药液供给系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种药液供给系统，该药液供给系统包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵；该药液存储装置与该多级泵中第一级泵的输入口相连；该压力传感器设置在与该多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，该压力传感器用于检测该最后一级泵输出的液体压力；该控制装置与该压力传感器以及该多级泵中每一级泵相连，该控制装置用于根据该压力传感器检测的液体压力控制该每一级泵的转速。本实用新型将多级泵采用串联的方式相连，并通过控制装置根据多级泵输出的液体压力对每一级泵的转速进行控制，从而解决了药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。
【专利说明】药液供给系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及自动化控制领域，尤其涉及一种药液供给系统。
【背景技术】
[0002]为提高铜互连硅片清洗生产的良率和硅片清洗质量的一致性，化学药液供给系统CDS输出的药液流量既要确保可以完全去除硅片上的残留光刻胶、污染颗粒以及通孔内聚合物，而且流量不应超出工艺设定范围导致药液对器件结构腐蚀，因此CDS输出药液流量应保持为一个恒定的工艺设定值。
[0003]其中，在其他因素(流体粘度、流体温度等)不变的情况下，流量大小由流体的压力决定，即控制流体流量是通过控制流体的供给压力来实现的，当CDS系统需要向多清洗腔室的清洗机输出药液时，尤其当药液的动力粘度系数较大时，为确保足够的输出压力，单泵往往需要运行在更高的转速下，这不利于泵的长期使用。
实用新型内容
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]本实用新型要解决的技术问题是如何解决药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。
[0006]( 二 )技术方案
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案提供了一种药液供给系统，包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵；
[0008]所述药液存储装置与所述多级泵中第一级泵的输入口相连；
[0009]所述压力传感器设置在与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，所述压力传感器用于检测所述最后一级泵输出的液体压力；
[0010]所述控制装置与所述压力传感器以及所述多级泵中每一级泵相连，所述控制装置用于根据所述压力传感器检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。
[0011]进一步地，所述控制装置包括PLC控制器以及每一级泵对应的泵控制器；
[0012]所述PLC控制器与所述压力传感器相连，所述PLC控制器根据所述压力传感器检测的液体压力以及预设的目标压力确定每一级泵的转速，并将所述每一级泵的转速发送至对应的泵控制器；
[0013]所述泵控制器与对应的泵相连，所述泵控制器根据接收的转速对所述对应的泵进行控制。
[0014]进一步地，所述药液存储装置通过第一三通气动阀与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第一端与所述药液存储装置相连，所述第一三通气动阀的第二端与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第三端与超纯水传输管路相连。
[0015]进一步地，所述与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上还依次设置有第二三通气动阀、手动截止阀和过滤器；
[0016]所述第二三通气动阀的第一端与所述最后一级泵的输出口相连，所述第二三通气动阀的第二端与所述手动截止阀的第一端连，所述第二三通气动阀的第三端与废液排放管路相连，所述手动截止阀的第二端与所述过滤器的第一端相连。
[0017]进一步地，所述压力传感器设置在所述过滤器的第二端。
[0018]进一步地，所述多级泵中的每一级泵的转速相同。
[0019]进一步地，还包括与每一级泵——对应的电源。
[0020]进一步地，所述多级泵中的每一级泵为磁悬浮泵。
[0021](三)有益效果
[0022]本实用新型提供的药液供给系统，将多级泵采用串联的方式相连，并通过控制装置根据多级泵输出的液体压力对每一级泵的转速进行控制，从而解决了药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是本实用新型实施方式提供的一种药液供给系统的示意图；
[0024]图2是本实用新型实施方式提供的另一种药液供给系统的示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0026]图1是本实用新型实施方式提供的一种药液供给系统的示意图，该药液供给系统包括药液存储装置100、压力传感器400、控制装置300以及相互串联的多级泵200 ；
[0027]所述药液存储装置100与所述多级泵200中第一级泵201的输入口相连；
[0028]所述压力传感器400设置在与所述多级泵200中最后一级泵20η的输出口相连的管路上，所述压力传感器400用于检测所述最后一级泵20η输出的液体压力；
[0029]所述控制装置300与所述压力传感器400以及所述多级泵200中每一级泵相连，所述控制装置300用于根据所述压力传感器400检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。
[0030]本实用新型实施方式提供的药液供给系统，将多级泵采用串联的方式相连，并通过控制装置根据多级泵输出的液体压力对每一级泵的转速进行控制，从而解决了药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。
[0031]其中，所述多级泵中的每一级泵可以为磁悬浮泵。
[0032]其中，所述控制装置300包括PLC (Programmable Logic Controller,可编程逻辑控制器)控制器以及每一级泵对应的泵控制器；
[0033]所述PLC控制器与所述压力传感器相连，所述PLC控制器根据所述压力传感器检测的液体压力以及预设的目标压力确定每一级泵的转速，并将所述每一级泵的转速发送至对应的泵控制器；
[0034]所述泵控制器与对应的泵相连，所述泵控制器根据接收的转速对所述对应的泵进行控制。
[0035]其中，在本实用新型实施方式提供的药液供给系统中，多级泵可以为两级泵(双泵)、三级泵等，参见图2，图2是本实用新型实施方式提供的两级泵(双泵)的药液供给系统，该两级泵的药液供给系统包括:药液存储装置2、压力传感器18、控制装置以及相互串联的第一级泵6和第二级泵(最后一级泵)7，即第一级泵6的输出口管路13与第二级泵7的输入口相连；
[0036]其中，药液存储装置2的进口一端设有气动阀1，药液存储装置2的出口一端通过第一三通气动阀4与第一级泵6的输入口相连，具体地，所述第一三通气动阀4的第一端通过管路3与所述药液存储装置2相连，所述第一三通气动阀4的第二端与所述第一级泵6的输入口相连，所述第一三通气动阀4的第三端与超纯水传输管路5相连；
[0037]控制装置包括PLC控制器12、与第一级泵对应的泵控制器8以及与第二级泵(最后一级泵)7对应的泵控制器9，优选地，为了提高系统的稳定性，每一级泵都设有一一对应的电源，参见图2，电源10通过线路20为第一级泵6的控制器8供电，电源11通过线路21为第二级泵7的控制器9供电。
[0038]其中，压力传感器18设置在与第二级泵(最后一级泵)的输出口相连的管路14上，压力传感器18通过信号线19与PLC控制器12相连，PLC控制器12通过信号线22分别与泵控制器8以及泵控制器9相连，其中，每一级泵的驱动及运转参数、状态信号由对应的泵控制器控制及读取，其控制参数通过PLC控制器给定，具体地，PLC控制器通过比较压力传感器采集到的最后一级泵输出的液体压力与预设的目标压力的差值，通过一定的算法，将该差值换算为泵的转速值，而后，PLC控制器12将得到的转速值分别发送至泵控制器8和泵控制器9，泵控制器8根据接收的转速对第一级泵6进行控制，泵控制器9根据接收的转速对第二级泵7进行控制，最终达到对串联双泵输出流体的压力控制。
[0039]优选地，在上述的药液供给系统中，PLC控制器可同时将计算得到的转速发送至每一个泵控制器，且发送至每一个泵控制器的转速都相同，从而使多级泵中的每一级泵的转速相同，保持一致。
[0040]参见图2，所述与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管14上还依次设置有第二三通气动阀15、手动截止阀16和过滤器17 ;其中，所述第二三通气动阀15的第一端与所述最后一级泵7的输出口相连，所述第二三通气动阀15的第二端与所述手动截止阀16的第一端连，所述第二三通气动阀15的第三端与所述废液排放管路23相连，所述手动截止阀16的第二端与所述过滤器17的第一端相连。优选地，所述压力传感器18设置在所述过滤器17的第二端。通过上述的第一三通气动阀和第二三通气动阀，可实现使用超纯水对泵及传输管路的冲洗。
[0041]本实用新型实施方式提供的药液供给系统，泵之间采用串联的方式连接，由PLC控制器计算每一级泵的运行参数及运行状态，并发送至每一级泵对应的泵控制器，实现对每一级泵的直接控制，进而实现了多级泵输出液体压力的控制，解决了药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。
[0042]以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关【技术领域】的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
【权利要求】
1.一种药液供给系统，其特征在于，包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵； 所述药液存储装置与所述多级泵中第一级泵的输入口相连； 所述压力传感器设置在与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，所述压力传感器用于检测所述最后一级泵输出的液体压力； 所述控制装置与所述压力传感器以及所述多级泵中每一级泵相连，所述控制装置用于根据所述压力传感器检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。
2.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述控制装置包括PLC控制器以及每一级泵对应的泵控制器； 所述PLC控制器与所述压力传感器相连，所述PLC控制器根据所述压力传感器检测的液体压力以及预设的目标压力确定每一级泵的转速，并将所述每一级泵的转速发送至对应的泵控制器； 所述泵控制器与对应的泵相连，所述泵控制器根据接收的转速对所述对应的泵进行控制。
3.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述药液存储装置通过第一三通气动阀与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第一端与所述药液存储装置相连，所述第一三通气动阀的第二端与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第三端与超纯水传输管路相连。
4.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上还依次设置有第二三通气动阀、手动截止阀和过滤器； 所述第二三通气动阀的第一端与所述最后一级泵的输出口相连，所述第二三通气动阀的第二端与所述手动截止阀的第一端连，所述第二三通气动阀的第三端与废液排放管路相连，所述手动截止阀的第二端与所述过滤器的第一端相连。
5.根据权利要求4所述的药液供给系统，其特征在于，所述压力传感器设置在所述过滤器的第二端。
6.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述多级泵中的每一级泵的转速相同。
7.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，还包括与每一级泵一一对应的电源。
8.根据权利要求1至7任一所述的药液供给系统，其特征在于，所述多级泵中的每一级泵为磁悬浮泵。
【文档编号】G05B19/05GK204215215SQ201420570406
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年9月29日 优先权日:2014年9月29日
【发明者】张磊, 张明 申请人:北京七星华创电子股份有限公司