度。
【文档编号】G05D7/06GK104102237SQ201410322668
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月8日 优先权日:2014年7月8日
【发明者】杨宇, 吴薇, 蒋兴东, 李甲, 胡蕾 申请人:北京七星华创电子股份有限公司